Негативный фоторезист Советский патент 1979 года по МПК G03C1/68 

1

Изобретение относится к негативным фоторезистам, используемым дня получения рельефных рисунков в фотопитографии.

Известен негативный фоторезист, включающий сополимер циклогексадиена1,3, дигидронафталина и дивинила, светочувствительный компоне нт-2,6-6 (fi -азидобензаль)-4-метилциклогексагион и органические растворители Т.

Недостатком известного фоторезиста является его неудовлетвфительная светочувствительность.

Наиболее близким к предложенному техническому решению является негативный фоторезист, включающий полициклогексадиен-1,3, 2,6-бис-( П - азидобен заль;- 1-метилциклогексанон и органические растворители 2.

Недостатком известного фоторезиста является его неудовпетворительная светочувствительность и низкий коэффициент контрастности.

Целью изобретения является повышение светочувствительности и коэффициента контрастности фоторезиста.

Поставленная цепь-достигается тем, что вышеуказанный негативный фоторезист, включающий по л и цикл ore ксад и- ен-1,3, 2,6-бис- П -азидобензальу-4-метилпиклогексанон и органические растворители, допсхпнительно содержит краситель жировой антрахиноновь1й зеленый при следующем соотношении компонентов, вес.%:

Полицикл огексад иен-1,3 9,4-9,6 2,6-БИС-{П-азндобензаль)-4-метилциклогексанон 0,47-0,48

Краситель жировой йнтрахиноновый зеленыйО,02-О,10

Органические растворителиОстальное.

Пример 1. 0,75 г попицикпогексадиена-1,3 (ПЦГД; растворяют в 3,75 МП смеси толуола и п -ксипопа. О,О375 г 2,6-бис-( rj -азидобензапь;-4-метилцикпог ксанона (ДДО рчстворяют Б 1 мя топуша. 0,344 г KpacHte-k ля жирового aHTpaxf HOHoBoro веленого растворяют в 1ОО мп топуопа к из этого йоиачества О,5 мп добавляют в смесь растворов ГШШ и ДЦГ, Раствор фильтруют и наносят центрифугированием на подпояску. Спой сушат 15 мин при и ЗО мин при 8СГС. Дпя фоторезиста 6П1 - 124 см /9эс , 2,0.

Пример 2. 5 ГШГД растворяют в 3,75 МП смеси топуола и г -ксипола (2:1 по объему 0,0375 г ДЦГ растворяют в 1 МП топуопа и спивают растворы вместе. О,75 красителя жирового антрахинонового аепеного растворяют в 1ОО МП топуопа и 0,5 мл -раствора добавляют в смесь растворов ПЦГД и Д11Г. Дапьнейшие операции с фоторезистом проводят аналогично примеру 1. S П 108 см2 /ЗэК|, У 2,72.

П р и м е р 3. К смеси растворов ПЦГД и ДЦГ, приготовпенных аналогично примерам 1 и 2, припивают О,5 мл раствора красителя жирового антрахинонового зеленого, содержащего 0,008 г вводимого красителя. Дальнейшие операции с фоторезистом проводятся аналогично примерам 1 и 2.6П 72 см /бж, )У 1,95.

Как видно из приведенных данных, предложенйый негативный фоторезист о6падает более высокой светочувствнтепьностьюЛ П 72-124 см2 /Ээ1) и более высоким коэффициентом контрастности ( 1,95-2,00), чем известный фоторезист (при использовании О,75 г ПиГД и-О,0375 г ДИГ в растворителях $П 36 см -хЗок, У 1,74;.

Ф б р м у П а изобретения

Негативный фоторезист, включающий; полициклогексадиен-1,3,2,6-бис- Ц -азидобиензаль; -4-Ыетилциклогексанон и, органические растворители, отличающийся тем, что, с целью увелйчения светочувствительности и коэффициента контрастности, он допспн№тельно содержит краситель жировой антр .хиноновый зеленый при следующем соотношении компонентов, вес.%:

Полициклогексадиен-1,3 9,4-9,6 2,6-Бис-{П-азидобензал% -4-метилциклогексанон О,47-0,4« Краситель жировой антрахиноновый зеленыйО, О2-О, Ю

Органические; растворителиОстальное. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР NC 533902. кл.(5 03 С 1/ОО, 1974.

2,Авторское свидетельство СССР

№ 330421, кп. С О7 С 117/00, 1972.