Устройство для получения сферического шлифа Советский патент 1979 года по МПК B24B11/00 

1

Изобретение относится к области механической обработки металлов, в частности к шлифовальным установкам, и направлено на усовершенствование устройства для получения сферического шлифа на исследуемых образцах, которое может быть исиользовано преимущественно в полупроводниковом производстве для измерения толщины диффузионных и эпитаксиальных слоев.

Известны устройства для изготовления сферического шлифа с помощью инструмента, выполненного в виде шара, кинематически связанного с приводом, размещенным в корпусе 1.

В этих устройствах наличие редуктора с выходным несущим валом, на конце которого закреплена сферическая чаша, значительно усложняет конструкцию и, кроме того, не позволяет получить высокой соосности между рабочими инструментами - шаром и выходным валом редуктора, из-за чего величина биения рабочего инструмента достигает 0,3 мм на радиус, что приводит к значительной деформации формы шлифа и, следовательио, к большой погрешности при измерении толщины диффузионных и эпитаксиальных слоев полупроводниковых (кремниевых) пластин.

Целью изобретения является упрощение

конструкции при повышении точности работы устройства, путем уменьшения биений шара.

Поставленная цель достигается тем, что кинематическая связь между инструментом и приводом выполнена в виде радиальноупорного подшипника, наружное кольцо которого жестко закреплено в корпусе, а внутреннее кольцо через расположенную в нем мзфту соединено с приводом, при этом шар установлен на внутреннем кольце подшипника.

На чертеже схематично изображено устройство для получения сферического шлифа.

Устройство содержит корпус 1, выполненный в виде основания, на котором кренятся остальные узлы и элементы, рабочий ииструмент, представляющий собой массивный металлический шар 2, весом 3-8 кг, который расположен вертикально внутри корпуса 1.

Кинематическая связь привода 3 с шаром 2 выполнена на основе раднально-упорного подшипника 4, расположенного в верхней части корнуса 1. Наружное кольцо 5 подшипника 4 неподвижно (жестко) закреплено в корпусе 1. Во внутреннем кольце 6 закреплена муфта 7, соединяющая это кольцо 6 с валом привода 3.