Регулируемая щелевая диафрагма Советский патент 1979 года по МПК H01J39/02 

- I ..;. Изобретекие относится к нонно-оптйческим и оптико-механическим устройствам, s которых осухЦествляетс формирование и фокусировка электронных, ионных и других пучков; и может быть использовано в масс-спектрометрах. Известны регулируемые щелевьй диафрагмы, устанавливаемые в фокусирующих системах и(точников ионов и в фиемниках ионов «a(S(cn6kT рометров и содержаище два полвижкых элемента, устайовленных в направляю1)«нх общёго основания и находящихся под дшствием пружин, и Приводной механизм, шток которого герметично введен в вакуумную полость и вз аймодействует с указанными элементами. Обращенные друг к щ}угу створки подаижньгх элементов о азуют щель, ограничивающую ширину иошгого пучка 1 Известна также регуЛйруемай щелевая диафра ма 2, содержащая два пружинных пйраплелофа ма, закрепленных на основании та:сим образом, что их подвижные жесткие элементы образуют щель, приводной механизм регулирования ширины щели и тяги, соединяющие 1 юдвижнб1е жесткие элементы пружинньк параллелограммов fc поступательно движущ1шся штоком 15)иводного механизма. Тяги представляют собой плоские пружинные элемёШпы, расположенные таким образом, что они не препятствуют перемещениям жестких пружинных элементов в направлении, перпендикулярном Щели. Существенным недостатком описанных приборов являетсй отсутствие регулировки угла поворота диафрагмы, что весьма затрудняет юстировку прибора. Известна регулируемая щелевая диафрагма {3, содержащая образующие щель ножи и узел пере мещения ножей, расположенные в вакуумной полоети прибора, а также приводной механизм регулирования ширины щели, соединенный с узлом перемещения ножей, и узел поворота диафрагмы. Последний сострит из неподвижного и подв/1Жного направляющих элементов, контактирующих . по гюверхностй вращения, ось которой совмещена с оптической осью прибора. Узел перемещения ножей закреплен на подвижном направляющем элементе узла поворота диафрагмы. В указанном устройстве происходит заклинивание контактирующих поверхностей и изменение ширины икли , что весьйа критично при мало ширине щели. Цель изобретения - повышение точности и надежности работы устройства, а также исключение влияния поворота диафрагмы на ширину ее щели. Указанная цель, достигается тем, что приводной механизм регулирования ширины щели расположен на подвижном направляющем элементе узла поворота диафрагмы, размещенного вне ъакуумной полости прибора. Размещение подаижного и неподвияото(о направляющих элементов узла поворота даафрагмм вне вакуумной полости прибора при сохранении совмещения оси поверхности контакта указанных элементов с оптической осью прибора позволяет исключить влияние вакуума на трущиеся поверх ности, а также использовать антифрикционные материалы и смазки, применение которых в вакууме недопустимо. Совместная установка узла перемеще1шя ножей И механизма регулирования ширины щели на подвижном направляющем элементе узла поворота диафрагмы исключает их отнЬс ительное перемещение при 1|овороте диафрагмы и, следовательно, обеспечивает постоянство цирины щели диафрагмы. Ш чертеже показана предложенная регулируемая щелевая диафрагма, разрез. Регулируемая щелевая диафрагма содержит узел перемещения ножей, приводной механизм регулирования щирины щели и узел поворбта диафрагмь. Узел перемещения ножей представляет собой два пружинных параллелограмма, закрепленных на кронштейне 1 корпуса 2. Каждый, параллелограмм содержит подвижный J и неподвижный 4 же сткиё элементы и соёданяйщие ИХ плоо кие упругие элементы 5. Ножи 6 установлены на подвижных жестких элементах 3 пружинных чаралле-юграммов таким образом, что их рабочие кромки образуют щель. Приводной механизм регулирований ошрины щели содержит поступательно перемещающийся UITOK 7, установленный в расточке корпуса 2, который при помощи гайки 8 закреплен в подВИЖ1ЮМ направляющем элементе 9 узла поворота диафрагмы. Герметизация штока 7 осуществляется , сильфоном 0. Гайка 11 взаимодейству ет с резьбой, имеющейся на конце штока 7, Пру жина 12 выбирает зазор в резьбе и обеспечивает контакт гайки 11 с опорной арющадкой подвижного нагфавляющего элемента 9. Индикатор 13, щуп которого контактирует с торцом штока - V/.7, позволяет контролировать ширину щели диа(|фагмы. Шток 7 при помощи тяг 14, представляющих собой плоские упругие элементы, соединен с подижными жесткими элементами 3 пружинных параллелограммов. . Узел поворота диафрагмы содержит неподвижный направляющий элемент 15, который закреплен на фланце 16, имеющем уплотняющий элемент и служащем для установки диафрагмы на корпус прибора, и подвижный направляющий элемент 9. . Указанные элементы сопрягаются по цилиндрической поверхности, ось которой совпадает с оптическойосью прибора. Надежньв) контакт сопрягаемых шверхностей обеспечюает пружина 17. Герметизацию качающегося корпуса 2 осуществляет сильфов 18. Винты 19 служат для поворота диафрагмы и ее фиксации в нужном тюпожеЩелевая регулируемая даа4ф8гма обешефшает работу в высоком вакууме и tqw высоких температурах; расположение трущихся поверхностей узла поворота диафрагмы вне вакуумной полости прибораповьпиает надежность механизма, а исключение влиягшя поворота шафрагмы на ширину щели облегчает 1бстйровку п{ 1бсфа. Формула изобретения Регулируемая щепевая диафрагма, содержащая образуюо е |цель ножи и узел перемещения ножей, расшложенные в вакуумной полости прибора, а также приводарй мехшизм регулирования ширины щели, соеданеиный с узлом перемещения ножей, и узел поворота диафрагмы, состоящий из непойвижного и подвижного направляющих элемёйтбв, контактирующих по noBiepXHocтй вращения, ось которой совмещена с оптической осью прибора, причем узел перемещения ножей закрепле/н на подвижном направляющем элементе узла поворота диафрагмы, отличающаяся тем, что, с целью повьш1е1шя точности и надежности работы устройства, приводной механизм регулирования ширины расположен йа ПодвижнЬм направляющем элементе узла поворбта вне вак57мной полости грибора. Источники информации, 1финятые во внимание экспертизе 1.Патент США N 3187179, кл. 250-41-9, 1972.. 2.Патент Великобритании N 1327394, кл. HID, 1974. 3.Техническое описание масс-спектрометра MX 1320 1Г 3. 394. 004 ТО.

/J

//

б 3