Устройство для получения покрытий из паровой (газовой) фазы Советский патент 1979 года по МПК C23C11/02 

Цель дости1 йе ся , исйаритель и хоЛоЯйЛ«(ГйК для утйлйэаций от :х6дяи|их газов расположёны в рабочей к г1МёрёсЪ§тве етвЩно ДрутШ. йШ8Щт Ж11№ШГЙ й : двух коаксиально устанрвйей;ных конусных камер, внутри которых размещена нагреватели, причем коль- цёвой зазор, образованный этййййа йёрами, разделен термоизоляционной перегородкой на каналы для испарения и перегрева пара. Кроме того, холодильник для утилизации отходящих газов изготовлен в виде рубаЩ|си и полого обтекателя. . На фиг. 1 покаэано тГреДЛагаемое устройство в разреза; на фиг. , ;разреё по А-А на фйг.1г на фиг. 3 - устрбйствЬ с насадкой в ра резе.; . .; , v ; Устройство содержит рабочую камеру 1 и крышку 2.Внутри камеры 1 ук реплено опорное кольцо 3, на котором установлены пс5крываемое изделие 4 и охватывающий его нагреватель 5. В верхней своейчасти корпус имеет тер Мостатируемую рубашку 6. В крышке 2, имеющей охлаждаемую полость 7, укреплен испаритель 8. Испаритель 8 представляет собой две; .коаксшя:ь,нб, ус ановленныё конусныекамеры 9 и 10, внутри котЪрых вмонтированы элек гроиагреватёли 11 и 12. Ккамере 9 чрикрёпПёна коническая TepkdftsdJiJJ.ционная перегородка 13,разделяющая Кольцевой зазор между камерами 9 и 10 последовательнгйх какала: канал 14, в котором происходит испарение химического соединейия, йг канал 15 для подогрева пара. Для подач химического соединения йспаре ,ния в кршике 2 устройства ймёется патрубок 16 и выполнены каналы 17. В днище 18 расположены патрубок 19 для отвода продуктов разлоясения и патрубок 20 йля сбора неразложившегОся химического соединения. в нижнюю itacTb корпуса встроен ItOBepxHOCT ный холодильник, включающий периферийную рубашку 21 и тарельчатый обте катель 22. Патрубки 23 и 24 служат ДЛЯввода хладагента, а паТ рубки25 и 26 - для вывода его. При осаждении покрытий на внутрен HKfe) поверхность крупногабаЕ) и длтинномерных изделий, с целью qrpaнйчёйия jieaKiikOHHoro объёма, вустройЬтве предусмотрена насадка 27, вы полненная в виде термостатируемрй; |Камеры 28 с патрубками 29 и 0 Для ;подвода и отвода термостатируемой жидкости., Устройство работает следуницим об . разом. . / . . Покрываемое изделие 4 уртанавли вают в рабочей камёрё 1 на опорном копъпе 3; затем камеру 1 герметично Тзакрыва1ют крышкой 2 с испарителем 8 Включают вакуумный насос и нагреватели 5, 11 и 12. При этом поверхнос

6.73666 покрываемого изделия. 4 прогревают до Температуры разложения паров химического соединения , наружную поверхность конусной камеры 9 - до темпе11)а уры 1ШПёййя химического соединения, а внутреннюю поверхность конусной камеры 10 - до температуры на 10-20° С. ниже температуры разложения паров. Одновременно включают подачу хладагента в рубашку 21 и тарельчатый обтекатель 22, поверхность которых должна иметь температуру на 5010Ь°С ниже температуры конденсации продуктов разложения химического соединения. При достижении указанных температур и определенного вакуума в камере.1 производят подачу жидкого химического соединения через дозатору патрубок 16 и радиальные каналы 17 равномерно по наружной поверхности конусной камеры 9. Стекая по наружной поверхности камеры 9, химическое соединение испаряется, и пары его, огибая перегородку 13 и проходя Ъдоль внутренней поверхности камеры . 10, прогреваются до Температуры на 10-20°С ни)ке температуры разложения. Проходя в непосредственной близости от нагретой покрываемой пОверхйО ти изделия, пары разлагаются в {эезультате теплоизлучения последней с;образованием ,на ней покрытия. При, этом газообразные отходы реакции разложения химического соединения отводят Через патрубок 19. Остатки неразложившегося химического соединения конденсируют в нижней части корпуса, и чёрез .патрубок 20 удаляют в сборийк остаточного продукта. Температурный градиент, создаваемый между верХ ней частью камеры (в зоне испарителя 8) и нижней частью камеры (в зоне холодильника) , обусловливает, возникнрвёнйё в реакционномобъеме значи|Тельного градиента давления, который способствует образованию высоко.скоростных потоков пара вдоль покрываемой поверхности изделия и повышеййю тем самым скорости и равномерности осаждения. . . ; П|)ИМёнениё в предлагаемом устройстве встроенного испарителя в верхней части и хОлодильйика в нижней Час:ти камеры Обеспечивает |5авйомерйое распределение и концентрацию паров в рабочей зоне и получение качественного и равномерного по толцине йокрытия ftet поверхности изделий сложной кон|фигурации, а также крупногабаритных Лздёлий. .v Формула изобретения 1. Устройство для получения покры тий из паровой (газовой) фазы, содержащее рабочуй) камеру с нагревателем, нспа итель, холодильник для утилизации отходящих , систему подачи и отвода тазового потока, о т л и