Устройство для откачки водородаи ЕгО изОТОпОВ Советский патент 1981 года по МПК H01J9/385 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТКАЧКИ ВОДОГОДА И ЕГО ИЗОТОПОВ

I

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам для откачки водорода и его изотопов.

Известно устройство для откачки водорода, содержащее корпус, палладиевую перегородку в виде тонкостенного стакана, внутри которого расположен спиральный нагреватель 1.

Известно также устройство для откачки водорода и его изотопов, содержащее корпус, размещенную внутри корпуса перегородку из палладия или его сплаврв, одна сторона которой обращена в откачиваемый объем, и диссоциатор на стороне откачиваемого объема 2

Недостатком известных устройств является невысокая эффективность откачки водорода, отнесенная к единице рабочей поверхности перегородки из палладия или его сплавов.

Целью изобретения является повышение эффективности откачкм водорода и его изотопов.

Указанная цель достигается тем, что в устройстве для откачки водорода и его изотопов, содержащем корпус, размещенную внутри корпуса перегородку из палладия или

его сплавов, одной стороной обращенную в откачиваемый объем, и диссоциатор на сторс не откачиваемого объема, перегородка имеет на стороне, противоположной откачиваемому объему, слой никеля толщиной от 2-3 мономолекулщжых слоев до 0,01 толщины перегородки.

На чертеже представлена схема устройства для откачкр водорода и его изотопов.

Устройство состоит из корпуса 1 с фланцем 2 для подсоединейия к откачиваемой установке, перегородки 3 из палладия или его сплавов, разделяющей внутренний объем корпуса 1 на откачиваемый объем 4 и объем 5 рекуперации. Перегородка 3 имеет на стороне, противоположной откачиваемому объему 4, слой 6 никеля толщиной от 2-3 мономолекулярных слоев до 0,01 толщины перегородки. В откачиваемом объеме 4 расположен диссоциатор 7 в виде вольфрамовой спирали и заслонка 8, предохраняющая поверхность перегородки 3 от возможного запьшения вольфрамом и от прямого натре- , ва от спирали.

Корпус 1 имеет вакуумопровод 9 с вентилем 10,- соединяющим откачиваемый объем 4 с объемом 5 рекуперации.

Устройство для откачки водорода и его изотопов работает следующим образом. Рабочий газ в откачиваемом объеме 4 подвергается термической диссоциации с диссоциатора 7. Атомы рабочего гаэау дохо; дящие до перегородки 9, адсорбируются на ее поверхности и затем диффундируют вглубь, проходя сквозь палладий и слой 6 никеля. На выходной поверхности перегородки 3 газ десорбируется в виде молекул и попадает в объем 5 рекуперации, где может накапливаться или выбрасываться в атмосферу. Для осуществления замкнутого цикла работы объем 5 рекуперации соединяют с откачиваемым объемом 4, открыв вентиль 10.

Повышение эффективности откачки водорода и его изотопов достигается тем, что в данном устройстве На выходной поверхности перегородки, покрытой слоем никеля, десорбция водорода идет с большей вероятностью, чем с поверхности палладия, что обеспечивает повышение проницаемости перегородки при низких температурах до 50° С для атомов и молекул водорода и повышение рекуперационного перепада.

Предельные значения толщин слоя никеля выбраны из условия сохранения диффузионного сопротивления перегородки потоку водорода.

Формула изобретения

Устройство для откачки водорода и его изотопов, содержащее корпус, размещенную внутри корпуса перегородку из палладия или его сплавов, одна сторона которой обращена в откачиваемый объем, и диссоциатор на стороне откачиваемого объема. Отличающееся тем, что, с целью повышения зффективности откачки, перегородка имеет на стороне, противоположной откачиваемому объему, слой никеля толщиной от 2-3 мономолекулярных слоев до 0,01 толщины перегородки..

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

2.Авторское свидетельство СССР N 437167, кл. Н 01 S 1/06, 1971 (прототип).