Камера для рентгеновской топографии Советский патент 1979 года по МПК G01N23/20 

1

Изо1б р€тен1ие относится ;к области -микрорентгеновской дифракц-ионной тапопрафии и может быть И(спользовано в рентгеяовских лабораториях для иослодаваиня структуры реальных .кристаллов, в том числе моНО рИ1СТаЛЛОВ .Т1ОЛ у1П:рОВОД:НИ|КО1В.

Из1Вйстна рентгеновская каме1ра обратной съемки типа КРОС, ,в которой фотокатеета смонтироваиа параллельно inoeeipxност,и о0|раэца « может совершать с ним сайместно вращавие в01фу.г оси, параллельной пучку рентгеновских лучей 1.

Известна та|кже рентгенотопографичеокая камера, IB которой .поверх1ность об|разца располагается параллельно или под небольшим углом к 1пло1акасти фотокаосеты, причем по,следняя может совершать вместе с образцом поворот iBOKipyr гониомет рической 01си и скаеирование отмо-сительяо оси пучка ре«тгено1В.ск1Их лучей 2.

Ближай1ШИ1м техничааким реше.н-ием является камера для рентгеновской TOinonpaфии, содержащая коллиматор, криюталлодержатель, держатель фотокассеты, щелевое и сканирующее устройство 3.

Недостаток прототипа состоит в том, что при июследов аиии .монокристалЛИчеюких абъектав, noBepxiHOCTb которых имеет отклонеЕие в пределах нескольких градусов от простых кристаллаграфйческих плошостей, реако ухудшается . раЗ(решагощая опосо1бйость метода и качество .получаемых топрГрамм.

Цель изобретения оостомт в повышении

б раз1решающей опособиости съем-ки.

Для .решения (поставленной задачи о камере для рентгеноеокой топапрафии, содержащей коллиматор, кристаллодержатель, держатель фЪто:ка Ссеты, щелевое и скани1101 руШщ е устройства, держатель фотокаьсеты смонти рован с возможностью совместного наклона и поступательного движения с кристаллодержателем, а щелевое устройство снабжено механизмом наклона, сохраняющим параллельность щелей плоскости кристаллодержателя.

На чертеже показан узел преДЛагаемой камеры, обеспечивающ ий ориентирование изучаемого моно крИ1Ста.лла и реги1страцию

20 рентгенотопографического изображения.

Этот узел монтируется на поворотном столе 1 го1Н«омет ра и состо-ит ив кроиштейна 2, несущего щелевое .устройшво, которое смонтировано с возможностью поворота во251 круг оси 3 .и образовано препаратоводителем 4 с направляющей 5 и салаз1ками 6, подвижной ст1вор1кой 7 и неподвижной относительно салазок .препарато одителя створкой 8. Регулируемый зазар между створка30 м« служит щелью для прохождевия дифрагированного кристаллом .рентгеновского луча. Стойка 9 крясталлодержателя 10 жестко закреплена на каретже 11 механизма акагаирогваиия.

На к|ристаллоде,ржателе 10 смонтиро-ва.н держатель 12 фотокаосеты 13, который может паремещатйся относительно кристалла по натравляющим 14, с целью установки лребуемого раюстояния между фотокассетой и об;раз1ЦО;м. КрИсталладержатель 10 вместе с фотакассетой 13 и ее держателем 12 может наклоиятыся, поворачивая сь iBoiKpyr оси 16., .

.Предлагаемая iKaiMepa работает следующим О1б|разом.

В .крйсталлодержатсль устана1в-ли1вается образец. Стол 1 :гониомет;ра вместе с зачраплеиными на нем узлами, т. е. вместе с О;бра.3|цом, кассетой, щелями и сканируюЩИ1М yctpoйlcтвoм :паварач1И1вает1Ся отяосительио первичного р0нтге.но,3|С|КОго луча вокруг оси А-А) (т. е. в брагговоком .направлении) не теоретически рассчитаниой угол б.регговского от1ражения, а счетчнк 16 по.ворачивается iBO,Kipyr оси A-Ai да двойной угол бретговОкого отражения. Поочередно Вращая образец вакруг осн B-Bi наклоняя его «а угол раз ориентации вокруг оюи B-Bi и .корректируя .положение стола .гониометра отнооительно .рентгеновского луча, находят по .счетчи1ку н.оложение 0;бра:3|ца, соответствующее .максимальяО|М1у брегговюко.му отраже.нию. /

.Во время ориентации обраЗ)Ца створки щели .раздвин.уты пол.ностью. После ориентирования образца, К нему пододвигают щель на .мииимальное расстояние и наклоняют на угол наклона образца. В держатель 12 устанавливают фотокаосету с пленкой и подадаигают ее возможно ближе к щели. При скайировании офазца с пленкой щель остается непо(дв.иж.ной, отсекая прямапрощедший и пропуская дифрагиров.аиный луч, формирующий рентгенотопоГ|рафичбское изображение.

При исследовании неточно вырезанных

о,бразцо1В .при 01ривнт.ировании возникает необходимость их наклона на сравнительно больщие уллы, «следствие чего .ст1вор1кч щели и фотокаосета не могут быть лриближе5 ны к поверхности крйсталла, если использовать камеру трототип, но ничто не препятствует этому в предлагаемой камере. ;

Благодаря вышерпосмотренному выполнению камера позволяет производить не10 следование и .контроль несовершенств в моН0:кри1сталлах к мо«01К)ристалличеаких изделиях без ухудшениЯ разрещающей способности рентгенотопографичеюкого метода всле.дстВ(Ие .неточного к;ристаллогра|фическо15 го положе.Ния павархно.ст1И изучаемых отЛаствн.

Ф 0 р м у .л а изобретения

20 Камера для рентгенов,акой топопрафии, содержащая коллиматор, ллосюий .крвсталл..одержатель, держатель фотокассеты, щелев.ое .и .сканирующее устройства, о т л и ч ающаяся тем, что, с целью повышения

25 разрешающей апасобности съем.ки, держа- тель фото1ка1асеты смонт.ир01ван с воамоЖНОстью со.в.местного наклона -и поступательного движения 1C кр.исталлодержателем, а щелевое устройство снабжено механизмом

30 наклона, .сохраняющим .параллельность щелей плоскости кристаллодфжателя.

Источ НИКИ и н ф.о.р м ации, п.ринятые во вни.мавие тр.и зкюпертизе

1.Горелик С. С., Расторгуев Л. Н. и 35 Скаков Ю. А. Рентгенолрафичеокий и электроногр фИЧбС1Кий .аНализ металлов. М., «Металлургия, 1963, с. 36.

2.Цйбб Ц. У. Рентгено1В|ская .дифра.кцйонная топ01лрафия.

40 Сб. «Прямое наблюдение несовершенств в .к,ри сталлах. М., Металлургая, 1964, с. 7(3.

3.Миуаков В. Ф. Камера для рентгене- лрафирования дислокаций .в объеме 1боль4SI ЩИ.Х кристаллов. Кр.и(сталло,прафия, 19б3, 8 № 2, стр. 255-258 (ярототи1п).

v

-Ч

IS