Устройство для перемещения полупроводниковых пластин Советский патент 1979 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к области ра-. диоэлектроникв, в частности к устройствам для транспортировки полупровсднако вых пластин.

Иввеотны устройства для переметцеии полупроводниковых шшствв, содержащие пневмотранспортер, еоиентируютий рабо- чий стол с каналами и кассету у .

Недостатком яввестных устройс1-в яв- ляется невоаможность обеспечения выборочного перемещения пластин и возврата их в исходное, положение.

Известно, также устройство для пере- мвцения полупроводниковых пластин, содержащее вакуумный нс снтель, кассету и рабочий стоп 2.

Однако устройство также не обеспечивает выборочного перемещения их в исходное Положение.

Цель изобретения выборочное перемещение полупроводниковых пластиа и возврат их в исходное положение.

Для этого в устройстве для перемещения -полупроводниковых пластин, содержа-

щем вакуумный носитель, кассету, рабочий стол, вакуум1:ьй носитель выполнен в виде П-образного захвата и установлен между кассетой н рабочим столом с возможностью взаимодействия внутренними сторонами боковых полсж с рабочее стодом, а внешними - со стенками кассеты. На фиг.1 - схйла общего вида устройства на фиг.. 2 - разрез А-А на фиг, 1,

Устройство содержит кассету 1 с пластиШамйь 2, перемещающуюся в.вертикальной плоскости на шаг, равный расстоянию между соседними пазами кассеты 1 впи кратный етому, расстоянию, вакуумный носитель 3, совершающий возвратно-поступательное перемещение привода, Вакуумный носитель 3 выполнен в виде полого П-сбраеного захвата с наклонными отверстиями на верхней плоскости. Рабочий стол 4 установлен на валу 5 в корпусе 6, Вал 5 с помсхцью шестеренки 7 входит в зацепление с рейкой 8, установлен