Способ изготовления фазовых рэндомизирующих масок Советский патент 1979 года по МПК C03C15/00 

Описание патента на изобретение SU703513A1

- .. ./ . Изобретение относится к обпастя гайогрбфии я может бь1ть яспопьзбьано в сттико-мехвня {еских устройствах с цепь повышения качества и roioireocfя эанисй информации. Известен способ получения фазовых реЬдомв руюшйх масок IB фоточувствяtenbHOlM cnoOi Занесенном на стеклян ную ппастйнку, путем засёечйбаййя и Проявления выполняют рельеф, цреаста&пяюшйй собой совокупность равнобеарен Hbix треугояьййКов с равными вьюьтамй, основания треугольников, располагаются QO случайному закону в одной и ТОЙ же горизонтальной плоскости.. Недостатком этого способа я Е пя0тся то, что спой фотоэмульсии обладает большой погпощательной способностью по сравненш со стеклянным слоем той же тошцйны. Из-за поглощения светла в фотоэмульсин интенсивность света с фа зовым сдвигом в 180 уменьшается по сравнению с интенсивностью света ЗОЙ 0° почти на 30% l. Наибэлее ёййзкйм к йгзобретенюр по технической сущности является способ изготовления фазовых рэНдомизируклцях.. ; масок.Спрсоб, заключается в следующем f 2. На стеклянные пластйнкй методбч испарения осаждают слой серебра толщиной 2000 А . На слой серебра наносят слой фоторезиста, на котором контактным способом осуществляют отпечаток изображения. При появлений в восстановятеле Фармера пленка фоторезиста удаляется с неэкспонированных участков. Травление стекла осуществляют в растворе, в « которых входят 10 см,45% HF и 200см двстилпйрованной воды. После чего оставшийся спрй фоторезиста удаляют. Недостатком.этого способа является то, что при использовании травитепя указанного состава из-за присутствия в стекле окислов с различной скоростью , травления на поверхности стекла появляется матовый налет, существенно изменяющий прозрачность маски Пропускание масок, полученных описанным спо

Похожие патенты SU703513A1

название год авторы номер документа
МАСКА ДЛЯ БЛИЖНЕПОЛЬНОЙ ЛИТОГРАФИИ И ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЕ 2011
  • Кобрин Борис
RU2544280C2
Способ изготовления световодных или светоизолирующих каналов в стекле 1982
  • Полянский Михаил Николаевич
  • Грилихес Светлана Файбелесовна
  • Поржецкий Сергей Александрович
SU1073201A1
ЭЛЕКТРОПРОВОДНАЯ ОСНОВА ДЛЯ ОРГАНИЧЕСКОГО СВЕТОИЗЛУЧАЮЩЕГО ДИОДА (OLED), OLED, ВКЛЮЧАЮЩИЙ В СЕБЯ УКАЗАННУЮ ОСНОВУ, И ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЕ 2015
  • Гимар Дени
  • Боо Жюльен
RU2690730C2
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО НАНЕСЕНИЯ НАНОРИСУНКА НА БОЛЬШИЕ ПЛОЩАДИ 2008
  • Кобрин Борис
  • Ландау Игорь
  • Вольф Борис
RU2488188C2
ПОДЛОЖКА МАТРИЦЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ТРАНЗИСТОРОВ И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ, И ЖИДКОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ ДИСПЛЕЙ 2014
  • Лв Цибяо
RU2666815C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕЗИСТИВНЫХ МАСОК ДЛЯ НАНОЛИТОГРАФИИ 2012
  • Витухновский Алексей Григорьевич
  • Сычев Владимир Васильевич
  • Глубоков Дмитрий Анатольевич
  • Тайдаков Илья Викторович
RU2510632C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГОЛОГРАФИЧЕСКИХ ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК 1999
  • Венгер Евгений Федорович
  • Костюкевич Сергей Александрович
  • Шепелявый Петр Евгеньевич
  • Гольцов Юрий Геннадиевич
RU2165637C1
Способ получения рисунка фотошаблона 1985
  • Берлин Е.В.
  • Красножон А.И.
SU1308111A1
Способ изготовления слайдов для гобо проекторов путем химического травления 2023
  • Штыков Андрей Николаевич
RU2804601C1
СПОСОБ ЗАЩИТЫ ГОЛОГРАММ ОТ ПОДДЕЛКИ И УСТРОЙСТВО АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ПОДЛИННОСТИ ГОЛОГРАММЫ 2003
  • Бобринев В.И.
  • Лушников Д.С.
  • Николаев А.И.
  • Одиноков С.Б.
  • Цыганов И.К.
RU2246743C2

Реферат патента 1979 года Способ изготовления фазовых рэндомизирующих масок

Формула изобретения SU 703 513 A1

SU 703 513 A1

Авторы

Шитова Эльвира Валериановна

Генкина Нэла Александровна

Крюкова Наталья Николаевна

Вербовецкий Александр Алексеевич

Федоров Вячеслав Борисович

Даты

1979-12-15Публикация

1977-10-03Подача