- .. ./ . Изобретение относится к обпастя гайогрбфии я может бь1ть яспопьзбьано в сттико-мехвня {еских устройствах с цепь повышения качества и roioireocfя эанисй информации. Известен способ получения фазовых реЬдомв руюшйх масок IB фоточувствяtenbHOlM cnoOi Занесенном на стеклян ную ппастйнку, путем засёечйбаййя и Проявления выполняют рельеф, цреаста&пяюшйй собой совокупность равнобеарен Hbix треугояьййКов с равными вьюьтамй, основания треугольников, располагаются QO случайному закону в одной и ТОЙ же горизонтальной плоскости.. Недостатком этого способа я Е пя0тся то, что спой фотоэмульсии обладает большой погпощательной способностью по сравненш со стеклянным слоем той же тошцйны. Из-за поглощения светла в фотоэмульсин интенсивность света с фа зовым сдвигом в 180 уменьшается по сравнению с интенсивностью света ЗОЙ 0° почти на 30% l. Наибэлее ёййзкйм к йгзобретенюр по технической сущности является способ изготовления фазовых рэНдомизируклцях.. ; масок.Спрсоб, заключается в следующем f 2. На стеклянные пластйнкй методбч испарения осаждают слой серебра толщиной 2000 А . На слой серебра наносят слой фоторезиста, на котором контактным способом осуществляют отпечаток изображения. При появлений в восстановятеле Фармера пленка фоторезиста удаляется с неэкспонированных участков. Травление стекла осуществляют в растворе, в « которых входят 10 см,45% HF и 200см двстилпйрованной воды. После чего оставшийся спрй фоторезиста удаляют. Недостатком.этого способа является то, что при использовании травитепя указанного состава из-за присутствия в стекле окислов с различной скоростью , травления на поверхности стекла появляется матовый налет, существенно изменяющий прозрачность маски Пропускание масок, полученных описанным спо
Авторы
Даты
1979-12-15—Публикация
1977-10-03—Подача