Вакуумметр Советский патент 1980 года по МПК G01L21/24 

(54) ВАКУУММЕТР

1

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для точного измерения давления в диапазоне 1О мм .

Известны вакуумметры с вращающимися элементами в которых используется зависимость коэффициента вязкости разреженного газа от давления 1.

Наиболее близким к предлагаемому изобретению по технической сущности является роторный вакуумметр с магнитным подвесом, который содержит ротор, подвешенный в магнитном поле соленоида внутри вакуумной камеры, индуктор магнитной раскрутки и датчик угловой скорости.

Давление в вакуумной камере определяется по уменьшению угловой скорости свободного вращения за определенный интервал времени 2.

Существенным недостатком известного устройства является значительное время измерения давления. Например, ротор диаметром 1,59 мм, начальная скорость которого равна 12ОООО об/с, уменьшает

свою скорость на 1% при давлении 10 н рт.ст. за 2 ч.

Другим недостатком этого устройства является сложность конструкции, опредеЛ1яемая наличием электромагнитов и систе:мы автоматического регулирования подвеса ротора.

Цель изобретения - уменьшение времени измерения давления и упрощение конструкции вакуумметра.

Поставленная цель достигается тем, что в вакуумметре, содержащем ч орпус, в котором на магнитной подвеске установ лен ротор, индуктор электромагнитной раскрутки и датчик угловой скорости, на роторе выполнены лопатки, а магнитная подвеска выполне1ш в виде магнитных .радиально-упорных пошципн1жов на постчэянных магнитах.

На чертеже показана конструкция предлагаемого устройства.

Устройство содержит корпус 1, внутри которого расположен ротор 2, выполненный в виде полого цилиндра с лопатками