Многозондовое устройство Советский патент 1980 года по МПК H05K1/04 

Многозондовое устройство содержит оптически прозрачное диэлектрическое основание 1, печатную плату 2, упругие стержневые зонды 3 и плиту 4 механизма перемещения зондов.

Основание 1 выполнено из оптически прозрачного диэлектрического материала, например из органического стекла, что обеспечивает свободный доступ луча лазера к подгоняемым элементам микросхемы. Для этого в печатной плате 2 выполнены окна 5, расположение и форма которых соответствует расположению н форме подгоняемых элементов микросхемы. В основании 1 и печатной плате 2, соединенных между собой так, что плата 2 находится над основанием 1, образуя определенный зазор, вертикально закреплены упругие стержневые зонды 3, хвостовики которых лсестко связаны с металлизированными дорожками 6 печатной платы 2, а, нижние, находясь в напряженном состоянии под действием упругих плоских частей зондов 3, расположены в направляющих отверстиях основания 1, причем острия их расноложены в плоскости, совпадающей с плоскостью расположения контактных площадок микросхемы. Зонды 3 смещены в радиальном направлении один относительно другого так, что их плоские упругие части не пересекают поля подгоняемых элементов.

Плита 4, выполненная из магнитомягкого материала и жестко связанная с печатной платой 2, действует как внешний якорь, притягиваемый к сердечникам электромагнитов, расположенных на установке подгонки.

Для совмещення зондов 3 с зондируемыми точками микросхемы на основании 1 наносят метку, контуры которой совпадают с контурами соответствующей метки на контролируемой микросхеме, а в печатной плате 2 выполняют отверстие 7, расположенное так, чтобы метки основания 1 и

контролируемой нодложки находились в поле зрения микроскопа.

Работает описываемое устройство следующим образом.

После того, как многозондовое устройство выставлено относительно определенной топологии микросхемы, включаются электромагниты, которые находятся на установке подгонки, притягивая плиту 4 механиз.ма перемещення зондов, н в результате соприкосновения контактных площадок микросхемы с унругими зондами 3 создается падежный омический контакт с контактными нлощадкамн элементов микросхемы. Одновременно с этпм начинается подгонка микросхемы.

Использование пзобретения позволяет автоматизировать процесс подгонки и, таким образом, повысить производительность подгонки при надежной работе устройства.

Ф о р м у л а изобретения

Многозоидовое устройство, содержащее корпус, стержневые зонды с yiipyrok частью и механизм перемещения зондов, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности подгонки микросхем, оно снабжено оптически прозрачным диэлектрич ским основанием и печатной n iaтой, размещенной над основанием и соединенной с механизмом неремещения зондов, причем упругая часть каждого зонда расположена в зазоре между печатной платой и основанием, а хвостовик жестко закренлен в печатной плате, снабженной окнами, форма и расположение которых соответстиует форме и расположению подгоняемых элементов микросхемы.

Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 317133, кл. Н OIL 21/66, 1970.

2.Авторское свидетельство СССР № 514457, кл. Н ОбК 1/04, 1974 (прототип).