Электродуговой испаритель металлов Советский патент 1981 года по МПК C23C13/12 

(54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ I , Изобретение относится к технике нанесения металлических покрытий в вакууме и может быть использовано в общем и химическоммашиностроении, радиоэлектронике и других областях науки и техники, использующих металлические пленки. По основному авт.св. № 307666 известен электродуговой испаритель металлов, содержащий корпус, поджигающий электрод и анод, причем последний снабжен соленоидом, расположенным снаружи.выполненного из немагнит ного материала корпуса, внутри котоiporo коаксиально расположен катод. Однако акое устройство имеет не.большой коэффициент использования ма териала катода. - , Цель изобретения - увеличение коэффициента материала катода. Для этого в электродуговом испарителе металлов, содержащем корпус, поджигающий электрод и анод, снабженный расположенным снаружи выполне ного из немагнитного материала корпу са, внутри которого касательно распрложен катод, последний-снабжен обечайкой, размещенной на ёгЬ нерабочей поверхности и выполненной иэ .материала катода. На чертеже .представлена конструк ция предлагаемого эдектродугового испарителя. Он состоит из корпуса 1,катода 2, поджигсцощего электрода 3, 4, соленоида 5 и обечайки .6. Устройство работает следующим образом. ., Назначение соленоида 5- удерживать катодные пятна на поверхности испарения катода. Однако катодные .пятна, хаотически перемещаясь по поверхности испарения, забегают на боковую поверхность катода 2 на расстояние 20-45 мм в зависимости, от тока дуги. Магнитные силовые линии солен6ш1а образую бстрый угоЛ с боковой поверхностью катода, поэтому катодные пятна выталкиваются на поверхность испарения. Когда толщина катода достигает величины меньше 20 мм, катодные пятна попадают на торец, противоположный поверхности испарения. -. -. К торцу катода 2 со -стороны, противоположной поверхности испарения, укреплена металлическая обечайка 6 длиной 20-45 №1, являющаяся пЬодолже кием боковой поверхности катода 2. . ;длина обечайки 6 определена экспери

,,.«745189

ментально из расстояния, на которое забегают катодные пятна на боковую поверхность катода 2 при различных

iPblcax дуги и величины, магнитного поля соленоида 5 Установка обечайки б заподлицо с боковой поверхностью катода 2 исключает погасание дуги на тыкё ее с катодом. Обечайку б целесообразно изготавливать из лйстев61:ю материала толщиной 1-2 мм. Для .исключения загрязйениА металлического покротий металл обечайки должен быть идентичен металлу испаряемого катода 2. Катод с обечайкой горит стабильно и мо5кет быть испарен, практически полностью. Толщина 1-2 ;им неиспаренного катода определяется креплением обечайки б..

Применение обечайки позволило значительно увеличить коэффициент исЙдЛьШёйййй испаряемого металла. Например, в испарителе катод с диаметром 100 мм, толщиной 60 мм из Т без обечайки прекргицает стабильно работать при толщине 20-25 мм, т.е. используется 60% запаса металла, при Наличии обечайки шириной 25 мм толщина неиспаренного катода 2 мм, т.е. испсгльзуется 95% металла. Таким образом, на каждом катоде из т можно сэкономить 700 г, а из Мо - 1,5 кг.

Формула изобретения

Электродуговой испаритель металлов по авт.св. № 307666, о т л и чающийся тем, что, с целью увеличения коэффициента использования материала катода, катод снабжен обечайкой, размещенной на его нерабочей поверхности и выполненной из

материала катода.