Камера для климатических испытаний Советский патент 1980 года по МПК B01L7/02 H01L21/66 G05D23/30 

(54) КАЛШРА ДЛЯ КЛИМАТИЧЕСКИХ ИСПЫТАНИЙ

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и может быть использовано при испытаниях интегральных микросхем на воздействие крайних температур.

Известна камера для климатических испытаний, содержащая термостат, накопитель барабанного типа, устройства загрузки-выгрузки и контактирующее устройство 1 .

Исзделия размещаются на периферии барабанного: накопителя, который, совершив один оборот, подает изделия К контш тирующему устройству, затем производится выгрузка их в соответствующую группу.

Недостатком известного устройства является неполное использование полезного объема (термообьема) камеры. Изделия в накопителях барабанного ткпа располагаются по внешней образующей барабана, центральный объем камеры остается незаполненнъгм.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является полуавтомат для измерения стабильности и параметров транзисторов, включающий термостат, транспортное устройство для перемещения обрабатываемых образцов, механизм разгрузки, механизм выгрузки и контактирующее устройство 2 .

Работает известное устройство сле10дующим образом.

Изделия ор1Гентированно загружаются в механизм загрузки, передающий их на винтовую направляющую в зону нагрева термостата. Винтовая направляющая вы15полнена по внутренней образующей корпуса термостата. Ротор термостата перемещает изделия по винтовой направляющей в течение заданнсях времени выJQ держкн (ЗО мин), после чего происходит замер электрических параметров изделий. Затем они попадают в механизм разгрузки и оттуда в соответствующую проверенным параметрам секцию. К числу недостатков данного полуавтомата относится наличие накопителя б& рабанного типа, усложняющего в целом конструкцию полуавтомата. Это, в свою очередь, обуславливает неполное испоиьаование полезного объема термостата, а также зависимость цикличности работы полуавтомата от времени выдержки изделий в термостате. Цель изобретения - повышение производительности камеры за счет увеличе ния степени использования теплового объема. Поставленная цель достигается тем, что камера снабжена укрепленными по высоте термостата полками с окнами, на которых размещено транспортное устройство, вьтолненное в виде двух винтов, Tijiii этом с целью обёспечешщ вааймо эаменяемости, попки состоят из пластин На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 - транспортное устройство. Камера для климатических испытаний состоит из термостата 1 с расположенны в Нем транспортным устройством 2, механизмов загрузки 3 и выгрузки 4 изделий 5, механизма перемещентш б, пода щего изделия 5 к контактирующему устройству 7. Транспортное устройство 2 вьтолнено в виде шогоярусной системы попарно расположенных винтов 8, установленных на полках, размещенных в направляющих 9, при этом выполнены в виде пластин 10, одна из которых под каждым ярусом имеет окно 11, Синхрон ное вращательное движение каждой пары винтов осуществляется при помощи зубчатых колес 12. Работа осуществляется следующим об разом. Изделия 5 подаются автоматически механизмом загрузки 3 в верхний ярус транспортного-устройства 2, расположен ного в термостате 1. Пара винтов 8 верхнего яруса удерживает изделия 5 в пазах винтовой образующей в ориентированном положении и, синхронно вращаясь с помощью зубчатых колес 12, перемещают изделия. Изделия 5 удерживают снизу съемными пластинами 10, одна из коТорък имеет окно 11, достигнув кото роГчэ изделия 5 падают под действием собственного веса вниз и попадают в па винтовой образующей пары винтов 8 низ лежащего яруса. Врашаясь синхронно, эт пара винтов перемещает изделия 5 в пр тивоположную сторону, т.е. после перехода изделий с яруса на ярус направление их перемещения меняется на противоположное. Направление противоположного перемещения изделий в рассматриваемой КОНСТРУ1СЦИИ достигнуто за счет того, что каждая транспортная пара составлена из винтов с противоположным направлением винтовой нарезки. ПротивоПОЛШШО6 перемещение изделий на смежых ярусах осуществляется за счет изменения вращения пары винтов. С нижней транспортной пары изделие 9 попадает в механизм 6 перемещения, который сначала подключает его к контак- тиру ощему устройству 7, а затем подает в механизм 4 выгрузки, где изделие выгружается в соответствующую измеренным параметрам группу. Меняя местоположения пластин 10 с окнами 11 под каждым ярусом, задать любое BpeMsj выдержки изделий 5 в термостате Is не изменяя заданную производительность камеры. Все это взаимосвяз;.адо формулой ,CL где Р -. производительность; Q емкость накопителя; Т - время выдержки, а время цзпсла Предлагаемое устройство позволяет разместить в камере в три-четыре раза больше изделий, чем при использовании , известных устройств, увеличить степень использования теплового обьема за счет более компактного расположения механизмов, позволяет снизить удельную потребность энергоносителей и увеличить производительность данной камеры по сравнению с существующими. Формула изобретения Камера для климатических испытаний, включающая термостат, транспортное устройство для перемещения обрабатываемых образцов, механизм разгрузки, механизм выгрузки и контактирующее устройство .отличающаяся, тем, . тго, с целью повышения производительности камеры за счет увеличения степени использования теплового обьема, она снабжена укрепленными по высоте термостата полками с окнами, на которьк размещено транспортное устройство, вьтолнен- ное в виде двух . 2. Камера по п. 1,отличающ а я с я тем, что, с целью обеспече57475186

ния взаимозаменяемости, полки вьшолнены1. свидетельство СССР

из пластин.№ 574016, кл, Н OIL 21/66, 1977.

Источники информации,2. Авторское свидетельство СССР

принятые во внимание при экспертизе,№ 171470, кл. Н OIL 21/66, 1965.

Фие f

Ц и г 2