Устройство для перегрузки кремниевых пластин из транспортирующих кассет Советский патент 1980 года по МПК H01L21/00 

1

Изобретение относится к электронной технике, а именно к оснастке, применяемой в производстве микросхем, для перегрузки пластин на групповых операциях из многорядной тары в однорядную и обратно.

Известен перегрузчик полупроводниковых пластин, содержащий корпус с пазами под пластины и средство для изменения шага между пластинами, работа которого основана на стыковке (наложении) тары и перегрузчика, совмещая пазы под пластины, перевороте на 180° с одновременным ориентированным перемещением пластин по пазам 1.

Однако такой перегрузчик не предусматривает групповой перегрузки пластин без дополнительных приспособлений и устройств из многорядной тары (например двухрядной) в однорядную и обратно, а средства для изменения шага между пластинами связаны либо с захватными органами либо сложны в эксплуатации. Применение его для перегрузки пластин из многорядной тары в однорядную невозможно, так как корпус перегрузчика с пазами под пластины одновременно может принять только один ряд пластин, другие пластин, остав.шиеся в таре, выпадут при перевороте на 180°, что ведет к их расколам, трещинам и к браку.

Известно также устройство для перегрузки кремниевых пластин из транспортиJ рующих кассет, содержащее корпус, выполненный в виде скрепленных стяжками боковых стоек с гнездами, причем в боковых стойках выполнены последовательно чередующиеся с гнездами пазы на расстояниях, кратных шагу транспортирующей кассеты 2J.

Известное устройство не позволяет производить перегрузку пластин с разным шагом без дополнительных Лриспособлений.

Цель изобретения - снижение трудоемкости перегрузки и повышение произво15дительности.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство для перегрузки кремниевых пластин, содержащем корпус, выполненный в виде соединенных между собой элементов с пазами для пластин с возможностью вза20имодействия с ним средств для изменения шага между пластинами, средства для изменения шага выполнены в виде планки, каждая из которых снабжена сквозными и несквозными пазами, чередующимися между собой с постоянным шагом.

На фиг. 1 изображено устройство, состоящее из 2-х элементов (блоков) в 2 ряди (двухрядное положение), общий вид; на фиг. 2 - то же, составленное из 2-х блоков в 1 ряд (однорядйое положение); на фиг. 3 -групповая выгрузка, пластин из двухрядной транспортной тары в устройство; на фиг. 4 - групповая загрузка пластинами диффузионной лодочки из однорядного устройства для перегрузки; на фиг. 5 - планка.

Устройство состоит из корпуса, состав-. ленного из соединенных между собой элементов (блоков) I, имеющих пазы 2 для полупроводниковых пластин. Причем в блоках выполнены щтифты 3 и отверстия 4 для соединенных блоков между собой. Средства для изменения шага между пластинами выполнены в виде накладных планок 5 в нaббpё;otлйчaющйёcя друг от друга только величиной шага между чередующимися пазами и прорезями. Планка 5 имеет сквозHbie пазы 6 и вспомогательные дугообразные (несквозные) пазы 7. На фиг. 5 планка показана для перегрузки пластин с увеличением щага в операционной кассете, т. е. шаг между пластинами в кассете, откуда перегружают меньше шага в кассете куда перегружают. Для уменьшения шага используется планка без вспомогательных дугообразных пазов 7, необходимых для удержания части пластин. В планку 5/ запрессованы штифты 8 для фиkcaции с устрой ством для перегрузки или тары.

Устройство работает следующим образЬм.

Пластины кремния поступают на химй ческую, литографическую или диффузионную операции, как правило, в стандартной транспортной таре с двухрядный расположением пластин. Операционные кассеты обычно бывают однорядными. Для перегрузки пластин из транспортной тары в однородную операционную кассету или, например, в диффузионную лодочку необходимо сначала перегрузить их в устройство для перегрузки, а из него - в диффузионную ло-.

дочку V --:-- -- . ... -----Процесс перегрузки осуществляется следующим образом. Элементы 1 стыкуютсй При помощи штифтов 3 в двухрядное положение (фиг. I). Прямым наложением устройство для перегрузки располагают над корпусом двухрядной тары, одновременно пропуская пластины, находящиеся в таре, в пазы 2 устройства (фиг. 3). Переворачивают совмещенное устройство для перегрузки и двухрядную тару, пластины Переходят в пазы 2 устройства. Тару удаляют. Далее пластины из устройства перегружают в однорядную операционную Kacceiy, например

748580

диффузионную лодочку. Элементы (блоки) устройства расстыковывают и состыковывают в однорядное положение (фиг. 2) вместе с пластинами. Накладывают лодочку на устройство, совмещая пазы лодочки с пазами 2 устройства и одновременно вводя пластины в пазы лодочки. Переворачивают лодочку с устройством на 180°. Пластины перемещаются в пазы лодочки, а корпус, оказываясь сверху лодочки, снимается. Загруженную пластинами лодочку помещают

в диффузионную печь для произведения диффузионных процессов. V После окончания химических, литографических, диффузионных операций производится обратная перегрузка пластин в транj спортную двухрядную тару. Описанный процесс перегрузки повторяют в обратном порядке.

Транспортная и операционная тара могут иметь различный шаг между пластинами. При необходимости изменения щага между

пластинами используют накладные планки (фиг. 5), каждая из которых имеет шаг, равный шагу операционной кассеты или лодочки (например, 2, 4, 8 мм и т. д.). Накладную пластинку с нужным щагом поJ мещают между корпусом кассеты и устройством для перегрузки, совмещая пазы для пластин и повторяя указанный процесс перегрузки.

Устройство для перегрузки позволяет перегружать пла.стинЫ из многЬрядной кассеты в однорядную и обратно с минимальными затратами времени и с высокой производительностью. ,

Формула изобретения

Устройство, для перегрузки кремниевых пластин из транспортирующих кассет, содержащее корпус, выполненный в виде соединенных между собой элементов с пазами для пластин и выполненных с возможностью взаимодействия с ними средств для изменения шага между пластинами, отличающееся тем, что, с целью снижения трудоемкости и повышения производительности, средства для изменения шага выполнены в виде план-. ки, каждая из которых снабжена сквозными и несквозными пазами, чередующимися между собой с постоянным шагом.

Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США ,Nb 3949891, кл. 214-301,

1976.;. . . .

2.Авторское свидетельство СССР

№ 526223, кл. И 01 L 21/68, 05.07.74 (прототип) .

748580

Фиг. 1

Фае. 2

О