Устройство для перемещения Советский патент 1980 года по МПК F27D3/00 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

1

Изобретение относится к полупроводниковой промышленности и может быть использовано для подачи с заданной скоростьк лодочки с пластинами из полупроводникового материала на операциях термодиффузионной обработки в диффузионных печах.

Известно устройство для перемещения, содержащее привод, корпус, направляющие, каретку с кварцевым стержнем 1.

Известно также устройство для перемещения, содержащее корпус и размещенные в нем направляющие, приводную каретку, ро- ю лики которой жестко установлены на осях и охватывают направляющие 2.

Недостаткам устройств является возможность поперечных колебаний и поворота стержня с лодочкой вокруг оси стержня изза чего пластины рассыпаются в трубе. Лодочка и стержень соединены между собой неразъемно, образуя при этом громоздкую конструкцию, которая создает трудности при изготовлении, например, на операции химобработки, а также при установке в направ- 20 ляющие.

Цель изобретения - исключение поперечных колебаний каретки при перемещеПоставленная цель достигается тем. что каретка выполнена из двух разъемных в кь ризонтальной плоскости частей, поджатых друг к другу пружинами, причем часть ро.шков установлена с возможностью перемете ния вдоль оси на втулках.

На фиг. 1 схематически изображено уст ройство для перемещения, общий вид; на фиг. 2 - то же, вид сверху, фиг. 3 - вид А на фиг. 1; на фиг. 4 - разрез Б-Б на фиг. 2; на фиг. 5 - вид В на фиг. 4; на фиг. 6 - разрез Г-Г на фиг. 4.

Устройство для перемещения лодочки 1 с пластинами из полупроводникового материала в реакционной трубе 2 диффузионной печи смонтировано в корпусе 3, вкотором по двум круглым направляющим 4 на роликах перемещается каретка 5, несущая кварцевый стержень 6 с крючком на конце для удерживания лодочки 1 при транспортировке.

Привод каретки 5 состоит из электродвигателя 7 постоянного тока и с регулируемой скоростью вращения вала, редуктора 8. на выходном валу KOTopoio закреплен бара бан 9 с винтовой канавкой,каната iO. намотанного на барабан 9, концы которого перекинуты , б/кжи I 1 и лакреилешя lui ка-ретке 5 с псхмошью валиков 12. С) uiii из б.чоков П 1 ра1цается на осп 13 в крошнтойне 14, а дру1ой -- иа рычаге 15, закрепленном иа оеи 16 в кронштейне 14, прикрепленном к концевой стенке корпуса 3, Пружина 17 с, для натяжения: каната 10 на блоках II. Па горизонтальной планке корпуса 3 установлены концевые выключатели 18 с толкателями 19. Валик 20 предназначен для подъема кварцевого стержня 6, который удерживается в отверстиях кронштейнов 21, установлепны.х на концевых стенках корпуса 3с помощью заштифтовки с маховичком 22 и кольцо.м 23, Направляющие 4 изготовлены из калиброванной круглой стали, и.меют с одного конца две диаметрально расположенные канавки, а с другого - резьбу, вставлены в отверстия концевых стенок корпуса 3 и натянуты с помощью нланки 24 гайками 25. Отверстие в планке 24 предназначено для установки в пазы планки концов направляющих 4, Каретка 5 перемещается по направляющим 4 на восьми роликах, в ободах 26 которых выполнены полукруглые канавки по форме профиля направляющих 4 и состоит из двух частей. Четыре верхних ролика посажены на осях 27, закрепленных в нижнем корпусе 30 каретки. Винты 31 закренлены в корпусе 30 и входят в отверстия верхнего корпуса 28. Между головками винтов 3 и уступами отверстий в верхнем корпусе 28 каретки помещены пружины 32, которые прижимают ободы 26 роликов к направляющим 4, самоустанавливая ролики на направляюnuix. Рычаг 33 закреи.КП па оси 34 в пазу нижнего корнуса 30 и удерживается в горизонтал1Л{ом по.южении пружиной 35, прикрепленной к рычагу 33 с но.мощью заклепки 36. PojHiKH 37 вращаются на осях 38 рычага 33 и предназначены для остановки в крайних ноложениях ка)етки 5 при нажатии ими толкателей 19 концевых выключате.1ей 18 и отклю:ением электродвигателя 7. Рычаги 39 закреплены на осях в пазах кронштейнов 40 и 41, установленных на верх нем корпусе 28 и своими уступами с помо цью пружины 42 удерживают за цапфы держатель кварцевого стержня 6. Держатель представляет собой хомутик 43 с двумя цапфами, в котором крепится кварцевый стержень 6 с помощью ползуна 44 и винта 45 с контр1айкой. Штифты 46 в хомутике 43 служат направляющими для ползуна 44. V-образный толкатель 47 расположен в кронщтейне 48 и опирается на кулачок 49, который может скользить по валику 20. Шпонка 50 своим выступом входит в паз ч.лачка 49 и перемещается вместе с ним по |5а1ику 20 при пере.мещении каретки, цепляясь выступом за стенки кронштейна 48. Кварцевый стержень 6, удерживаясь цапфами хомутика 43 в пазах кронштейнов 40 И 41, опирается на то.ткагель 4j п, новорс том ва. 20 с кулачком 49, может вводиться в зацеп,Кние с лодочкой д.1я гранспорти рования и.ти выводиться из зацеп.чеиия. Внешняя часть 26 роликов карстки вы полнена с полукруглыми канавками, которыми ролики соприкасаются с направляющими 4 во вре.мя перемен ения каретки, а внутренняя часть имеет бургик. Каждый обод 26 посажен на два шарикоподшипника 51. Шарикоподщипники верхних роликов с одной стороны каретки внутренними обоймами посажены па цапфы осей 27 пеподвижно. Шайбы 52, входя в кольцевую канавку на цапфах осей 27, исключают осевое перемещение шариконодшипников с ободом 26 вдоль осей. Шарикоподщипники остальных роликов внутренни.ми обой.мами посажены на втулки 53, имеющие буртик с пазом с одного конца, и закреплены на втулках разЕвальцовкой второго конца. Меж у внутренними обоймами шарикоподщипников каждого ролика установлены распорные кольца 54, ширина которых равна ширине буртика в ободе 26 ролика. На осях 27 с одного конца, а на, осях 29 с обоих концов, сняты лыски параллельно друг другу, которыми оси входят в пазы втулок 53, с целью исключения вращения втулок 53 с внутренними обоймами щарикоподшипников. Между торцом и дном вт лок 53 и соответствующими торцами осей 27 и 29 установлен одинаковый зазор, который позволяет втулкам 53 (в целом роликам) перемещаться вдоль цапф осей 27, 29 с целью компенсации непараллельности направляющих 4, так как при движении каретки под действием пружин 32 ободы 26 роликов должны самоустанавливаться на направляющих 4 и полукруглыми капавками катиться по ним без зазора. Устройство работает следующим образом. Лодочка 1 с пластинами из полупроводникового материала устанавливается на позицию загрузки и поворотом валика 20 крючок стержня 6 вводится в зацепление с лодочкой 1. Включается в сеть электродвигатель 7, который через муфту приводит во вращение барабан 9 на выходно.м валу редуктора 8. Канат 10, пере.матываясь на барабане 9, нриводит в движение каретку 5, которая двигаясь па роликах по направляющим 4, с помощью кварцевого стержня 6 перемещает лодочку 1 в рабочую зону диффузионной печи. В момент достижения лодочкой 1 рабочей зоны печи ролик 37 нажимает на толкатель 19 кольцевого выключателя 18 и электродвигатель 7 останавливается. Поворотом валика 20 через кулачок 49 п толкатель 47 крючок кварцевого стержня 6 выводится из зацепления с лодочкой 1. Включается в сеть электродвигатель 7, который сообщает обратное вращение барабану 9 редуктора 8. При этом каретка 5 со стержнем 6 отводится в исходное положение. где электродвигатель 7 отключается при imжатии ролика 37 на толкатель 19 исходрюго выключателя 18. Для выгрузки лодочки 1 из рабочей зоны нечи каретка 5 подводится в переднее положение, крючок вводится в зацепление с лодочкой и производится транс портировка лодочки 1 в обратном направлении на позицию загрузки. В устройстве для перемещения конструкция каретки, роликов и осей выполнена так, что ролики, охватывая канавками направляющие по профилю, могут, самоустанавливаясь на направляющих, катиться по ним, даже при значительном отклонении от параллельности. При этом, чем сильнее натянуты направляющие, тем меньще будет отклонение от параллельности. Предлагаемая конструкция обеспечивает надежность работы устройства, исключает возможность поворота стержня вокруг своей оси и переворота лодочки с пластинами, позволяет плавно перемещать лодочку с пластинами в диффузионной трубе. Формула u3o6pLTi.Hii:i Устройство для перемещснчя, со.чержащее корпус и размещенные Р, лем направляющие, приводную каретк , |1(.1ики которой жестко установлены на ося.х и охватывают направляющие, отличающееся le.M, что, с целью исключения поперечных колебаний каретки при пере.мещении, каретка выполнена из двух разъемных в горизонтальной плоскости частей, поджатых друг к другу пружинами, причем часть роликов установлена с возможностью перемещения вдоль оси на втулках. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Патент СШ.Л Л 3705714, кл. F27 5/00. 1972. 2.Патент Японии Л 48-42380, кл. Н 01 t7/00, 1973.

п.2 22 7 8 e f.j i- yiiy niiai у tJ Ст ;,,,.g..X.