Устройство для перегрузки полупроводниковых пластин в кассеты с различным шагом размещения полупроводниковых пластин Советский патент 1984 года по МПК H01L21/00 

2. Устройство, по п. 1, отличающееся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей, механизм для распределения пластин выполнен в виде подпружиненных рычагов, кинематически соединенных с кулачковым валом,причем упоры расположены на концах подпружиненных рычагов.

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕГРУЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН В КАССЕТЫ С РАЗЛИЧНЬМ ШАГОМ РАЗМЕЩЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, содержащее накопитель, выполненный в виде рамы с пазами для полупроводниковых пластин, и механизм для распределения полупроводниковых пластик с упорами, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности в работе за счет исключения возможности повреждения пластин и повышения удобства в обслуживании, оно снабжено основанием с опорой для кассет и кареткой, в которой выполнено окно для опоры основания, при этом накопитель шарнирно- установлен на каретке над ее окном, пазы для полупроводниковых пластин в раме накопителя выполнены глухими со стороны окна каретки, а упоры механизма для распределения полупроводниковых пластин расположены на накопителе со стороны , противоположной окну каретки, и

Изобретение относится к электронн технике, в частности к устройствам, позволяющим осуществлять перегрузку полупроводниковых пластин из одной технологической кассету в другую при производстве п/п приборов и ИС, Известно устройство для перегрузки полупроводниковых пластин в кассеты с различным шагом размещения по лупроводниковых пластин, содержащее накопитель, выполненный в виде соеди ненных мэжду собой корпусов с пазами для полупроводниковых пластин и механизм для распределения полупроводниковых пластин, выполненный в ви де планок, в каждой из которых выпол нены сквозные и несквозные пазы, чередующиеся между собой с постоянным шагом Cl3. Недостатками известного устройства является низкая надежность в рабо те вследствие того, что не исключены повреждения полупроводниковых пластин при перемещении их в отверстиях планок механизма для распределения, д также данное устройство не удобно в обслуживании, так как затруднено совмещение кассет с пазами накопителя и необходима дополнительная манипуляция - переворот накопителя, при котором также не исключены повреждения пластин, кроме того, устройство имеет ограниченные эксплуатационные возможности, оно обечзпечивает перегрузку а кассеты только с двумя различными шагами размещения полупроводниковых пластин, Наиболее близким к предлагаемому по техн 1ческой сущности является уст ройство для перегрузки полупроводниковых пластин с различным шагом разМ1вщения полупроводниковых пластин, содержащее накопитель, выполненный в виде рамы с пазами для полупроводниковых пластин и механизм для распределения полупроводниковых пластин в виде планки с упорами С23. Однако известное устройство недос таточно надежно в работе, так как в нем не исключены повреждения полупро водниковых пластин при их перегрузке за счат ударов, возникающих при перевороте накопителя и при.перемещени пластин из кассеты в накопитель, а также устройство не достаточно удобно в обслуживании, так как переворот накопителя осуществляется вручную. Кроме того, данное устройство обла,ц9ет ограниченными эксплуатационными возможностями, так как оно обеспечивает перегрузку в кассеты только с двумя различными шагами размещения полупроводниковых пластин. Цель изобретения - повышение надежности в работе, повышение удобства в обслуживании и улучшение эксплуатационных возможностей, Поставленная цель достигается тем, что устройство для перегрузки полупроводниковых пластин в кассеты с различным шагом размещения полупроводниковых пластин, содержащее накопитель, выполненный в виде рамы с пазами для полупроводниковых пластин и механизм для распределения полупроводниковых пластин с упорами, снабжено основанием с опорой дЛя кассет и кареткой, в которой выполнено окно для опоры основания, при этом накопитель шарнирно установлен на каратке над ее окном, пазы дня ..полупроводниковых пластин в раме накопителя выполнены глухими со стороны окна каретки, а упоры механизма для распределения полупроводниковых пластин расположены на накопителссо стороны, противоположной окну кареткиМеханизм для распредешёния пластин выполнен в виде подпружиненных рьлчагов, кинематически соединенных с кулачковым валом, причем уопры расположены на концах подпружиненных рычагов. На фиг, 1 показано устройство для перегрузки пластин со стороны рабочего места, общий вид (пластины, технологическая и кварцевая кассеты нероказаны); на фиг, 2 - то же, вид сверху; на фиг, 3 - сечение А-А на фиг. 1; на фиг, 4 - накопитель находится в нижнем положении, кварцевая кассета с пла ;тинами установлена на столик - устройство подготовлено к съему пластин с кварцевой кассеты; на фиг. 5 - перегрузка пластин из кварцевой кассеты в накопитель; на фиг. 6 - то же, вид сверху; на фиг, 7 - перегрузка полупроводниковых пластин в технологическую кассету; на фиг. 8 - устройство, вид сверху после выгрузки части пластин, устройство подготовлено к перегрузке остешшихся пластин в другую технологическую кассету на фиг. 9 - относительное расположение пазов кварцевой кассеты на фиг. 10 - разрез Б-Б на фиг. 9.

Устройство для перегрузки полупро водников лх пластин (фиг, 1-3) содержит накопитель 1, выполненный в виде рамы, на двух внутренних противоположных сторонах которой прорезаны пазы 2 для полупроводниковых пластин 3.

Накопитель 1 установлен шарнирно с с помощью двух шарниров с осями 4 на каретке 5. Каретка 6 может перемещаться вверх и вниз по направляющей 7, неподвижно установленной на основании 8.

Накопитель 1 и каретка 5 уравновешены грузом 9 с помощью ролика 10 и тросика 11,

На основании 8 неподвижно установлен упор 12 для удержания накопителя 1 в отклоненном положении и опора

13для установки на нем кварцевой кассеты 14, На опоре 13 для кассет выполнен выступ 15 для фиксации кассет

14в ориентированном положении относительно накопителя 1. В каретке 5 выполнено окно 16 для опоры основания 8, а накопитель 1 установлен на каретке 5 над ее окном 16, Для фиксации каретки 5 в верхнем и нижнем положениях в направляющей 7 предназначен стопорный винт 17, Пазы 2 для полупроводниковых пластин накопителя 1 со стороны окна 16 каретки 5 выполнен глухими и ограничены упорами 18, выполненными из упругого материала для исключения повреждения.полупроводниковых пластин 3. Механизм для распределения полупроводниковых пластин выполнен в виде подпружиненных пружинами 19 рычагов 20 с упорс1ми 21, расположенными на концах рычагов 20. Рычаги 20 установлены шарнирнона осях

22 на накопителе 1 и пружинами 19 подняты к кулачковым валам 23, Упоры 21 рычагов 20 расположены в отверстиях, выполненных в накопителе напротив пазов 2 для полупроводниковых пластин.

Полупроводниковые пластины перегружаются в технологическую кассету 24 с пазами 25 для полупроводниковых пластин. Шаг расположения пазов 25 для полупроводниковых пластин технологической кассеты 24 может быть не равен шагу расположения пазов 26 для пластин кварцевой кассеты 14, но должен быть кратным шагу расположения разов в кварцевой кассете. В описы-j ваемом устройстве шаг расположения пазов 25 технологической кассеты 24 в два раза больше шага расположения пазов 26 кварцевой кассеты 14.

Рычаги 20 установлены на двух боковых поверхностях накопителя 1 TeiK, что рычаги 20, расположенные на одной стороне накопителя упорами 21, фиксируют полупроводниковые пластины в нечетных пазах 2 накопителя, а рялчаги 20, расположенные на другой стороне накопителя, фиксируют полупроводниковые пластины в четных пазах 2 накопителя 1,

Для обеспечения перегрузки полупроводниковых пластин в технологические кассеты 24 с шагом расположения пазов 25, более, чем в два раза отличающимся от шага расположения пазов 26 кварцевой кассеты 14, кулачковые валы могут быть выполнены так, чтобы обеспечивать перемещение рычагов, расположенных на любых расстояниях, кратных шагу расположения пазов 26 в кварцевой кассете 14. Для фиксации технологической кассеты на накопителе 1 на нем установлены зажимы 27 и подвижная планка 28 с фиксаторами 29, выполненными в виде штифтов.

Устройство работает следующим образом,

В исходном положении накопитель 1 вместе с кареткой опускается в крайнее нижнее положение и фиксируется там стопорным винтом 17,

Затем кварцевая кассета 14 (фиг.4 полностью загруженная полупроводниковыми пластинами 3, устанавливается на упор 12 так, чтобы выступ 15 совпал с пазом, выполненным в нижней части кассеты 14, Б этот момент все пазы 26 кварцевой кассеты 14 совпадают с пазами2 для полупроводниковых пластин накопителя 1, как это показано на фиг, 10, Все упоры 21 рычагов 20 поворотом кулачковых вгшов утапливаются в тело накопителя 1 и тем самым полностью открывают все пазы 2 накопителя 1, Данное положение показано на фиг. 4,

Дсшее накопитель 1 совместно с кареткой 5 перемещают в верхнее положение по направляющей 7 и фиксируют каретку 4 стопорным винтом 17, При движении накопителя 1 вверх стенки его пазов 2 начинают охватывать соответствующие полупроводниковые пластины 3 снизу (фиг, 10), к пластины постепенно и плавно заполняют паз 2 накопителя даже в том случае, если они в пазах кварцевой кассеты 14 установлены с нарушением точного вертикального положения, что, как правило, бывает при их обработке и загрузке. При дальнейшем движении накопителя 1 ввер полупроводниковые пластины плавно касаются упругих упоров 18, в этот момент кварцевая кассета 14 освобождается от полупроводниковых пластин 3, а накопитель 1 фиксируется в крайнем верхнем положении так, что пластины 3 выходят из пазов 26 кварцевой кассеты 14 и располагаются на некотором ргасстоянии выше над стержнями кассеты 14. Особенностью является то, что пла тины эахватываются при любом их расположении в кассете. При движении на копителя вверх пластины как бы автоматически выравниваются стенками пазов накопителя и затем захватываются упругими упорами 18, Полностью исключаются отказы в работе, задержки и повреждения пластин. При перегрузке полупроводниковых из накопителя 1 в технологическую кассету 24 упорами 21 рычагов 20 (фиг. 5) через один перекрывают пазы накопителя поворотом одного из кулачковых валов 23. На планку 28 устанавливают технол гическую кассету 24, г.ри этом планка 28 установлена в положение, при кото ром полупроводниковые пластины 3, на ходящиеся в пазах, не перекрытых упо рами 21, совпадают с соответствующим пазами технологической кассеты 24. В правильном положении технологическая кассета 24 фиксируется фиксаторами 29 и закрепляется на планке 28 зажимами 2/. Далее накопитель .1 с пластинами 3 и технологической кассетой 22 поворачивают по часовой стрелке вокруг осей 4 до упора 12 (фиг, 7). Под воздействием собственного веса пластины, не удермжваемые упорами 21, плавно перекатываются в технологическую кассету 24. Посла того, как все освобожденные пластины раместились в кассете 24,

1C

kfjt ф

17

ijl ф f|l Д

k т.е. половина от находившихся в накопителе 1, кассета освобождается от воздействия зажимов 27, отсоединяется от накопителя и передается на последующую технологическую операцию, где требуется шаг размещения пластин в 2 раза больший, Для перегрузки оставшихся в накопителе 1 полупроводниковых пластин планка 28 смещается на один шаг и фиксируется в положении, при котором пазы с оставшимися в накопителе 1 пластинами совпадают с пазами установленной второй технологической кассеты, Для перегрузки оставшейся половина пластин во вторую технологическую кассету 24 необходимо повторить описанние вьаие операции. Если теперь необходимо загрузить кварцевую кассету из технологических кассет с целью уменьшения шага загрузки кварцевой кассеты, описанные выше операции повторяются в обратном порядке. Использование предлагаемого изобретения позволяет повысить надежность в работе за счет исключения повреждения пластин при их перегрузке, повысить удобство в обслуживании, а также улучшить эксплуатационные возможности за счет того, что устройство обеспечивает перегрузку пластин в технологические кассеты с любым шагом размещения пластин, кратным шагу размещения их в кварцевых кассетах.

10

ii

Л-А

iiФигЛ

Фиг. io