Устройство для очистки изделий Советский патент 1980 года по МПК B08B3/08 

Изобретение относится к вспомога тельным устройствам- для проведения различных технологических процессов и может быть использовано для очист кй подложек в парах органических рас ворителей перед нанесением пленок в в ак ууме . Известно устройство для очистки изделий, содержащее снабженную нагр вателем ванну для органического рас ворителя, держатель изделий и конденсатор для охлаждения отработанных паров 1. Недостлток его - невозможность обеспечить высокое качество очистк и изделий, необходимое для ряда практических случаев, Цель изобретения - повышение каче,1ства очистки изделий.. Она достигается тем, что устройство, содержащее снабженную нагревателем ванну для органического растворителя, держатель изделий и конденсатор для охлаждения отработанных паров, снабжено герметизированной камерой и, по меньшей мере одним паропроводом, при. этом ванна размещена внутри камеры/ паропровод ycTaHOBJigH цад ванной, а держатель изделий выполнен кольцевым и размещен у выходного отверстия паропрово да, тарельчатым рассенв.ателем, рас- , положенным между выходным отверстием паропровода и держателем изделий. На чертеже представлена схема .устройства для очистки изделий. Устройство содержит нагреватель 1 ванны 2 для органического растворителя, паропровод 3, снабженый тарельчатым рассеивателем 4, расположенным между выходным отверстием паропровода и кольцевым держателем 5 изделий. Конденсатор для охлаждения отработанных паров выполнен в виде рубашки охлаждения герметизированной камеры б, в которой размещеныЬсе узлы устройства. Улучшению работы устройства способствует ловушка 7, охлаждаемая, например жидким азотом. Ванна 2 размещена внутри герметизированной камеры 6, паропровод 3 установлен над ванной 2, а держатель 5 изделий выполнен кольцевым и размещен у выходного отверстия паропровода 3, Устройство работает следующим образом.

В устройстве для очистки изделий подогреваемым нагревателем 1, эакипа,ет органический растворитель, згши- тый Б ванну 2, Пары растворителя, поднимаясь по паропроводу 3, с большой скоростью вылетают около тарельчатого рассеивателя 4 и, в виде направленной струи, -попадаиот на изделия, укрепленные на кольцевом держателе 5. Очищая изделия, пары конденсируются и загрязненный конденсат стекает по стенкам камеры 6 в ванну 2. Пары растворителя не могут выйти за пределы камеры 6, так как они перехватываются и выморажиBajoTCH азотной ловушкой 7.

Применение герметизированной камеры, паропровода, кольцевого держателя изделий и их взаимное расположение позволяет существенно повысить качество очистки обрабатываемых изделий.

Повышение качества о гистки при этом обеспечивается и тем, что струя пара, вылетая с большой скоростью из паропровода не только химически, но и механически очищает подложки. Кроме того, фракционирующее действие устройства приводит к самоочищению порций пара, выходящих из паропро- вода. Использование устройства для очистки подложек в парах органического растворителя показало, что

выход годных к последующему нанесению пленок в вакууме подложек превышает 95%.

Формула изобретения

1,Устройство для очистки изделий, содержащее снабженную нагревателем ванну для органического растворителя, держатель изделий и конденсатор для охлаждения отработанных паров, отличаю щеес я тем, что,

с целью повышения качества очистки, оно снабжено герметизированной ка мерой и, по меньшей мере, одним па5 ропроводом, при этом ванна размещена вн5{три камеры, паропровод установлен над ванной, а держатель изделий, выполнен кольцевым и размещен у выходного отверстия паропровода.

2.Устройство по П.1, о тл и чающеес я тем, что оно снабжено тарельчат1 1 рассеивателем, расположенньм между выходным отверстием паррпровода и держателем изделий.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Шейхмейстер Е.И, и др.. Технологические работы в электровакуум0 ном производстве, М., Высшая шко1972, с.80-90.

ла