Плазменный сорбционный вакуумный насос Советский патент 1989 года по МПК F04B37/02 H01J7/18 

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известны плазменные сорбционные вакуумные насосы, содержащие корпус с расположенным в нем основным испарителем геттера, подключенным к источнику питания.

При запуске известного насоса происходит резкое повышение давления обусловленное десорбцией газовых примесей из материала геттера и десорбцией с поверхности корпуса ранее поглощенных молекул газов под воздействием сильноточного электрического разряда. J .

Целью настоящего изобретения является предотвращение резкого повышения давления при запуске насоса.

Указанная цель достигается тем, что внутри корпуса установлен дополнительный испаритель геттера, подключенный к источнику питания посредством элемента задержки и выполненньй из материала с минимальной

(Л

концентрацией газовых примесей, и тем, что дополнительный испаритель геттера выполнен из иодидного титана.

На чертеже схематично показан насос, разрез.

Ч СП

Плазменный сорбдионный -вакуумный насос содержит корпус 1 с расположенным в нем. основным испарителем 2

00 00 геттера, подключенным к источнику 3 питания. Внутри корпуса 1 установлен дополнительный испаритель 4 геттера, подключенный к источнику 3 питания посредством элемента 5 задержки и выполненный из материала с минимальной концентрацией газовых прршесей, например из иодидного титана.

Насос работает следующим образом.

В процессе откачки, непосредствен,но перед включением основного испарителя 2, через элемент 5 задержки включается дополнительный испаритель 4, образующий на корпусе 1 пленку геттера, достаточную для поглощения . потока газа из основного испарителя 2.

По окончании испарения дополнительный испаритель 4 отключается и включается основной испаритель 2, образующий на корпусе 1 пленку геттера, необходимую для поглощения газового потока из откачиваемого объема.

Использование изобретения позволит на 1,5-2 порядка снизить повышение давления при запуске насоса без применения дополнительных откачных средств.

1. ПЛАЗМЕННЫЙ СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с расположенным в нем основным испарителем геттера, подключенным к источнику питания, отличаю.щ и и с я тем, что, с целью предотвращения резкого повышения давления при запуске, внутри корпуса установлен дополнительный испаритель гетте.ра, Подключенный к источнику питания посредством элемента задержки и выполненный из материала с минимальной концентрацией газовых примесей. 2. Насос поп, 1, отличающийся тем, что дополнительный испаритель геттера выполнен из иодидного титана.