Легкоплавкое стекло Советский патент 1980 года по МПК C03C3/12 C03C3/08 

Изобретение относится к легкопла ким -составам стекол, обладающих комплексом физико-химических свойст необходиых для защиты отдельных уча стков интегральных схем,работающих в условиях повышенных механических нагрузок, а также в качестве химиче кой изоляции полупроводниковых приборов . Известно легкоплавкое стекло, включающее,.вес.%. и кроме того, 1-3 0,5-3,5 iL Наиболее близко по составу к изо ретению легкоплавкое стекло, включа щее, вес.%: 14 63 16 ,5 2 . Данное стекло имеет КЛТР равный (72+1,5 ) 10 град1 износоустойчи.вость (потсрп веса) - 2,4-3 г/сп л температуру размягчения 415±10 С, т.пл. . Однако указанные стекла содержат значительное количество окиси свинца, а также не обладают достаточной износоустойчивостью, . Цель изобретения - повышение износоустойчивости стекла. Указанная цель достигается тем, что стекло дополнительно содержит при следующем соотношении компонентов, вес.% 2,5-7,98 4,5-10,0 1,5-9 80-в5 Замена окиси свинца на окись висмута позволяет значительно увеличить химстойкость, износоустойчивость стекла и сйизить его коррозионное воздействие на огнеупор при варке. Предлагаемое стекло варят при , выроЕбатывают и измельчают. Защитное покрытие из предлагаемого стекла наносится на кремниевую подложку методом соосаждения центрифугированием. Толщина пленки находится в пределах 1,5-2 мкм. Температура растекания покрытия составляет 520555 С. Внешний вид покрытия характрризуется равномерной блестящей поверхностью. Поры и включения отсутствуют.

Предлагаемое легкоплавкое стекло по сравненик с прототипом обладает почти в б раз более высокой износоустойчивостью, повышенной химическо устойчивостью {1 гидролитический класс), хорошими технологическими

(Свойствами Оно может использоваться в электронно-вычислительных устройствах для защиты отдельных интегральных схем, работанэди в контакте с движущи ущся , элементами (бумагой - др) , а также в качестве химически устойчивых тонкогшеночных (1/52 мкм) покрытий полупроводниковых приборов.

Химический состав и свойства предлагаемых стекол приведены в таблице..

Компоненты, вес.% 5%

ВгОэ

ZnO Свойства

Коэффициент теплового рас ширения, d. 10 град.

Температура начала размягчения, °с

Химическая устойчивость потери веса в % в воде (ГОСТ 10134-62)

Кристаллизационная способность стекол в интервале температур 400-1000 с

Температура оплавления,°С

Температура растекания покрытия из порошкообразного стекла, °С

Удельное электрическое сопротивление при ,

Применение предлагаемого стекла в качестве защитных износостойких покрытий интегральных схем в электронно-вычислительных устройствах и химически устойчивых изолирующих покрытий позволит увеличить надежность и долговечность электронных приборов.

0,02

0,04

0,08

КристалКристаллов нет лов нет

480

450

550

520

Формула изобретения

«

Легкоплавкое стекло, включающее

SiO«

В,О

ZnO, отличающеег 3

с я тем, 4Td, с целью повышения износоустойчивости,, оно дополнительно содержит при следующем соотноше5 НИИ компонентов, вес.% S StOj 2,5-7,98 4/5-10,0 ZnO 1,5-9 80-85 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 775061 6 1. Петрова В.З. и др. Легкоплавкие стекла. Сб. научных трудов по . приблемам микроэлектроники (техн. серия). М., МИЭМ, 1969, с. 333-340. 2. Павлушкин Н.М. и Журавлев А.К. $ Легкоплавкие стекла, М., 1970, с. 108,