Способ изготовления цветоделительной маски Советский патент 1980 года по МПК H01J29/07 

1

Изобретение относится к производству электроннолучевых приборов, а именно, к технологии изготовления цветоделительных масок цветных кинескопов.

Известны способы получения цветоделительных масок, а именно теневых масок, заключающиеся в соз аании с двух сторон тонкого листа металла кис лотоустойчивых слоев в виде совпадающих рисунков, соответствующих необходимой структуре маски, и последующем двустороннем травлении до получения необходимых размеров отверстий маски l.

Известен также фотолитографический способ изготовления сферизованной маски, состоящий в том, что на заготовку с одной стороны наносят никелевое сплошноепокрытие, после сферизации заготовку крепят на раМе, затем на никелевое покрытие наносят фотолитографическую маску, проводят травление сначала никелевого покрытия а затем, после удаления фотолитографической маски, основного металла заготовки 2 .

Наиболее близким по своей техничес кой сути к предлагаемому является способ изготовления теневых масок с

однонаправленными нитями 3J. Соглас-. но известному способу на метсшлический лист наносится с двух сторон фотолитографическая маска в виде совпадающих рисунков, соответствующих структуре маски и лист травится до получения отверстий с заданными размерами и конфигурацией сечения цветоделительных элементов. Закрепляется

0 полотно маски (лист с протравленными щелями) в специальном приспособлении, растягивается до необходимого усилия натяжения нитей, .крепится к балкам предварительно напряженной ,

Т5 после чего обрезается ненужная часть полотна маски, специально предусмотренная для зажима ее в приспособлении.

Недостатками известного способа изготовления теневой маски с однонаправленными нитями являются зависимость рабочих размеров цветоделительных нитей от режимов травления, что требует строгого соблюдения ре, жимов,- необходимость операции предварительного натяжения нитей, так как, в противном случае, из-за малой жесткости протравленного полотна маски невозможно обеспечить заданный шаг и равномерное натяжение нитеч; необходимость предусматривать у полотна маеки припуск для зажима в приспособлении, что увеличивает расход металла. Изготовление маски с толщиной нитей меньше 0,1-0,15 мм затруднено из-за сложности получения исходного рьгста металла достаточных размеров S. равномерной толщиной. Для обеспече ния достаточного натяжения нитей тре буется значительное усилие, что приводит к увеличению веса рамки, а следовательно, и всего масочного узла. Целью изобретения является повыше ние точности рабочих размеров цветоделительной маски; уменьшение веса масочного узла, а также экономия металла. Для достижения поставленной цели предварительно на металлический лист заготовки с фотолитографической маской наносят металлическое покрытие по упомянутой фотолитографической маске, производят крепление образованной системы на предварительно напряженной рамке, после чего проводят травление металлического листа заготовки до получения нитей заданных размеров, На фиг, 1 изображено поперечное сечение теневой маски в процессе изготовления; на фиг. 2 - поперечное сечение цветоделительных нитей готовой теневой маски.. Полосы металла 1 нанесены на заготовку 2 по фотолитографической маске 3. Точность рабочих размеров (ширины и шага) цветоделительных ни тей обеспечивается полосами покрытия 1, а прочность - оставшейся нестравленной частью 4 заготовки 2. Данный способ может быть осущест влен следующим образом. Пример. По предложенному способу изготовлены макеты теневых масок для цветного масочного кинескопа с диагональю экрана 25 см.На одну сторону заготовки, представляю щей собой лист берилиевой бронзы Бр.2 толщиной 0,15 мм, вырезанный по форме и размерам напряженной рам ки, центрифугированием наносили сло 6%-ного поливинилового спирта, очув вленного дихроматом аммония в соотношении 2:1. После высыхания контак ной фотопечатью проводили экспониро вание слоя через негатив рисунка ма ки, проявляли водой, затем закрепля ли в водяном растворе хромового ангр-щрида (50 мг ангидрида на 1 л воды) и сушили в струе сжатого воздух После сушки заготовку подвергали пр калке при температуре , осветл ли в двух растворах: раствор tP 1 персульфат аммония - 350 г, серная кислота (d 1,84) - 6 мл, вода ди стиллированная - 650 мл;раствор P 2 уксусная кислота (d 1,0015) 5 мл; хлористый натрий - 100 г, вода дистиллированная - до 1 мл, На заготовку по полученной фотолитографической маске гальваническим способом наносили никелевое покрытие толщиной 0,004-0,006 мм, смывали фотолитографическую маску в растворе едкого натра (50 г на 1 л воды). Заготовку с полученными полосами никелевого покрытия контактной электросваркой крепили к балкам предварительно напряженной рамки лз низкоуглеродистой стали. После закрепления маски снимали предварительную нагрузку рамки. Заготовку, закрепленную на рамке, травили электрохимическим способом в растворе: вода дистиллирован-, ная - 1 л, ангидрид хромовый - 350 г, аммоний сернокислый - 10 г, серная кислота (d 1,84) - 20 мл, до получения ТО.ЛЩИНЫ цветоделительных нитей 0,04-0,05 мм и промывали в воде. Использование предлагаемого спосо-, ба изготовления цветоделительной маски обеспечивает по сравнению с существующими способами следуквдие преимущества: возможность получения цветоделительных масок с малой толщиной и высокой точностью по ширине к шагу цветоделительных нитей; уменьшение веса узла маска - рамка и благодаря этому увеличение вибропрочности кинескопа ; упрощение операции закрепле.ния цветоделительных нитей на рамке благодаря устранению операции преддарительного натяжения нитей; экономию металла благодаря уменьшению веса рамки и устранению припуска для зажима полотна маски в приспособлении для предварительного натяжения нитей. Формула изобретения Способ изготовления цветоделительной маски с однонаправленными нитями, которые закрепляют на предварительно напряженной рамке, заключающийся в том, что на металлический лист заготовки маски наносят фотолитографическую маску, -соответствующую структуре цветоделительной маски, после чего проводят:двустороннее травление до получения нитей заданных размеров, отличающийся тем, что, с целью повышения точности рабочих размеров цветоделительной маски, уменьшения веса масочного узла при упрощении технологии изготовления, предварительно на металлический лист заготовки с фотолитографической маской наносят металлическое покрытие по упомянутой фотолитографической маске, производят крепление образованной системы на предварительно напряженной рамке, после чего проводят вышеупомянутое травление металлического листа заготовки до получения нитей заданных размеров.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Шапкин Г, А., Артемьев А. Г. И др. Изготовление масок цветных киjiecKonoB фотохимическим способом. Об$оры по электронной технике, серия

Технология и организация производства, М., 1969, вып. 26(95). 2. Патент США 3794873, 313-85, 26.02.74.

кл.

3. Патент Японии , 36255, кл. 99 F 120.2, опублик. 18.11S70 (прототип).