Раствор для травления резистивных сплавов Советский патент 1980 года по МПК H05K3/26 C09K13/06 

(54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ РЕЗИСТИВНЫХ СПЛАВОВ

1

Изобретение относится к изготовлению тонкопленочных микросхем.

Наиболее близким по технической сущности является раствор для травления резистивных сплавов, содержащий азотную кислоту, соли плавиковой кислоты и воДУ 1 Недостатком известного раствора является неравномерность травления, что приводит к повреждению ситадловых подложек.

Целью изобретения является повыщение равномерности травления.

Поставленная цель достигается тем, что раствор для травления резистивных сплавов, содержащий азотную кислоту, соли плавиковой кислоты и воду, дополнительно содержит метакриловую кислоту, лимонную кислоту и этиленгликоль, а в качестве соли плавиковой кислоты - фтористый аммоний, при следующем соотношении компонентов (вес. %):

Азотная кислота28-33

Метакриловая кислота15-20

Лимонная кислота2-7

Этиленгликоль20-27

Фтористый аммоний

(насыщенный раствор) остальное.

5 Примеры. Для получения схемного рисунка проводят химическое травление тонкой пленки резистивного сплава марки PC 37-10, содержащей 37% хрома, 10% никеля, остальное кремний. В качестве защитного слоя используют фоторезист ФП-РН-7.

Составы травильных растворов и результаты травления сведены в следующую таб15 лицу.

Температура травления комнатная. После травления подложки тщательно отмывают. Процесс травления протекает равномерно, происходит полное вытравливание 20 слоя тонкой пленки без повреждения ситалловой подложки во всех трех случаях.

Использование данного изобретения обеспечивает мольное равномерное вытравливание резистивного сплава без повреждения ситалловой подложки, а следовательно, получение тонкопленочных схем высокого качества.

г

I - . 3.--- Формула изобретения

Раствор для травления резистивных снлавов, содержащий азотную кислоту, соли илавиковой кислоты и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности травления, он дополнительно содержит метакриловую кислоту, лимонную кислоту и этиленгликоль, а в качестве соли плавиковой кислоты - фтористый аммоний, при следующем соотношении компонентов (вес. %):

Азотная кислота28-33

Метакриловая кислота15-20

f 1

1 i7788T

т

Таблица

Лимонная кислота2-7

Этиленгликоль20-27 Фтористый аммоний

(насыщенный раствор)остальное.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Гимпельсон В. Д., Радионов Ю. А. Тонкоплепочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники, изд-во «Машиностроение, М., 1976, с. 153 (прототип) .