Раствор для избирательного травления металлосилицидных резистивных слоев Советский патент 1982 года по МПК H05K3/06 C23F1/00 

(54) РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ МЕТАЛЛОСИЛИШЩНЫХ РЕЗИСТИВНЫХ СЛОЕВ

1

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в технологии изготовления тонкопленочных ре- зистивных элементов и г ридных микросхем.

Известен раствор для избирательного травления металлосилищадных резистивных слоев, включающий азотную кислоту, фтористоводородную кислоту и воду 1 j .

Недостатки этого раствора состоят в ю высокой скорости травления и активном газообразовании, что приводит к подтраву резистивных элементов и искажению их геометрических размеров.

Наиболее близким техническим реше- и нием к изобретению является раствор для избирательного травления металлосилишщ- ных резистивных слоев, включающий азот«« кую кислоту, фтористоводородную кислоту и дистиллированную воду 2 .20

Недостатки известного раствора заключаются в высокой скорости травления и активном газообразовании, которые- приводят к подтраву резистивных элемейтов и искажению их геометрических размеров. Цель изобретения - снижение скорости травления и уменьщение газообразования.

Поставленная цель достигается тем, что раствор для избирательного травления металлосилицидных резистивных слоев, включающий азотную кислоту, фтористоводородную кислоту и дистиллированную воду, дополнительно содержит насыщенный раствор нитрата калия при следующем количественном соотнощении компонентов, вес. ч;

Азотная кислота25-30

Фтористоводородная кислота16 - 19 ,

Насыщенный pacivвор нитрата калия4О -5О

Дистиплированная

водаОстальное

Для получения раствора для избирательного травления металлосилниидных резнстивных слоев готовят три с5остава компонентов, содержащие каждый, вес. %: аэот 394 ной кислоты 27, 25 и 30, фтористоводородной кислоты 18, 16 и 19, насыщенного раствора нитрата калия 10,9 и 11 и дистиллированной воды 45, 5О и 40. Каждый раствор приготовлен путем последовательного добавления к дистиллированной воде азотной кислоты, фтористо- водородной кислоты, -перемешивания .раствора, добавления насыщенногораствора нитрата калия и повторного перемешивания. Проводится травление тонкопленочных слоев металлосилишадного резистивного сплава PC 371О, нанесенных вакуумнотермт-гческим методом на ситалловые. подложки, по защитной маске из фоторезиста ФП-383. Состав металлосилишщного . сплава состоит из 53% кремния, 37% никеля, 10% хрома. Подложки с резистивными слоями погружают в раствор для травления указанных составов и выдерлашают в нем при комнатной температуре до полного удаления резистивного материала с мест, незащищенных фоторезистом. Момент оконча- 1шя процесса травления определяется ви- зуалъно. Длительность травления резистив ных слоев в зависимости от исходной толщины пленки составляет 5-10 с. Точность воспроизведения геометричес ких размеров реэистивных элементов не ниже 1 мкм. Изобретение позволяет уменьшить ко- личество дефектов резистивных слоев, повысить точность воспроизведения геомет- 64 рических размеров резистивных элементов и дает возможность изготовлять прецизионные резистивные матрицы с повьпленной надежностью и увеличенным выходом годных изделий. Формула .изобретения Раствор для избирательного травления металлосилицидных резистивных слоев, включающий азотную кислоту, фтористоводородную кислоту, дистиллированную воду, отличающийся тем, что, с целью снижения скорости травления и уменьшения газообразования, он дополни™ тельно содержит насыщенный раствор нитрата калия при следующем соотношении компонентов, вес, ч : Азотная кислота25-30 Фтористоводородная кислота16 - 19 Насыщенный раствор нитрата калия4О -50 Дистиллированная вода Остальное Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1,Авторское свидетельство СССР № 414330, кл, Н 05 К 3/06, 1972. 2.Авторское свидетельство СССР № 4714О2, кл. Н О5 К 3/06, 1973 (прототип).