Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано в устройствах для контроля интеграл ных схем. Известны зондовые устройства для контроля печатных плат, содержащие диэлектрическое основание, упругие зонды, каждый из которых содержит пучок изолированных стержней, одни конйы которых жестко закреплены-в о ной направляющей, а вторые свободно пропущены через отверстия другой направляющей 1 . Эти устройства обеспечивают многоточечное контактирование, но не позволяют осуществлять регулировку величины контактного давления зондов . Известно зондовое устройство,содержащее жестко закрепленные в диэлектрическом корпусе упругие зонды свободнопропущенные через отверсти подпружиненной подвижной и неподвиж ной направляющих, регулировочный винт, выполненные с возможностью вз имодействия с подвижной направляюще в направлении, перпендикулярном к о зондов р . В этом устройстве выступающие из основания концы стержневых зондов и перемещение основания при контактировании приводит к неточному расположению контактов по отношению к площадкам интегральной схемы, а также отсутствует возможность дополнительного увеличения и регулирования усилия контактирования. Цель изобретения -. обеспечение возможности регулировки контактного давления зондов. Достигается это тем, что зондовое устройство, преимущественно для контроля интегральных схем, содержащее жестко закрепленные в диэлектрическом основании упругие зонды, свободно размещенные в. отверстиях неподвижной и подвижной направляющей, регулировочный винт, выполненный с возможностью взаимодействия с торцом подвижной направляющей, снабжено дополнительным регулировочньлм винтом и пружиной, размещенньми с возможностью взаимодействия с противоположным торцом подвижной направлрющей. ; На фиг. 1 изображено описываемое устройство; на фиг. 2 - устройство в рабочем состоянии, в момент контактирования.. Зондовое устройство содержит диэлектрическое &снование 1, в котором
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Зондовая головка | 1980 |
|
SU907885A1 |
Устройство для контроля контактирования в зондовых установках | 1981 |
|
SU1001235A1 |
ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ КРИСТАЛЛОВ | 1981 |
|
RU2076392C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ БЕЗВЫХОДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ | 1993 |
|
RU2083024C1 |
Устройство для измерения электрических параметров интегральных схем | 1980 |
|
SU906045A1 |
Зондовое устройство для контроля печатных плат | 1989 |
|
SU1631762A1 |
Устройство для контроля металлизированных отверстий печатных плат | 1978 |
|
SU902334A1 |
Зондодержатель | 1980 |
|
SU932411A1 |
Зонд сканирующего микроскопа | 2019 |
|
RU2708530C1 |
Устройство для контроля контактирования в зондовых установках | 1982 |
|
SU1102062A2 |
Авторы
Даты
1980-12-07—Публикация
1978-06-19—Подача