Способ соединения стекла с металлом Советский патент 1980 года по МПК C03C27/04 

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении металло-стеклянных узлов корпусов электронных приборов . Известен способ соединения стекла с металлом путем сплавления в инертной среде, причем, с целью повышения прочности соединения, металлические детали, предварительно покрывают медью И . Недостатком способа является низкое качество соединений из-за наличия на поверхности меди окислов. Наиболее близким по технической су ности к предлагаемому является способ соединения стекла с металлом путем меднения его поверхности, отжига мет ла в атмосфере водорода при 10001100 С с последующим сплавлением со стеклом 2 , Способ позволяет существенно улуч шить адгезию стекла к металлу, но ди фузия меди в стекло уменьшает электр ческое сопротивление спая до 10-10& Цель изобретения - получение спая с бороалюмосиликатнь1ми стеклами с электрическим сопротивлением выше 10 Ом. Цель достигается тем, что в способе соединения стекла с металлом путем меднения его поверхности, отжига металла в атмосфере водорода при 10001100°С с последующим сплавлением со стеклом, металлическую деталь изготавливают из медно-молибденоБОго псевдосплава, меднение его поверхности осуществляют путем избирательного травления, после отжига металлическую поверхность покрывают слоем никеля толщиной 2-9 мкм, а сплавление ведут в среде азота при 980-1020°С. Реализацию способа проводят по следугадей схеме. Металлические детали изготавливают из медно-молибденового псевдосплава марок МД-50, МД-40 штамповкой или точением. Затем их обезжиривают и подвергают избирательному травлению в смеси следующего состава: (CN)i 30-35 г, NaOH 4-6 г, 100 мл при 55-60°С в течение 3-6 мин. После травления детсши осветляют и подвергают отжигу в атмосфере водорода при 1000-1100С в течение 20-30 мин, затем на детали наносят гальваническое покрытие никелем толщиной 2-9 мкм. Далее металлические детали сплавляются со стеклом в атмосфере азота. J

Для бороалюмсюиликатных стекол С76-4, С52-1 температуру сплавления поддержив ш т в интервги; е 980-1020 С в зависимости от марки стекла.

При м а р,:1. Детали выполняют из сплава МД-Зр (50% Си) с толщиной покрытия никелем J MKMf температурой сплавления со стеклом 1И1арки С52-1 990-10 С и 9лектрическйм сопротивлением .спая ..

П р и м е р 2. Детали выполняют из сплава МД-40 (40% Си) с толщиной йоКЕ«91Тия никелем 6 мкм, температурой сплавления со стеклом марки С76-4 , 1010 и электрическим сопротивлением спая 8- . J

Полученные металло-стеклянные узлы имеют высокое электрическое сопротивление не ниже , которое не изменяется в процессе эксплуатации.

Предлагаемый способ применяется при изготовлении- металло-стеклянных узлов корпусов мощных полупроводниковых приборов, обладгиощих повьяиенной надежностью.

Формула изобретения

-

Способ соединения стекла с металлом путем меднения его поверхности, отжига металла в атмосфере водорода при ЮОС-ИОО/ С с последунедим сплавлением со стеклом, отличающийс я теМ, что, с целью получения спая с бороалюмосиликатными стеклами с электрическим сопротивлением stone , металлическую деталь изготавливают из медно-молвбденового псёвдосплава, меднение его поверхности осуществляют путем избирательного травления, после отжига металлическую поверхность дополнительного покрывают слоем никеля 5 толщиной 2-9 мкм, а сплавление ведут при 980-1020С.

Источники информации« принятые во внимание при экспертизе

1.Патент ГДР 118751, кл. Н 01 У 5/46, 1976.

2,Роус Б. Стекло в электронике, М., Советское радио, 1969, с. 126, 140-141.