Токопроводящий состав Советский патент 1981 года по МПК H01B1/02 

(54) ТОКОПРОВОДЯЩИЙ СОСТАВ

1

Изобретение относится к электронной технике, в частности к токопроводящим составам, содержащим в основном металлы.

Известен токопроводящий состав,содержащий медь, хром и титан 1.

Недостаток известного состава состоит в нестабильности электричерких параметров изготовленных из него проводящих элементов, что обусловлено присутствием в больших количества хрома и титана, которые образуют окислы и благодаря присутствию которых проводящие элементы, изготовленные из указанного материала-имеют высокое удельное сопротивление.

Наиболее близ1 им к предлагаемому является токопроводящий состав, содержащий медь, марганец и никель Г21Недостатком состава является ненадежное сцепление его с подложкой, обусловленное тем, что состав обедне переходными слоями, которые образуются только за счет наличия в составе марганца.

Дель изобретения - обеспечение надежности сцепления с подложкой и стабильности электрических парамет-t ров проводящих элементов.

Поставленная цель достигается тем, что токопроводящий состав, преимущественно для проводящих элементов гибридных интегральных.схем, содержащий медь и марганец, дополнительно содержит титан, окись меди и окись никеля при следующем количественном соотношении компонентов, вес.%:

60-65

Медь

0

7-9

Марганец

0,5-1 Титан

20-25

окись меди

3-8 Окись никеля

Уменьшение количества любого из

5 окислов меньше указанного минимального значения приводит к тому, что полученный состав не позволяет получить удовлетворительного сцепления проводящих частиц с керамикой, а

0 увеличение количества окислов больше указанного максимального количества приводит к увеличению сопротивления проводящего слоя.

5

Присутствие в токопроводящем составе марганца в количестве меньше 7вес.%,а титана меньше 0,5вес.% приводит к ухудшению смачивания стекла керамики с металлом, а увеличение количества марганца больше 9вес.% и

0 титана больше 1 вес.% повышает сопр тивление проводящего слоя. 1 еальность данного изобретения м жет быть проиллюстрирована следующи ми примерами. Смесь компонентов подвергается п молу в металлическом барабане в сре органического растворителя, состоящ го из смеси изопропийового спирта и ацетона и наносится на подложку и керамики 22ХС методом пульверизации после чего производится спекание в атмосфере увлажненного.водорода с точкой росы - 4°С +-10°С при температуре 1040°-10бО в течение 3Q минут. Толщина полученного-токопровод щего слоя составляет 15-30 мк. Токопроводящие элементы с сопро тивлением 0,02 Ом имеют следующий состав, вес.%: Марганец 7 Титан 0,7 Окись .меди 25 Окись никеля 7,3 Токопроводящие элементы с сопротивлением 0,04 Ом имеют следующий состав, вес.%: Медь65 Марганец 9 Титан1 ; Окись меди 22 Окись никеля 3 Токопроводящие элементы с сопротивлением 0,060м получены из следую щего состава, вес.%: Медь.63 Марганец 8,5 Титан0,5 Окись меди 20 Окись никеля 8 Таким образом, сопротивление полученных токопроводящих элементов составляет 0,02-0,06 Ом, что обуславливает стабильность их электрических параметров. Формула изобретения Токопроводящий состав преимущественно для проводящих элементов гибридных интегральных схем, содержащий медь и марганец, отличающийся тем, что, с целью обеспечения .надежности сцепления с подложкой и стабильности электрич.еских параметров проводящих элементов, он дополнительно содержит титан, окисьмеди и окись никеля при следующем количественном соотношении компонентов, вес.%: Медь60-65 Марганец 7-9 Титано, 5-1 Окись меди 20-25 Окись никеля 3-8 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР №.434484, кл. Н 01 В 1/02, 1974. 2.Авторское свидетельство СССР № 498650, кл. Н 01 В 1/02, 1976.