Способ получения металлическихОпТичЕСКиХ зЕРКАл Советский патент 1981 года по МПК C03C27/04 

Изобретение относится к оптической технологии и может быть использовано в производстве оптических элементов точных зеркал на металлической подложке. Известен способ изготовления металлических оптических зеркал, включающий обработку металлической подложки, нанесение и обработку поверхности промежуточного слоя и нанесение отражающего зеркального покрытия Однако этот способ не позволяет получать бездефектную рабочую поверх ность зеркала. Поверхностные,дефекты структуры металла и внутренние напряжения в промежуточном слое снижают точность и качество оптического зеркала. Кроме того, процесс обработки рабочей поверхнОс итрудоемкий Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является способ изготовления металлических оптических зеркал, включающий обработку рабочей поверхности металлической подложки, соединение путем .спекания подложки со стеклянным слоем, шлифовку и поли ровку стеклянного слоя и нанесение отражающего покрытия 2 . Однако известный способ изготовления металлических оптических зеркал сложный и трудоемкий, качество рабочей поверхности зеркала зависит от остаточных внутренних напряжений в спае стекла с металлом.Трудоемкость и длительность процесса изготовления зеркала определяется наличием операций спекания металлической подложки и стеклянного слоя и многоцикличной термостабилизацией зеркала.для уменьшения внутренних напряжений в спае стекла с металлической подложкой. Цель изобретения - упрощение технологии изготовления металлических оптических зеркал. Поставленная цель достигается тем, что в известном способе изготовления металлических оптических зеркал путем нанесения на металлическую подложку промежуточного и отражающего слоев, промежуточный слой наносят вакуумным напылением оки,си кремния .. или окислов металлов толщиной 1,53 мкм и подполировывают его до толщины 0,5-2 мкм. В качестве окислов металлов используют окислы титана, циркония, церия, тантала или ниобия. Принципиальное отличие предлагаемой операции испарения в вакууме сло окисла металла или SiO,2 с последующей снятием полировкой до толщины 0,5-2 мкм ОТ использования в настоящее время операции соединения путем спекания подложки со стеклянным слоем с последуюа1ей шлифовкой и полировкой поверхности зеркала заключается в том, что покрытие наносится более производительно, качественно, значительно меньшей толщины. После снятия полировкой слоя окисла до толщины 0,5-2 мкм остаточные напряжения в соединении металлической подложки и окисной пленки уменьшаются до безопасного минимума. Пример 1 . Партию зеркал изготовляют из титанового сплава ВТ15 размером 61x24x8 мм. Рабочую поверхность металлической подложки зеркала обрабатывают шлифов кой и полировкой до получения заданной формы и шероховатости поверхности R 0,2 мкм (ГОСТ 2789-73). На полированную поверхность подло ки напылением в вакууме электроннолучевым методом .наносят слой окисла SiO-j толщиной 3 мкм из кварцевого: стекла марки KB ГОСТ 15130-69. Затем производят полировку поверхности сло окисла толщины до 2 мкм и шероховато ти поверхности R-2 0,05 мкм. Допол тельная полировка промежуточного сло позволяет сгладить шероховатости (впадины и выступы), которые еще со ранились после вакуумного напыления На полированную поверхность наносят ртражающее зеркальное покрытие . Пример 2 . Металлическую подложку изготовляют аналогично примеру 1. На подложку в вакууме наносят слой окисла Tif)/2 электронно-лучевым методом толщиной 2 мкм и производят полировку поверхности слоя окисла до 1,5 мкм и шероховатости Ry 0,05 мкм. Затем наносят отражающее зеркальное покрытие. Нанесение в вакууме слоя окисла, толщиной 3 мкм, с последующим снятием полировкой слоя окисла до толщины 0,5-2 мкм значительно упрощает по трудоемкости технологический процесс изготовления металлических оптических зеркал по сравнению, с известным. Формула изобретения Способ получения металлических оптических зеркал путем нанесения на металлическую подложку промежуточного и отражающего слоев, отличающийся тем, что, с целью упроще- . ния технологии изготовления зеркеш, промежуточный слой наносят вакуумным напылением окиси кремния или окислов металлов толщиной 1,5-3 мкм и подполирОБЫвают его до толщины.О,5-2 мкм. Источники информации, принятые во .внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельс.тво СССР № 425864, кл. С 03 С 27/04, 1972. 2.Авторское свидетельство СССР , 327138, кл. С 03 С 27/00, 1969.