Пленочный резистор Советский патент 1981 года по МПК H01C7/00 

(54) ПЛЕНОЧНЫЙ РЕЗИСТОР

1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть испольг зоваио при изготовлении гибридных интегральных микросхем повышенной точности.

Известен пленочный резистор, в котором подгонку величины сопротивления под номинальное значение осуществляют удалением узких участков резистивного слоя пленки, нанесенной на диэлектрическое основание, или в котором подгонку осуществляют ступенчатым последовательным подключением к основному участку резистора подгоночных секций путем перерезания проводящих перемычек, которыми закорочены подгоночные реэистивные секции при нанесении микросхемы Ц .

Недостатком известных пленочных резисторов, подгонка сопротивления которых осуществляется плавным или дискретным способом, является ухудшение стабильности сопротивления и изменение температурного козффициента сопротивления резисторов.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является пленочный резистор, содержащий диэлектрическую подложку с размещенным на ней резистивным элементом

круглой формл с кольцеобразной виеш- ; ней и круглой внутренней контактными площадками 12.

Недостатком известного пленочного резистора являются недостаточная стабильность резистора и неудовлетворительная точность при дискретной подгонке.

Цель изобретения - повышение стабильности паргииетров и точности резистора.

Поставленная цель достигается

тем, что пленочный резистор, содержащий диэлектрическую подложку с размещенным на ней резистивньм элементом круглой формы с кольцеобразной внешней и круглой внутренней контактными площадками, снабжен проводящий пленочной спиралью, размещенной на резистинном элементе и соединяющей его контактные площгщки, причем в резистивном элементе выполнены подгоночные отверстия, расположенные под проводящей пленочной спиралью, кроме того, проводящая пленочная спираль выполнена в виде логарифмической спирали или в виде спирали

Архимеда. На фиг. 1 изображен пленочный резистор} на фиг. 2 - виток проводящей пленочной спирали Архимеда. .Диэлектрическая подложка 1 (,фиг.1) служит для размещения на ней пленочных элементов. Внутрення контактная площадка 2, выполненная в виде круга и расположенная в центре концентрически расположенных кольцевых контактных площадок 3, изготовлена из проводящего материала и осуществляют коммутацию пленочного резистора с другими элементами схемы. Резистивный элемент 4 круглой формы расположен между ними, а именно между внутренней 2 и внешней 3 контактными площадками, его размеры и вид материала определяют сопротивление пленочного резистора. Проводящая. пленочная спи-раль 5 выполнена из проводящего материала, соединяет соседние контактные площадки и предназначена для дискретной подгонки пленочного резистора. Сквозные отверстия 6 в резистивном элементе, расположенные .под проводшцей пленочной спиралью 5, определяют места перерезания проводящей пленочной спирали 5 при дискретной подгонке резистора с помощью лазера или пескоструйной обработки. На- фиг. 2 показан виток проводящей пленочной спирали Архимеда, где г г г г радиусы подгоночЧ t ч 1 ньрс секций при последовательном пережигании подгоноч ных секций спирали Л г - приращение радиуса одной подгоночной секции; TO . - радиус внутренней контактной площад ки; TB - радиус внешней кон тактной площадки. Подгонка резистора осуществляетс последовательным перерезанием прово Пяш/вК пленочной спирали 5 в местах расположения сквозных отверстий 6 в реэистивном материале. При этом сопротивление резистора будет увеличи ваться в большей или меньшей степеи, в зависимости от последовательости перерезания проводящей пленочой спирали 5 (по контуру спирали ли по радиусам) и типа спирали (лоарифмическая спираль или спираль рхимеда). Сопротивление круглого резистора зависит от удельного сопротивления езистивной пленки ро и соотношения адиусов внутренней и внешней конактных площадок и выражается формуой«-po4-,) Использование предлагаемого изобретения позволит увеличить точность и стабильность параметров подгоняемого пленочного резистора в 2-3 раза. Формула изобретения 1.Пленочный резистор, содержащий диэлектрическую подложку с размещенным на ней резистивным элементом круглой формы с кольцеобразной внешней и круглой внутренней контактными площадками, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности параметров и точности резистора, он снабжен проводящей пленочной спиралью, размещенной на резистивном элементе и соединяющей его контактные площадки, причем в резистивном элементе выполнены подгоночные отверстия расположенные под проводящей .пленочной спиралью. 2.Резистор ПОП.1, отличающийся тем, что проводящая пленочная спираль выполнена в виде логарифмической спирали или в виде спирали Архимеда. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Коробейников В.Н. Конструирование апериодических пленочных усилителей. М., Советское радио, 1972, с. 69, рис. 214 (а, б). 2.Патент Великобритании, кл. HIS, 1367983, 25.09.74 (прототип) .