Подложкодержатель Советский патент 1981 года по МПК H05K3/14 

Описание патента на изобретение SU809669A1

(54) подложкеДЕР ЖАТБЛЬ

Похожие патенты SU809669A1

название год авторы номер документа
Устройство для электрожидкостной эпитаксии 1979
  • Демин В.Н.
  • Григорьев В.А.
SU807691A1
МНОГОШПИНДЕЛЬНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ФОТОПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ В ВАКУУМЕ 1991
  • Кульпинов Владимир Васильевич
RU2065506C1
Поворотный контейнер подложки с "маской" для формирования тонких пленок различной конфигурации 2022
  • Юшков Василий Иванович
  • Патрин Геннадий Семенович
  • Кобяков Александр Васильевич
  • Шиян Ярослав Германович
RU2794157C1
Способ формирования защитного слоя резиста и устройство для его осуществления 1988
  • Башевский Александр Сергеевич
  • Банина Ирина Михайловна
  • Бочарова Светлана Михайловна
  • Гаврилов Михаил Николаевич
  • Школьников Владимир Михайлович
  • Шульман Борис Яковлевич
SU1536347A1
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ МЕГАЗВУКОВОЙ ОЧИСТКИ ПОДЛОЖЕК 2002
  • Комаров В.Н.
  • Комаров Р.В.
RU2243038C2
Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы 1985
  • Быков А.Ф.
  • Гельфонд Н.В.
  • Земсков С.В.
  • Игуменов И.К.
  • Ларионов И.Г.
  • Царев С.М.
SU1316305A2
Устройство для осаждения слоев из газовой фазы 1974
  • Иванов Вадим Иванович
SU567491A1
Устройство для крепления подложек при напылении тонких пленок (варианты) 2022
  • Корж Иван Александрович
RU2808620C2
УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ И ФИКСИРОВАНИЯ БЛОКА ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ПРОЦЕССОВ ОБРАБОТКИ ИХ ПОВЕРХНОСТИ 2023
  • Юдин Николай Николаевич
  • Подзывалов Сергей Николаевич
  • Худолей Андрей Леонидович
  • Городкин Геннадий Рафаилович,
  • Кумейша Павел Николаевич
  • Шамко Александр Владимирович
RU2816589C1
Вакуумный перегрузчик 1986
  • Белобоков Николай Иванович
  • Денисов Альберт Георгиевич
SU1321980A1

Иллюстрации к изобретению SU 809 669 A1

Реферат патента 1981 года Подложкодержатель

Формула изобретения SU 809 669 A1

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме, а именно, к устройствам, для вакуумной металлиэации различных деталей, например отражателей фар транспортных средст. Известен подложкодержатель, содер жащий корпус в виде кольца с проточкой для фиксации подложки i . Недостаток устройства - низкая надежность фиксации подложки. Цель изобретения - повышение наде ности фиксации подложки. Эта цель достигается тем, что в подложкодержа теле, содержащем корпус в виде кольц с проточкой для фиксации подложки, корпус выполнен в форме эллипса из пружинного материала. На фиг. 1 изображен подложкодержа тель с полупроводниковой пластиной, вид сверху; на фиг. 2 - то же, вид сбоку. Подложкодержатель состоит из корп са 1t вьшолненного в форме эллипса из пружинного материала, снабженного проточками 2, причем проточки выполнены таким образом, что установле ная в них полупроводниковая пластина 3 контактирует с корпусом только своими краями. Для установки полупроводниковой пластины в держателе сжимают овал вдоль его большого диаметра и вводят в образовавшееся пространство между проточками полупроводниковую пластину. После снятия приложенного усилия корпус, выполненный из пружинного материала, расправляется и фиксирует в своих проточках полупроводниковую пластину. Снятие пластины осуществляют в обратном порядке. Предлагаемый держатель для полупроводниковых пластин прост по конструкции, допускает установку и снятие полупроводниковой пластины без приспособления и обеспечивает большой доступ к поверхностям пластины. Формула изобретения Подложкодержатель, содержащий корпус в виде кольца с проточкой для фиксации подложки, от лич аю-. щ и и с я тем, что, с целью повышения надежности фиксации подложки, корпус вьшолнен в форме эллипса из пружинного материала. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 290495, Н 05 К 3/14, 1970.

SU 809 669 A1

Авторы

Золотаревский Марк Михайлович

Даты

1981-02-28Публикация

1979-01-23Подача