(54) подложкеДЕР ЖАТБЛЬ
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для электрожидкостной эпитаксии | 1979 |
|
SU807691A1 |
МНОГОШПИНДЕЛЬНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ФОТОПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ В ВАКУУМЕ | 1991 |
|
RU2065506C1 |
Поворотный контейнер подложки с "маской" для формирования тонких пленок различной конфигурации | 2022 |
|
RU2794157C1 |
Способ формирования защитного слоя резиста и устройство для его осуществления | 1988 |
|
SU1536347A1 |
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ МЕГАЗВУКОВОЙ ОЧИСТКИ ПОДЛОЖЕК | 2002 |
|
RU2243038C2 |
Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы | 1985 |
|
SU1316305A2 |
Устройство для осаждения слоев из газовой фазы | 1974 |
|
SU567491A1 |
Устройство для крепления подложек при напылении тонких пленок (варианты) | 2022 |
|
RU2808620C2 |
УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ И ФИКСИРОВАНИЯ БЛОКА ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ПРОЦЕССОВ ОБРАБОТКИ ИХ ПОВЕРХНОСТИ | 2023 |
|
RU2816589C1 |
Вакуумный перегрузчик | 1986 |
|
SU1321980A1 |
Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме, а именно, к устройствам, для вакуумной металлиэации различных деталей, например отражателей фар транспортных средст. Известен подложкодержатель, содер жащий корпус в виде кольца с проточкой для фиксации подложки i . Недостаток устройства - низкая надежность фиксации подложки. Цель изобретения - повышение наде ности фиксации подложки. Эта цель достигается тем, что в подложкодержа теле, содержащем корпус в виде кольц с проточкой для фиксации подложки, корпус выполнен в форме эллипса из пружинного материала. На фиг. 1 изображен подложкодержа тель с полупроводниковой пластиной, вид сверху; на фиг. 2 - то же, вид сбоку. Подложкодержатель состоит из корп са 1t вьшолненного в форме эллипса из пружинного материала, снабженного проточками 2, причем проточки выполнены таким образом, что установле ная в них полупроводниковая пластина 3 контактирует с корпусом только своими краями. Для установки полупроводниковой пластины в держателе сжимают овал вдоль его большого диаметра и вводят в образовавшееся пространство между проточками полупроводниковую пластину. После снятия приложенного усилия корпус, выполненный из пружинного материала, расправляется и фиксирует в своих проточках полупроводниковую пластину. Снятие пластины осуществляют в обратном порядке. Предлагаемый держатель для полупроводниковых пластин прост по конструкции, допускает установку и снятие полупроводниковой пластины без приспособления и обеспечивает большой доступ к поверхностям пластины. Формула изобретения Подложкодержатель, содержащий корпус в виде кольца с проточкой для фиксации подложки, от лич аю-. щ и и с я тем, что, с целью повышения надежности фиксации подложки, корпус вьшолнен в форме эллипса из пружинного материала. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 290495, Н 05 К 3/14, 1970.
Авторы
Даты
1981-02-28—Публикация
1979-01-23—Подача