Устройство для двусторонней очисткиплОСКиХ дЕТАлЕй Советский патент 1981 года по МПК H05K3/26 

Изобретение относится к производству полупроводниковой аппаратуры, в частности к технологическому оборудованию для очистки фотошаблонов.

Известно устройство для двусторонней очистки плоских деталей, содержа1це е приводной ротор с отверстиями/равными дисилетру вписанной в фотошаблон окружности,и щетки с приводом l .

Однако, это устройство не обеспечивает полную очистку фотошаблонов. Объясняется это тем, что углы фотошаблонов , выходящие за пределы вписанной в фотошаблон окружности, не подвергаются воздействию щеток, т.е. остаются не обработанными и являются источником загрязнения остгшьной части поверхности фотошаблонов что приводит к появлению бракованных микросхем.

Цель изобретения - повышение качества очистки .

Поставленная цель достигается тем что устройство для двусторонней очистки плоских деталей, содержащее соединенные с приводами транспортирующий ротор с гнездами в виде отверстий для размещения фотошаблонов и

щетки, размещенные с двух сторон одного из гнезд транспортирующего ротора, снабжено установленные соосно транспортирующему ротору диском с радиальными пазами, на переферийной, .обращенной к транспортирующему ротсфу, поверхности которого выполнен выступ в спирали Архимеда,

3 отверстия в роторе выполнены больше габаритных размеров фотошаблона.

. На фиг. 1 изображено .предлагаемое устройство, общий вид (разрез); на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1; на

фиг. 3 - вид по стрелке Б на фиг. 1; на фиг. 4 - сечение В-В на фиг. 1.

Устройство содержит корпус 1, установленный в подшипниках 2 транспортирукщий ротор 3 с электромагнитом 4,

привод 5 ротора, жестко закрепленный на полом валу 6 диск 7, механизм 8 ориентации транспортирующего рото- ра 3,щетки 9 и 10,привод 11 вращения щеток, п давод 12 возвратно-поступательного перемещения щеток в горизонтальной плоскости, ванну 13, сопло 14 для подачи моющей .жидкости%

Б диске 7 выполнены пазы 15, между которыми имеются выступы 16, выполненные по форме спирали Архимеда. Ширина пазов 15 меньше ширины обрабатываемых фотошаблонов. Максимальное расстояние между выступами 16 также меньше ширины фотошаблонов. В транспортирующем роторе 3 выполнены сквозные отверстия 17 по форме обрабатываемых фотошаблонов, Размеры отверстий 17 больше, чем габаритные размеры фотошаблонов. Ме,ханизм 8 ориентации транспортирующего ротора 3 состоит из пневмоцилин ра 18, на штоке которого закреплена планка 19 с роликами 20, контактирую щими с жестко закрепленным на полом валу 6 ориентатором 21. Пневмоцилинд 18 установлен на оси 22 с возможностью качания.в горизонтальной плоскос ти. Ориентатор 21 и электромагнит 4 образует муфту сцепления, посредством которой диск 7 может соединяться с приводом 5. Устройство для двусторонней очист ки плоских деталей работает следующим образом. Перед началом цикла щетки 9 и 10 отводятся приводом 12 перемещения за пределы ванны 13, электромагнит 4 от ключен от электросети, а диск 7 зафиксирован от проворота роликами 20, контактирующими с ориентатором 21. Подлежащие очистке фотошаблоны 23 укладываются в отверстия 17 транс портирующего ротора 3 на выступы 16 диска 7, Затем включают привод 5 вра щения транспортирующего ротора 3, привод 11 вращения щеток 9 и 10 и пр вод 12 перемещения щеток. Под действием привода 12 щетки пе ремещаются на рабочую позицию. При этом нижняя щетка 10 входит в один из пазов 15 диска 7, При вращении ро тора фотошаблоны 23 поочередно проходят между вращающимися щетками 9 и Через сопло 14 в зону обработки подается моющая жидкость, под воздей ствием которой Происходит интенсивно удаление продуктов загрязнения с обоих поверхностей фотошаблонов. По истечении определенного времени пода ча- моющей жидкости прекращается и щетки 9 и 10 приводом 12 отводятся из зоны обработки. Под действием пне моцилиндра 18 планка 19 с роликами 20 перемещается вправо (по фигуре), освобождая ориентатор 21. После электромагнит 4 подключается к элект росети, а привод 5 переключается на большие- обороты. При этом ориентатор 21 притягиается к сердечнику электромагнита 4 и привод 5 вращает одновременно транспортирующий ротор 3 и диск 7, од действием центробежных сил капли оющей жидкости сбрасываются с верхней поверхности фотошаблонов за пределы ротора. Капли моющей жидкости, находящиеся на нижней поверхности фотошаблонов, также перемещаются под действием центробежных сил по направлению от центра транспортирующего ротора до соприкосновения с выступами 16 диска 7, после чего отводятся через пазы 15 в ванну 13. Для сокращения времени сушки под кожух ванны 13 подается осушенный инертный газ. После окончания сушки привод 5 и электромагнит 4 отключают от электро|сети, Пневмоцилиндр 18 перемещает Ьланку 19 с ро ликами 20 влево (по. фигуре) и ориентатор 21, поворачиваясь под действием роликов 20, ориентирует диск 7 таким образом, чтобы один из пазов 15 диска 7 был расположен нап-. ротив щеток 9 и 10. Очищенные фотошаблоны выгружаются а на их место укладываются другие, подлежащие очистке. Цикл повторяется. Формула изобретения Устройство для двусторонней бчистки плоских деталей, преимущественно фотошаблонов, содержащее соединенные с приводами транспортирующий ротор с гнездами в отверстий для размещения фотошаблонов и щетки, размещенные с двух сторон одного из гнезд транспортирующего ротора, отличающееся тем, что, с целью повьдиения качества очистки, оно снабжено установленным соосно транспортирующему ротору диском с радиальными .пазами, на переферийной, обращенной к транспортирующему ротору; поверхности которого выполнен выступ в форме спирали Архимеда, а отверстия в роторе выполнены больше габаритных размеров фотошаблона. Источники информации, . принятые во внимание при экспертизе 1, Устройство для двухсторонней очистки фотошаблонов фирмы Machine Technology .- Circuits Manvi- facturing, 1972, 2, p. 72 (прототип) .