Устройство для подгонки пленочныхРЕзиСТОРОВ Советский патент 1981 года по МПК H01C17/00 H01C17/26 

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении пленочных резисторов . Известно устройство для подгонки резисторов, содержащее источник тока, измерительный блок и блок управления l . Однако в этом устройстве из-за значительного нагрева резистора в процессе токовой корректировки замер номинала резистора производят через некоторое время, необходимое для его остывания, что ведет к уменьшению производительности труда и понижению точности подгонки. Кроме того, затру днительно производство пОдгонки танталовых резисторов, так как при этом возникает необходимость в более интенсивном нагреве токопроводящаго ма териала. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство для подгонки пленочных резисторов, содержащее генератор стандартных сигналов, элемент НЕ, источник тока окисления, коммутатор подгонки/ соединенный с контактами подключения подгоняемого резистора, блок измерения и блок смещения 2. Однако это устройство не обеспечивает достаточной точности подгонки и высокой производительности. Цель изобретения - повышение производительности и точности подгонки. Цель достигается тем, что устройство для подгонки пленочных резисторов, содержащее генератор стандартных сигналов, элемент НК, источник тока окисления, коммутатор подгонки, соединенный с. контактами подключения подгоняемого резистора, блок измерения и блок смещения,снабжено дополнительным источникомтока окисления, дополнительным блоком смещения, элементом ИЛИ, коммутатором режима, блоком управления, коммутатором измерения, при этом выходы источников тока окисления соединены со входами коммутатора режима, выход которого соединен с коммутатором подгонки, коммутатор измерения соединен с контактс1ми подключения подгоняемого резистора, вход его соединен с элементом НЕ, а выход - с блоком измерения, выход которого соединен со входом блока управления, два выхода которого соединены со входами генератора стандарт(ых сигналов, причем один из них соединен еще с управляющим входом коммутатора и с входом блока смещения,третий выход которого соединен со входом дополнительного блока смещения,. выход которого соеди нен с одним входом элемента ИЛИ, вто рой вход которого соединен с входом блока смещения, а выход - со входом блока измерения. На фиг.1 изображена блок-схема устройства для подгонки пленочных резисторов; на фиг.2 - графики работы известного и предлагаемого устройств. Устройство для подгонки пленочных рез.исторов содержит генератор 1 стандартных сигналов(ГСС), элемент НЕ 2, источник 3 тока окисления, ком мутатор 4 подгонки, подгоняемый ре.зистор 5, измерительный блок б, блок 7 смещения, источник 8 тока быстрого окисления, коммутатор 9 режима, блок 10 управления, причем коммутатор 9 .режима включен между двумя источниками 3 и 8 тока окисления и коммутатором 4 подгонки, выход измерительного блока 6 подсоединен к входу бло ка 10 управления, первый1выход блока 10 управления соединен с управляющими входами блока 7 смещения и коммутатора 9 режима, второй выход соединен с запрещающим входом ГСС 1, при этом выход ГСС 1 соединен с управляющим входом коммутатора 4 подгонки, а между подгоняемым резистором 5 и измерительным блоком б включен коммутатор 11 измерения, управляющий вход которого через элемент НЕ 2 соединен с выходом ГСС 1. В устройство также дополнительно введен второй блок 12 смещения и элемент ИЛИ 13, причем элемент ИЛИ 13 включен между первым блоком 7 смещения и управляющим входом измерительного блока б, третий выход блока 10 управления соединен с управляющим входом второго блока 12 смещения, выход которого соединен со вторым входом элемента Или 13. ГСС 1 выполнен с управлением длительностью импульсов, причем управляющий вход его соединен -с первым выходом блока 10 управления, который состоит из триггера 14 режима, элемента И 15 и триггера 16 состояния, причем первый вход элемента И 15, и вход триггера 14 режима соединены с выходом измерительного блока б. Пря мой выход триггера 1.4 режима соедин с вторым входом элемента И 15 и упр вляющим входом второго блока 12 сме щения, выход элемента И 15 соединен с входом триггера 16 состояния, инверсный выход которого соединен с запрещающим входом ГСС 1, инверсны выход триггера 14 режима соединен с управляющими входами первого блока 7 смещения, коммутаторам 9 режима и . ГСС 1. Устройство работает следующим об - разом. Началом подгонки является устаовка блока 10 управления в исходое состояние (т.е. триггер 14 режиа и триггер 16 состояния находятся исходном положении и на их инверсых выходах появляется сигнал логиеской единицы (лог.1), при этом на первом и втором выходе - сигнал лог.1, а на третьем - логического нуля (лог,. 0). На запрещающем входе ГСС 1 появляется сигнат j.or.l, т.е. ГСС 1 включается и по очереди, с помощью коммутатора 11 измерений и коммутатора 4 подгонки, подключает к подгоняемому резистору 5 измерительный блок 6 и источник 8 тока быстрого окисления соответственно (см.фиг.2 график напряжения ГСС1 U|-(-j, f (t) . Поскольку при измерении подгоняемого резистора 5 коммутатор 4подгонки отключает источники тока окисления, то ток окисления на измерение не влияет. При превышении значения подгоняемого резистора 5 заданного номинала смещенного на измерительный блок 6 сработает и задним фронтом изменит состояние блока 10 управления (триггера 14 режима) таким образом, что на первом выходе его появится сигнал лог.О, который отключит первый блок 7 смещения и изменит длительность импульсов ГСС 1, на третьем выходе появится, сигнал лог.1, который подключит к измерительному блоку б через элемент ИЛИ 13 второй блок 12 смещения (время tj , фиг.2). ГСС 1 по очереди подключает к подгоняемому резистору 5измерительный блок б и источник 3 тока окисления, т.е. подгонка происходит медленнее, а длительность измерения при этом увеличивается. Процесс происходит до тех пор, пока значение -подгоняемого резистора 5 не превысит заданного номинала РЯО„. смещенного на д2Кцд,, измерительный блок сработает и задним фронтом изменит состояние схемы 10 управления . (переключится триггер 16 состояния) таким образом, что на втором выходе появится сигнал лог.О, который выключит ГСС 1, при этом отключается коммутатор 11 измерения и коммутатор 4подгонки. Ни измерения, ни юстировки не происходит (время t.. ,фиг.2). i, Поскольку устройство отключает источник 3 тока окисления раньше, чем значение подгоняемого резистора 5достигает Rj«j,, то естественно, что значение будет ближе к номинальному, чем в известном устройстве, т.е. точность подгонки выше. По данным, приведенным на фиг.2 видно, что время подгонки резистора предлагаемым устройством меньше времени юстировки того же резистора известным устройством.

Формула изобретения

Устройство для подгонки пленочных резисторов, содержащее генератор стандартных сигналов, элемент НЕ, источник тока окисления, коммутатор, подгонки, соединенный с контактами подключения подгоняемого резистора, блок измерения и блок смещения, о тличающееся тем,что, с целью повышения производительности и точности подгонки, оно снабжено дополнительным источником тока окисления, дополнительным блоком смещения, элементом ИЛИ, коммутатором режима, блоком управления, коммутатором измерения, при этом выходы источников тока окисления соединены со входами коммутатора режима, выход которого соединен с коммутатором подгонки, коммутатор измерения соединен с контактами подключенияподгоняемого резистора, вход его соединен с элементом НЕ, а выход - с блоком измерения, выход которого соединен со входом блока управления, два выхода которого соединены со входами генератора стандартных сигналов, причем один из них соединен еще с управляющим входом коммутатора режима и с входом блока смещения, третий выход которого соединен со входом дополнительного блока смещения, выход .которого соединен с одним входом элемента ИЛИ, второй вход которого соединен со входом блока смещения, а выход - со входом блока измерения.

1

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 491104, кл.С 01 R 17/22, 1974.

2.Авторское свидетельство СССР 20 № 465659, кл.Н 01 С 17/00, 1973.

4к

i

ААП.АЛАПГ рЛ Л

w

tf