Способ изготовления запоминающего устройстваНА цилиНдРичЕСКиХ МАгНиТНыХ дОМЕНАХ Советский патент 1981 года по МПК G11C11/14 

Однако это достигается значительным усложнением технологии изготовления. . Цель изобретения - упрощение изготовления ЗУ на ЦМД. Псх:тавленная цель достигается путем .того, что в известном способе изготовле ния ЗУ на ЦМД формирование токопрсжодяших йин осуществляют вытравливанием разделительных промежутков в слое из немагнитного металла, формирующих замкнутый контур протекания электричес кого тока. .На фиг. 1 и 2 изображена конструкхщ ЗУ на ЦМД, выполненного в соответстви с предлагаемым способом. ЗУ на ЦМД содержит токопроводяшие шины I из немагнитного металла, балластные участки l шин, активные участ ки l шин, образованные вытравливанием в слое из немагнитного металла разделительных гфомежутков 2, причем ширина последних в местах совмещения с управляющими аппликациями 3-соизмерима с их критическими размерами. Реперные знаки 4 формируются в слое немагнитног металла. С остальной площади магнитоО0НООСНОЙ пленки 5 слой из немагнитног металла не удаляется. Токопроводящие шины 1 расположены между пленкой 5 и аппликациями 3, от которых они отделены соответственнослоями 6 и 7 диэлектрика. Формирование разделительных проме утксж 2 можно осуществлять также ано№ным окисидованием алюминия, так как при этом изменение уровня оказывается весьма незначительным.. В прес1лагаемом способе электрсжопро тивление токопроводящих шин уменьшается в несколько раз за счет снижения доли балластной их части, что приводит {С уменьшению тепла, выделяющегося в устройстве. Кроме того, увеличенная во много раз площадь балластной части шин эффективно выполняет роль радиатору, отводящего тепло от активных шин и равномерно распределяющего его по всей площади устройства. Это приводит к снижению температуры узких участков токопроводящих шин и уменьшает вероятность их теплового разрушения, а также ослаб-Ляет локальный разогрев магнитоодноосной пленки. Указанные преимущества повышают надежность ЗУ на ЦМД и упрощают их изготовление. Формула изобретения Способ изготовления запоминающего устройства на цилиндрических магнитных доменах, основанный на последовательном нанесении на магнитродноосную пленку слоя из немагнитного металла, слоя и ферромагнитного слоя и формировании токопроводящих шин управляю-, щих аппликаций, отличающийс я тем, что, с целью упрощения изготовления запоминающего устройства на цилинщзических магни тных доменах, формирование токопроводящих шин осуществляют Вытравливанием разделительных промежутков в слое из немагнитного металла, формирующих замкнутый контур протекания электрического тока. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе , 4i ТЕЕЕ Troins. .,voe. AAG-f2,f97fe, ,p.654. 2.. J. Appe. ., V.4g(9). -078, (ПРОТОТИП). p. 1930 (прототип).

SvA M -:::V, . emim m,- . .fffu. К OStnEKmOM

К детектора

Фиг.1 3