(54) СПОСОБ РАЗМЕРНОГО TPABHEHIiH МЕДИ 38 и сернокислую медь при следующем соотношении компонентов, г/л: Бромистый калий28-30 Сернокислая медь60 65 а на второй стадии в 10-15%-ном растворе тиосульфата натрия. Изготавливаются специальные штрихо вые эталоны с шириной штрихов 5,10 и 20 мкм. С помощью этих эталонов методом контактной фотолитографии воспрои водят изображение штрихов фоторезистом ФП-ЗбЗ и осуществляют травлеьше в известном и предлагаемом растворах, результаты которого приведены в табл« Из таблицы видно, что точность вос произведения изображения при применении способа изготовления с предлагаемым раствором выше, чем при использова1ши известного, на 6-20%.Кроме того, известный раствор для здоровья исполнителей безусловно более вре ден, так как содержит йод и аммиак. Раствор, содержащий йод и йдистый калий, имеет коричневато-бурый цвет. При травлении конец полного перехода 44 в меди в йодистую медь визуально невозможпо определить, контроль но времени не дает стабиль}1ых результатов, все это и приводит к уменьшению точности при травле1ши. В процессе поиска оптимального количества бромистого калия и сернокислой меди, входящих в травящий раствор, были приготовлены растворы, состав которых приведен в табл.2. В табл. 3 приведены результаты испытаний растворов. Из табл. 3 видно, что растворы 1 и 2 являются оптимальными по составу, так как обеспечивают наиболее точное воспроизведение изображения и не разрушают во время травления фоторезистивный слой. Однако раствор 1 требует сравнительно больщого времени травления. Применение предлагаемого способа обеспечивает повышение точности изготовления шкал и сеток по сравнению с известным на 6-20%.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Способ изготовления галогенмедных фотографических эмульсий | 1988 |
|
SU1644072A1 |
| СПОСОБ УСИЛЕНИЯ СЕРЕБРЯНОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ | 1991 |
|
RU2009535C1 |
| Способ исправления галоидосеребряных фотошаблонов | 1980 |
|
SU964565A1 |
| ГАЛОГЕНСЕРЕБРЯНЫЙ ФОТОГРАФИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ С ВНУТРЕННИМ МАСКИРОВАНИЕМ | 1988 |
|
SU1625233A1 |
| Способ усиления серебряных фотографических изображений на бумажной основе | 1978 |
|
SU767689A1 |
| КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ ФИКСИРОВАНИЯ ГАЛОГЕНСЕРЕБРЯНЫХ ФОТОГРАФИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ | 1995 |
|
RU2076348C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БРОМЙОДСЕРЕБРЯНОЙ ФОТОГРАФИЧЕСКОЙ ЭМУЛЬСИИ | 1987 |
|
SU1618150A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕПИЯ ПОЗИТИВНЫХ ФОТОГРАФИЧЕСКИХ | 1969 |
|
SU245694A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БРОМЙОДОСЕРЕБРЯНОЙ ФОТОГРАФИЧЕСКОЙ ЭМУЛЬСИИ, СОДЕРЖАЩЕЙ Т-КРИСТАЛЛЫ | 1984 |
|
RU2091851C1 |
| Способ обработки цветных обращаемых галогенсеребряных фотографических материалов | 1976 |
|
SU654929A1 |
45
21
28
60
30 35
3 А
65
75
Таблица 1
Таблица 2
Остальное до 1 л
То же
10 20 5,3-5,5 10,2-10,4 20,2-20,4 240-300
Фоторезистивный слой разрушается. Формула изобретения Способ размерного травлешш меди например, при изготовлении шкал и сеток, включающий обработку поверхности в две стадии: в водном растворе, содержащем галогенид щелочного металла, и в растворе дляудален образовавшегося галогенида меди, отличающийся .тем, что, целью повыше1шя точности разм-еров, первой стадии берут раствор, содержащий бромистый калий и сернокислую медь при следующем соотношении комп нентов, г/л:
ТаблицаЗ Бромистый калий28-30 Сернокислая медь. 60-65 а на второй - 10-15% ный раствор тиосульфата натрия. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР №.597739, кл. С 23 F 1/02, 1972. 2.Аренков А. Б. Печатные пленочные элементы радиоэлектронной аппаратуры, М., Энергия, 1971, с. 127. 3.Авторское свидетельство СССР № 530486, кл. С 23 F 1/02, 1974.
