Кассета для транспортированияплОСКиХ дЕТАлЕй Советский патент 1981 года по МПК H01L21/68 

Изобретение относится к текнолог ческому оборудованию, в частности д производства полупроводниковых приборов и интегральных схем и может быть использовано на различных технологических операциях, связанных с транспортированием и химической обработкой гибких тонких изделий. Известна кассета для групповой химической обработки пластин, выполненная в виде диска с кольцевой проточкой и средствами удержания пластин, представляющими два ряда цилиндрических штырьков, расположенных по двум концентрическим окружностям D . В этой кассете можно вести обработку только жестких пластин. Известна кассета для транспортирования плоских деталей, преимущественно интегральных микросхем, содержащая корпус с размещенными между его стенками перегородками, соединенньми стержнями 12, Однако в известной кассете интегральные микросхемы размещаются без фиксации, что невозможно для микросхем, размещенных на гибкЬй подпож-Ке. Цель изобретения - повьшение на-т дежности и удобства эксплуатации. Поставленная цель достигается тем, что в кассете для транспортирования плоских деталей, преимущественно интегральных схем, содержащей корпус с размещенными между его стенками пе:регородками, сое иненными стержнями,, каждая из перегородок вьтолнена в виде кольца с упорами, расположенными на ее торцовой поверхности. На фиг. 1 изображена кассета для транспортирования плоских деталей, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1 ; на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 1; на фиг. 4 - вид В на Лиг. 1 ; на фиг. 5 - вид Г на фиг. 4. 3 Кассета для транспортирования пл ких изделий содержит корпус, выполненный в виде набора колец 1, на каждом из которых на торцовой стороне расположены на одинаковом расстоянии друг от друга (под углом 120 ) заостренные и направленные в одну сторону упоры 2. Число колец 1 определяется количеством одновременно обрабатываемых плоских деталей 3, например интегральных микр схем, размещенных на гибкой подложке. К стенке 4 (основанию) прикреплены равномерно расположенные под углом 120) три стержня 5 круглого сечения, имеющие на незакрейленных концах поперечные пазы 6, обращенные внутрь кассеты. На внешнем диаметре кольца 1 имеются три равномер расположенные (под углом ) паз для облегчения перемещения колец 1 по стержням 5 при сборке и разборке кассеты. Другая стенка выполнена в виде 1съемной крышки, и содер жит три равномерно расположенные (под углом 120°) удлиненные отверстия, имеющие отогнутые лепестки 8. Крепление крьшки 7 на стержнях 5 осуи;ествляется с помощью замка, например, типа байонетного. На внут ренней стороне крышки 7 также имеются упоры 2, служащие для передачи усилия прижатия всему набору колец. В центре крышки 7 закреплена поперечная планка 9 для захвата кассеты 7 грузоподъемными средствами или средствами перемещения из одной зоны обработки в другую. Кассету используют следующим образом. На стенке 4 (основании) по стержням 5 устанавливают кольцо 1, на него укладывают плоские детали 3, затем аналогично укладывают последующие кольца с деталями. После укладки последней детали устанавливают крьпцку 7 и, повернув ее по часовой стрелке, стягивают весь набор колец с деталями в кассе.те. Формула изобретения Кассета для транспортирования плоских деталей, преимущественно интегральных схем, содержащая корпус с размещенными между его стенками перегородками, соединенными стержнями, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности и удобства эксплуатации, каждая из перегородок выполнена в виде кольца с упорами, расположенными на ее торцовой поверхности. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 443433, кл. Н 01 L 21/00, 1971. 2.Авторское свидетельство СССР 526222, кл. Н 01 L 21/68, 1974. №

%i/

А 5