Способ изготовления сердечниковМАгНиТНыХ гОлОВОК Советский патент 1981 года по МПК G11B5/42 

; ,. ,, , 1 ; Изобретение относится к приборостроению, в частности к технике магнитной записи. Известен способ изготовления магнитопроводов из пакета оксидируемых и соединяемых под давлением между собой посредством расплавленного стекла магнитомягких пластин, где оксидирование проводят при ЗОО-ЗОО С в течение 120-115 мин П. : Однако в известном .способе получаемая толщина слоя 3-5 мкм, который частично растворяется в стекле, и отслоение оксидного слоя. - , .„.. . Известен также способ изготовления сердечников магнитных головок, включающий формирование связанных техно- логическими перемычками магнитомягкю пластин сердечников, осуществляемое фотолитографированием, и термообра,ботку их на воздухе при 500-550 С в течение 2-3 ч. После чего на пласти ны,наносят клей и производят склеивание пластин в дакет под давлением в специальном приспособлении Г27« Недостатка.ми этого способа являются большая толщина изоляционного слоя, разброс по толпщне и отслоение слоя от основного металла, что снижает амплитудно-частотную характеристику магнитной головки и процент выхода годных. Причиной указанных недостатков fIOжeт быть многообразие окислов, получаемых при термическом окислении, например, для пермаллоя: FeO, flt РеаОз, Г FeoP-i, Ni,, , , NiO, MoOi и МоОКа;кдый окисел имеет свою кристаллическ5по структуру, коэффициент роста (изменение объема), коэффициент термического расширения (некоторые окислы имеют прирост объема 80% и более). Цель изобретения - повышение ам литудно-частотной характеристики и процента выхода годных магнитны: головок путем получения тонкого изоляционного слоя, однородного по толщине, имеющего сцепление с основным метаплом. Поставленная цель достигается тем, что в способе, включающем форми рование связанных технологическими перемычками магнитомягких сердечников, осуществляемое фотолитографиро ванием, термообработку и склеивание пластин в пакет под давлением, после фотолитографирования наносят слоя алюминия толщиной 0,3-0,5 мкм, а термообработку ведут в кипящей воде в течение 1ч. При кипячении происходит окисление алюминия и полученная окись алюминия имеет прочность сцепления такую же, как у алюминия - 500900 кг/см, а это вьше чем при нанесении окиси алюминия и много вьше чем прочность сцепления окисной пленки магнитомягкого сплава. Способ осуществляют следующим образом. Пример. Пластины пермаллоя 81 НМЛ толщиной 20 мкм терморихтуют. между поликоровыми пластинами при ЗОО.С в течение 30 мин в вакууме, затем фотолитографи)ованием формирую связанные технологическими перемычками магнитомягкие пластины сердечни ков и наносят слой алюминия толщиной в пределах 0,3-0,5 мкм вакуумным испарением, возможно и катодным распылением или конденсадией с ионной бомбардировкой. Толпрна в пределах 0,3-0,5 мкм является той минимальной 44 толщиной, при которой изоляции не менее 40 Мом при напряжении 100 В. Далее прЬводят склеивание пластин в пакеты под давлением до 100 кг/см в специальном приспособлении. При дальнейших операциях - сборке, шлифовке и доводке магнитных головок расслоения сердечников отслоение изоляционного слоя не происходит. При использовании предлагаемого способа улучшается и становится более равномерной амплитудно-частотная характеристика магнитной головки: повышается в 3-5 раз выход годных магнитных головок по сопротивлению изоляции между пластинами. Формула изобретения Способ изготовления сердечников магнитных головок, включающий формирование фотолитографированием связанных технологическими перемычками магнитомягких пластин сердечников, ix термообработку и склеивание в пакет под давлением, отличающий с я тем, что, с целью улучшения амплитудно-частотной характеристики и повьш1ения выхода годных магнитных головок, после фотолитографирования наносят слой алюминия толщиной О,3-0,5 мкм, а термообработку ведут в кипящей воде в течение 1ч. Источники информации, принятые во вним;ание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 432586, кл. Gil В 5/42, 23.06.72. 2. Авторское свидетельство СССР №613380, кл. G 11 В 5/42, 31.01.77 (прототип).