Кассета для двустороннего травленияплОСКиХ зАгОТОВОК Советский патент 1981 года по МПК H05K3/06 H01L21/465 

(54) КАССЕТА ДЛЯ ДВУСТОРОННЕГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛОСКИХ ЗАГОТОВОК

Изобретение относится к оборудованию для обработки изделий травлением и может быть использовано для травления плоских заготовок печатных плат, интегральных схем и подобных им изделий. Известна кассета, выполненная в виде кольца, снабженного элементами крепления заготовки, аричем кольцо имеет профиль сечения в виде клина, обращенного к центру кассеты. Заготовка удерживается с помощью арматуры, которая крепится к отверстиям специально пробитым в заготовке 1. Однако такой способ крепления не совсем удобен, так как требует дополнительной операции про15ивки отверстий, что наносит ущерб заготовке и увеличивает трудоемкость обработки. С другой стороны, например, при изготовлении сеток на тонкой фольге, в некоторых случаях, происходит деформация полученных изделий, так как они находятся под действием растягивающих усилий от арматуры. Известна также кольцевая кассета для двустороннего травления плоских заготовок выполненная в виде разъемных колец с элементами крепления заготовки 2. Недостатками этой кассеты является то, что она имеет глухие пазы и карманы, из которых трудно удалить остатки травителя, что может привести к нежелательной коррозии готовых изделий и увеличению брака. Монтаж и демонтаж заготовки требует значительнь1х затрат времени, что снижает производительность. Кроме того, у этой кассеты недостаточна надежность крепления заготовки. Известна также кассета для двустороннего травления плоских заготовок, содержащая два разъемно соединенных кольца и элементы их скрепления 3. Недостатком известной кассеты является невозможность надежного крепления фольги толщиной 50-100 мкм, так как подобные заготовки не обладают жесткостью, достаточной для прочного закрепления их крепежными скобками и в процессе орощения травильным раствором часто выпадают. Кроме того, наличие винтовых зажимов и необходимость каждый раз при монтаже очередной заготовки фиксации скобки в оп-ределенном положении затрудняют работу оператора и повышают трудоемкость закрепления заготовок.

Цель изобретения - повышение надежности, упрощение закрепления, заготовок и улучшение качества травления.

Указанная цель достигается тем, что в кассете для двустороннего травления плоских заготовок, содержащей два разъемно соединенных кольца и элементы их соединения, в кольцах выполнены сквозные клиновидные пазы и прямолинейные канавки на сопрягающихся поверхностях колец, элементы соединения колец выполнены в виде клиновидного выступа на одном кольце и клиновидного сухаря, подвижно размещенного в клиновидном пазу одного из колец, а кольца имеют форму сегмента в поперечном сечении.

На фиг. 1 изображена кассета, обший вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - кассета в сборе, разрез;

Кассета содержит два кольца 1 и 2, между которыми располагают заготовку 3. На одном из колец имеется клиновидный выступ 4, которому соответствует клиновидный паз 5 на другом кольце. В обоих кольцах выполнены клиновидные пазы 6, в одном из которых размеш,ен подвижный клиновидный сухарь 7. На сопрягающихся поверхностях колец 1 и 2 выполнены пазы 8.Кольца 1 и 2 имеют в сечении форму сегмента, кольцо 1 снабжено выступом 9, а кольцо 2 - углублением 10 для заготовки 3.

Работа с кассетой происходит следующим образом.

Заготовку 3 помещают в углубление 10 кольца 2 и накрывают кольцом 1, совмещая при этом выступ с пазом 5. Затем сдвигают сухарь 7 в клиновидных пазах 6, скрепляя кольца 1 и 2.

После сборки, кассета принимает овальную форму в любом поперечном сечении колец, что способствует улучшению стока травителя с поверхности кассеты, а сквозные продольные зеркально расположенные пазы 8 обеспечивают полный сток травителя с заготовки и уменьщают поверхность контакта кассеты с заготовкой 3.

Формула изобретения

Кассета для двустороннего травления плоских заготовок, содержащая два разъемно соединенных кольца и элементы их соединения, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности, упрощения закрепления заготовок и улучшения качества травления, в кольцах выполнены сквозные клиновидные пазы и прямолинейные канавки на сопрягающихся поверхностях колец, элементы соединения колец выполнены в виде клиновидного выступа на одном кольце и клиновидного сухаря, подвижно размещенного в клиновидном пазу одного из колец, а кольца имеют форму сегмента в поперечном сечении.

Источники и,нформации,

принятые во внимание при экспертизе

(риг. 1

А-А

5

9 6

(Раг.2

(Риг.з