Кассета для двухстороннего травления плоских заготовок Советский патент 1977 года по МПК H01L21/77 C25D17/06 

1

Изобретение относится к технологической оснастке, используемой при изготовлении изделий радиоэлектроники, например плких выводов интегральных схем, печатных схем и т.д.

Устройство может быть использовано в тех областях техники, где требуется прецизионное двустороннее травление плоских заготовок, например в радиотехнике, приборостроении.

Известна кольцевая кассета для двустороннего травления плоских заготовок, выполненная в виде кольца с элементами креления заготовки l .

Известные кассеты содержат большое

количество деталей, развивающих поверхнос (кольцевые зажимы, байонетные, винтовые и другие затворы и зажимы). Большинство кассет имеют развитые внутренние поверхности - сложные пазы и карманы, из которых трудно удалить остатки - капли и следы травителей, промывочных жидкостей и т.п.

В некоторых случаях невозможно полностью удалить травитель с таких поверхностей, и при использовании разработанных в последнее время высокоагрессивных травителей для никеля и его сплавов возможно увеличение брака из-за наличия остатков травителя на кассете.

Цель изобретения - повышение качества травления - достигается тем, что в кассете для двустороннего травления плоских заготовок, преимущественно микросхем, выполненной в виде кольца с элементами крепления заготовки, кольцо имеет профиль сечения в виде клина, обращенного вершиной к центру кассеты.

На чертеже приведен внешний вид кассеты с заготовкой.

Кассета содержит несущее кольцо 1, например из оргстекла, фторопласта с заостренной частью 2, подпружиненные элементы 3, отверстие 4 для крепления подпружиненных элементов.

В процессе обработки в рабочей камере 5 кольцевая кассета с заготовкой 6 получает вращательное движение от фрикционного привода (на чертеже не показан). По окончании рабочего цикла она перемещается из