Кассета для групповой жидкостной об-РАбОТКи плОСКиХ дЕТАлЕй Советский патент 1981 года по МПК B65D1/34 

Изобретение относится к производст ву полупроводников, например для обработки полупроводниковых пластин или подложек шаблонов. Наиболее близким к предложенной по сущности является кассета, включающая боковые стенки с пазами дл деталей и торцовые стенки с элементами для крепления кассеты к транспортирующему органу 1. Недостатком данной кассеты является то, что она не обеспечивает удовлетворительное качество обработки поверхностей краев, а также торцов плас тин, т.е. остаются необработанные участки деталей. Цель изобретения - повышение качества обработки деталей путем улучше ния циркуляции обрабатывакдцего раствора. Эта цель достигается тем, что в ос нованиях пазов для деталей выполнены сквозные щели для прохождения обраба- тьшающей жидкости, причем сечение образующих поверхностей пазов имеет трапециевидную форму. На фиг. 1 изображена кассета, общий вид; на фиг. 2 - положение обрабатьтаемой детали в пазаХ кассеты; на фиг. 3 - паз, вид в плане. Кассета для групповой жидкостной обработки плоских деталей состоит из боковых стенок 1 с пазами 2 для деталей и торцовых стенок 3 с элементами 4 для крепления кассеты к транспортирующему органу. В основаниях пазов 2 для деталей 5 выполнены сквозные, щели 6 для прохолсдения обрабатывающей жидкости, причем сечение образующих поверхностей пазов 2 имеют трапециевидную форму. На операциях групповой жидкостной обработки деталей кассета используется следующим образом. В пазы 2 кассеты вставляют детали 5. Затем кассету с деталями при помощи съемной ручки-захвата 7 закрепляют на несущем элементе- транспортирукяцего устройства (не показано) , который при движении опускает ее в обрШ5атьшагаций раствор. Трансаортирутощее устройство опускает кассету путем возвратно-поступательного окунания кассеты в ванну с раствором. Наличие щелей б в пазах, выполненных на внутренней/ стороне 6оковык стенок 1, обеспечивает активйую циркуляцию раствора между вставяейными деталями 5. Наклонная поверхвосфь основания 8 пазов 2 усиливает циркуляцию раствора во всех направПешЕЯх. Ширину щелей 6 выполняют равной 0,4-0,5 толщины обрабатьюаемой детали.

Таким образом, кассета позволяет повысить выход годных деталей на 2-3%.

Формула изобретения

. Кассета для групповой жидкостной обработки плоских деталей, включающая боковые стенки с пазами для деталей и торцовые стенки с элементами для крепления кассеты к транспортирующему органу, отличающаяс я тем ,что, с целью повьппения качества обработки деталей, в основаниях пазов для деталей выполнены сквозные щели для прохождения обрабатывающей жидкости, причем сечение обра.зующих поверхностей пазов имеют трапециевидную форму.

Источники информации , принятые во внимание при экспертизе

К Патент ФРГ № 210795, кл. В 65 D 1/34, 1977.