Кассета для плоских изделий Советский патент 1990 года по МПК B65D1/34 B65D83/08 

Изобретение относится к транспортировке упаковке и хранению плоских изделии, в частности к полупроводниковому производству и может быть использовано при г .пповой обработке полупроводниковых

пластин.

На фиг. 1 показана кассета, общий вид, на фиг 2 - то же, во время работы.

Целью изобретения является исключение повреждения пластин при автоматической загрузке-выгрузке их.

Кассета включает боковые 2 и торцовые 3 стенки. Торцовая верхняя стенка содержит элемент 4 крепления кассеты и ориентирования ее в загрузочно-разгрузочном устройстве включающем подвижный стол Ь, механизм подачи стола 6 и транспортирую щее устройство 7.

Боковые стенки 2 выполнены с пазами 8 аля пластин, соответственно которым выполнены зубья 9 для управления загрузоч- но-разгрузочным устройством, боковые стороны которых расположены параллельно между собой и торцовым стенкам, шаг зубьев равен щагу пазов пластин. Для ориентации

начального и конечного положения кассеты служат сквозные пазы 10, выполненные на боковых стенках со стороны зубьев 9.

Датчик 11 установлен на стаде 5, а датчики 12-14 - на станине 15.

Кассета используется следующим обра ° ассету 1 устанавливают на подвижный столик 5 о ее наличии информация с датчика 11 установленного на столе 5, поступает в систему управления, которая выдает сигнал для установки кассеты в начальное положение по отношению к транспортеру /. При соответствии этого положения, гонтро- аируемого с помощью датчика 12, система управления выдает сигнал на перемещение кассеты соответственно на щаг. При перемещении кассеты на щаг срабатывает датчик щага 13, снимающий информацию с пазов 8 поспе чего пластина выгружается на транспортер 7 Поскольку положение кассеты контролируется с помощью датчика шага 13 через зубья 9, выполненные строго соответственно пазам 8, то исключается повреж(Л

с

с

00 Oi

дение пластин. Кассета перемещается на следующий шаг, цикл повторяется до полной выгрузки кассеты. При верхнем (конечном) положении кассеты срабатывает датчик положения кассеты 14, информация с этого датчика поступает в блок управления, который выдает команду на прекращение работы загрузочно-разгрузочного устройства.

Таким образом, предложенная конструкция кассеты может быть использована для :загрузки-выгрузки пластин в автоматическом :режиме, например в автоматизированной линии фотолитографии, исключая повреждение их.

Формула изобретения

Кассета для плоских изделий, преимущественно полупроводниковых пластин,

включающая торцовые стенки и боковые стенки, на одной торцовой стороне каждой из которых выполнены пазы, а на другой - зубья, шаг КОТ Р ых равен щагу пазов, отличающаяся тем, что, с целью исключения повреждения изделий, боковые стороны зубьев расположены параллельно между собой и торцовым : стенкам а на боковых стенках со стороны зубьев выполнены сквозные пазы ориентации начального и конечного положения кассеты.

Изобретение относится к транспортировке, упаковке и хранению плоских изделий, в частности к полупроводниковому производству, и может быть использовано при групповой обработке полупроводниковых пластин. Целью изобретения является исключение повреждения изделий. Кассета 1 включает боковые 2 и торцовые 3 стенки. При этом на одной торцовой стороне каждой из боковых стенок 2 выполнены пазы 8, а на другой - зубья 9, боковые стороны которых расположены параллельно между собой и торцовым стенкам 3. На боковых стенках 2 со стороны зубьев выполнены сквозные пазы 10 ориентации начального и конечного положений кассеты. 2 ил.

ю Ш. 1

10

/2

Vu2.2