Пневмоэлектрический преобразователь Советский патент 1981 года по МПК G01L7/18 

Изобретение относится к информационно-измерительной технике и может быть применено в устройствах для пре образования давления в электрический сигнал. Известен дифференциальный манометр,, содержащий V-обраэную измерительную трубку,, заполненную рабочей жидкостью, и преобразователь перемещения в электрический сигнал индукционного типа Til . Однако у этого устройства малая чувствительность.. Наиболее близким техническим реше нием к изобретению является преобразователь механических смещений и сил в электрические сигналы, содержгадий полупроводник одного типа, проводимости, на .поверхности которого расположен слой изоляционного материала окисла, и области истока и стока дру гого типа проводимости, расположенные в подложке,затворJрас юложенный на противоположной стороне подложки и металл установленный над окислом с зазором, .в котором металл может пе ремещаться, приближаясь к полупройод нику или удаляясь от него. Области истока и с.тока и затвор соединены о источниками напряжен.ия. Недостатком это.го устройства является нелинейность рабочей, характеристики во всем диапазоне перемещё-ния металла. . Цель изобретения - повышение линейности рабочей характеристики. Поставленнс1Я даотнгае-тся тем, что в известном устро Й,стве, срдержащем полупроводниковую пъдложку,-одного типа про&одимрсти, в которойрасположены области штока, и истрка другого, типа проводимо.сти и затвор, зат- вор выполнен в виде У-образной диэлек трической трубки, заполненлой электррпроводйой жидкостью и усгтановленнрй вдоль областей стока и-истока., На фиг.1 приведена конструкция пневмоэлектрического преобразователя; , на фиг.2 - разрез А-А/на фиг.1. Устройство состоит из полупроводниковой подложки 1 из кремня п-типа, в котррой расположены области истока 2, и стока 3 р-/-тип а, между и вдоль которых расположена V-образная диэлектрическая трубка 4 КЗ стекла, колена 5 и 6, котРрые соединены с вхрдным каналом 7 и каналом опорного сигнала 8 соответственно, которые подключены к узлу 9 задания сигналов. В трубке.4 установлен электрический