Изобретение относится к травлению оксидных материалов, в частности пленок на основе окиси олова, осажденных на неметаллические материалы, и может быть использовано в при боростроении.
Известен способ травления пленок на основе окиси олова, осажденных на стекло, путем их обработки разбавленным раствором плави 5овой кислоты i.
Недостатком этого способа является длительность процесса, достигающая нескольких суток.
Цель изобретения - ускорение процесса.
Указанная цель достигается тем, что предварительно пленки катодно обрабатывают в сульфатном электролите хромирования при плотности тока 1-20 А/см , а в качестве минеральной кислоты берут 15-20%-ный раствор соляной кислоты.
При электрохимической обработке в электролите хромирования происхо дит глубокое электрохимическое восстановление окисной пленки до металла, восстановление новой фазы, об-, разованной материалом подложки (кварцом, окисью алюминия и т.д.) и пленкой (так как она образует химические связи с подложкой), без ее разрушения, а также осаждение пленки
fO хрома на восстановленные атомы подложки (новой фазы). Осаждение хромового покрытия является индикатором завершения процесса электрохимической обработки. Химическая обработка в
15 растворе соляной кислоты позволяет удалить пленку хрома и восстановленные атомы новой фазы, приэтом скорость процесса возрастает более чем в 10 раз.
20
Способ осуществляют следующим образом.
Подложка из неметаллического материала, например окиси алюминия.
