Вакуумная установка для нанесения покрытий Советский патент 1981 года по МПК C23C13/08 

(54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

1

Изобретение относится к вакуумному машиностроению и предназначено для вакуумного нанесения пленочных покрытий преимущественно на изделия электронной техники.

Известна вакуумная установка для нанесения покрытий, содержащая рабочую камеру с размещенными а ней источником наносимого материала и подложкодержателем и шлюзовое транспортирующее устройство l.

Недостатком установки является ее низкая производительность и большие габариты.

Цель изобретения - повышение производительности и уменьшение габа.ритов.

Поставленная цель достигается тем, что в вакуумной установке, содержащей рабочую камеру с размещенными в ней источником наносимого материала и подложкодержателе и шлюзовое транспортирующее устройство, шлюзовое транспортирукмцее устройство выполнено в виде двух параллельных штоков, жестко соединенных между собой, рабочая камера снабжена толкателем, установленным перпендикулярно продольной оси штоков, а подложкодержатель расположен между иггоПОКРЫТИЙ

ками. Причем подложкодержатель выполнен в виде двух направляющих.

На чертеже схематически представлена вакуумная установка для нанесения покрытий.

Установка -содержит вакуумную технологическую камеру 1, технологические позиции 2 и 3 (например предварительного нагрева и напыления),

10 высоковакуумный откачной агрегат 4 и шлюзовые систекы, состоящие, например из двух входных шлюзовых камер 5 и 6 и выходных камер 7 и 8 с насосами 9 и 10 ступенчатой откач15ки, Кс1ждый из которых откачивает одновременно по две шлюзовые камеры, соответствующие давлению в камерах 6 и 7 и 5 и 8. Внутри шлюзовых камер расположено шлюзовое транспортирующее устройство, выполненное в виде штоков 11 и 12, жестко соединенных между собой поперечиной 13 и соединенных с приводом 14 возвратно-поступательного движения. Каж25дый из штоков имеет пазы 15 и 16, в которых располагаются подложки 17. Съем подложек с загрузочного штока на направляющие 18 производится толкателем 19, кинематически соеди30ненным с приводом 14. Защита зоны