Клеевая композиция Советский патент 1982 года по МПК C09J3/14 

(54) КЛЕЕВАЯ КОМПОЗЩИЯ

I

Изобретение относится к получению клеевызГ композиций, обладающих повыше1шьгми адгезионными характеристиками как в нормальных условиях, так и после воздействия водно-щелочных растворов и механических нагрузок и применяемых в производстве полупроводниковых приборов.

Известен клей 88Н, применяемый для приклейки полировальников, содержащий хлоропреновый каучук, бутилфеноЛформальдегидную смолу и др. добавки 1..

Однако, клей имеет сравнителыю длительное время высыхания (не менее одного часа). Он не обеспечивает полного снятия отработанного полировального полотна с поверхности полировальника, на поверхности полировального ;щска остаются труднорастворимые остатки клея.

Известна клеевая композиция на основе полиизопренового и бутадиен-стирольйого каучуков 2.

ГСлеевая композиция имеет достаточно высокую адгезию к металлу (500-1100 г/см), однако при воздействии на склеенные образцы

зодно-щелочных растворов с рН 14 при 40 С S течение 48 ч прюисходит отклейка образцов полировальника от металлической поверхности, Для получения качественной склейки для данной клеевой композиции требуется повышенная температура (100-120° С) в течение 5-10 мин.

Наиболее близкой к предлагаемой является клеевая композиция, содержащая сополимер буаштакрилата с вишшацетатом, адгезионную добавку - феиолформаяьдегидяую масло-растворимую смолу, касторовое масло, пластификатор-дибутилфталат и растворитель 3.

Однако, клеевая композиция не обладает стойкостью к воздействию водно-щелочной среды и механичесю1х нагрузок, которые имеются при обработке поверхносга кремниевых пластин в производстве полупроводниковых приборов.

Цель изобретения - обеспечение устойчивости к воздействию водно-щелочной среды и механических .нагрузок.

Цель достагается тем, что клеевая композиция, включающая сополимер бз тилакрилата с винилацетатом, адгезионную добавк тификатор и растворитель, содержит в ве адгезионной добавки глицериновый фумаризованной талловой канифоли с 12-13 мг КОН/Г и температурой размягч 78-8 2° С и дополнительно окись цинка следующем соотношении компонентов, Сополимер б; тилакрилата с винилацетатом100Глицериновый эфир фумаризованной талловой канифоли40-50 Пластификатор8-10 Окись цинка30-50 Растворитель30-70 В качестве пластификатора использу дибутил - или даоктилфталат, а такж сформаторное масло, в качестве раств метилэтилкетон и трихлорэтилен. Пример 1. Готовят клеевую зицию по следующей рецептуре, вес.ч. Сополимер бутилакрилата с винилацетатом100 Глицериновый эфир фзп дарнзованной талловой канифоли (ГЭФТК)40 (к.ч. 12мг КОН/Г температура размягчения 80° С) Д1я6зтш1фталат10 Окись Гцинка50 Метилзтлкетон70 Пример 2. Готовят клеевую зшцгав по сле;о щей рецептуре-, вес.ч.: Сологагмер бутипакрилата а вишша1з;етатом100 ГЭФТК45 (к. ч. 12 мг КОН/Г темпарзт)ра размягчения 80° С) 2д Дибутилфталат10 Окись цинка50 Метилэтилкетон70 Пример 3. Готовят клеевую композицию по следующей рецептуре, вес.ч.: Сополимер бутилакрилата с винилацетатом100ГЭФТК 50 (к. ч. 13 мг КОН/Г температура размягчешя 80° С) Шоктйлфталат8 Окись цинка30 Трихлорэтилен30 Во всех случаях клеевую композицию готовят смешением компонентов в эмалированном реакторе. Для быстрого получеш1я однородной смеси подогревают реактор до 40-50° С. Композицию применяют для оклейки синтетической замши и других пористых материалов с металлическими и стеклянными поверхностями. Результаты испытаний указанных в примерах клеевых композиций представлены в таблице. Предлагаемая клеевая композиция является гомогенной, стабильной во времени, обладает высокими показателями адгезионной и когезионной прочности, сохраняющейся после воздействия водно-щелочных сред с рН 14 и выше в течение длительного времени, требуемого по техпроцессу полирования полупроводниковых пластин (48 ч). Применение клеевой композиции для приклеивания полировального полотна к металлической поверхности позволит значительно повысить производательность труда и улучшить качество пластин, а также исключить из технологии полировки полупроводниковых пластин дефицитное импортное сырье.

s8 Fs

Q о 4f

; Я Я

tf O

-I rf vO ve

о

O

ГО-OO

VI |- o r t- гГ

«вч

Nna

о S -oi

Г)

9

О «оI

2 S

Л

7 8978228

Формула изобретенияГлицериновый эфир

Клеевая композиция, включающая сополиме| фумаризоваииой

бутилакрилата с вишшацетатом, адгезиоинуюталловой канифоли 40-50

добавку, пластификатор и растворитель, от-Пластификатор 8-10

личающаяся тем, что, е целью sОкись цинка 30-50

обеспечения устойчивости к воздействию водно-Растворитель 30-70 шелочной и мехаяических нагрузок,

она содержит в качестве адгезионной добавкин д,

глщериновьй эфир фумаризованной талловойИсточники информации,

, , . . - ,,,,7 .«принятые во внимание при экспертизе

канифоли с кислотным числом 12-13мг Крн/г 10

и температурой размягчения 78-i82°C и допол-1, .Кардашов Д. А, Сиитетические клеи. М.,

нительно окись цинка при следующем соотно- Химия, 1976, с. 273-276.

шении композитов, вес.ч.:. 2. Авторское свидетельство СССР № 519463,

Сополимер бутил-кл. С 09 J 3/12, 1973,

акрилата с винил- 153. Авторское свидетельство СССР № 275281,

ацетатом 100кл. С 09 J 7/02, 1969 (прототип).