Устройство для контроля параметров полупроводниковых приборов Советский патент 1982 года по МПК H01L21/66 

(54) yetРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРСв

попупрсжраниковых приветов

1

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано на операциях контроля параметров гфи климатических испытаниях в производстве полупроводниковых прибсров, имеющих сщин резьбовой вь1ход и ((шанец.

Известна конструкция панели для группового контроля параметров полупроводниковых гфибсфов при климатических пытаниях, где 1фиборы вставлены в oi верстия панели и прикреплены к ней гайками (каждый полу1фоводниковый прибор в отдельности). Полугфоводникрвые 1фиборы, укрепленные на панели, электродами вст 1влены в ножевые контакты изоляционной платы. В совокупность панель и контактная плата представляет собой устройство обеспечивающее электрические и тепловью режимы контрол фуемых полупроводниковых гфиборов 1

Устройство требует больших затрат ручного труда для ориентации и креплени полупроводниковых 1фиборов к панели.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство для контроля п 5 аметров полупроводниковых 1Ч абС1ров, на1Ч)имер стабилитро- , нов, содержащее сюнование, на котором установлены контакт адиатор с отверстиями для размещения полупроводниковых приборов, нащ}авляющие к торцовые подфужиненные контакты 2j.

Недостаток известного устройства низкая производительность контроля. Кроме того, оно херактеризуетсй недостаточной надежностью контактирования полу- 1ФОВОДНИКОВОГО 15)Ибора с контактомрадиатором.

Цель изобретения - повышение производительности контроля и надежности теплового и электрического контактирования. Цель достигается тем, что устройство для контроля п аметров полупроводниковых приборов, сод жащее основание, на котором установлены контакт -радиатор, с отверстиями для раэмещення полу1ФОВОДНИКОВЫХ гфиборов, направляющие и терцовые подпружиненные контакты, снаб жено прижимной платой с отверстиями, соосными отверстиям контакта-радиатора Щ)К этом прижимная плата установлена на нагфавляющих и в ее отверстиях закреплены компенсационные втулки, а подпружиненные торцовые контакты .установлены в плате, жестко связанной с прижимной платой, и соосны отверстиям контакта-фадиатора и тфижимной ппагы. На фиг. 1 изображено устройство для контроля параметров полупроводниковых гриборов, исходное положение; на фиг. 2 то же, рабочее положение. Устройство для контроля параметров полупровоаниковых приборов содержит основание 1 с запрессованными в него направляющими 2, проходящими через прижим 3, с нижней металлической прижимной платой 4 и жестко связанной с ней верхней изоляционной платой 5. В отверстиях прижимной платы установлены компенсационные втулки 6, а в отверсти ях верхней - торцовые подгфужиненные контакты 7, опирающиеся своими головками на пружины 8. Платы 4 и 5 жестк соединены при помощи винтов 9. Прижим 3 лежит на гфужкнах 10, надетых на направляющие 2. Контакт-радиатор Не испытуемыми стабилитронами 12 встав- лен в паз основания 1. СооснВсть испытуемых стабилитронов 12 с отверстиями прижима 3 в рабочем положении контакт радиатора 11 обеспечивается упорной плоскостью 13. Предлагаемое устройство работает следующим образом. От приложенного вертикального усили 3 перемещается вниз по направ- ляюшим 2, сжимая пружины 1О. При этом прижимная плата 4 через компенсационные втулки 6 передает усилие на фланцы стабилитронов 12, прижимая их к контакту-радиатору 11, который, в свою очередь, прижимается к пазам основания 1. Одновременно через подпружиненные контакты 7 осуществляется электрическое соединение вторых электродов стабилитронов 12 с испытательной установкой. Выполнение прижима в виде двух взаимосвязанных плат позволило осуществить соединение фланцев полупроводника вых приборов с контактом-рЕщиатором и соединение второго электрода с установкой с разными прижимными усилиями, отличающимися по величине в несколько раз. Применение компенсационных втулок обеспечивает равные прижимные усилия на фланец каждого из испытуемых полупроводниковых приборов, отличающихся высотой в пределах допуска. Все это позволяет повысить производительность контроля и надежность контактирования. Формула изобретения Устройство для контроля параметров полупроводниковых приборов, например табилитронов, содержащее основание, на котором установлены контакт-радиатор, с отверстиями для размещения полу- 1ФОВОДНИКОВЫХ гриборов, направляющие и торцовые подпружиненные контакты, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности контроля и надежности теплового и электрического контактирований, оно снабжено трижимной платой с отверстиями, соосными отверстиям контакта-радиатора, при этом прижимная плата установлена на направляющих и в ее отверсти5« закреплены компенсационные втулки, а подщзужиненные терцовые контакты установлены в плате, жестко связанной с прижимной платой и соосны отверстиям контакт- эадиатора и прижимной платы. Источники информации, 1фИнятые во внимание при экспертизе 1.Установка изотермическая УТ. 14О. ООО. ООО. ТО. 1962. 2.Авторское свидетельство СССР № 512515, кл. Н OIL 21/2О, 1973 (гфототип).