Спеченный материал на основе молибдена Советский патент 1982 года по МПК C22C27/04 

() СПЕЧЕННЫЙ МАТЕРИАЛ НА ОСНОВЕ Изобретение относится к порошково металлургии, в частности к спеменным материалам на основе молибдена, используемым для изготовления узлов электровакуумных и полупроводниковых приборов. Известен спеченный материал на ос нове молибдена и меди 1 . Недостатком этого материала является высокая анизотропия коэффициента линейного термического расширения в деформированном состоянии. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемо му эффекту является спеченный матери ал 2 на основе молибдена следующего состава, вес.%: Медь Никель 1,3-3,0 Кобальт 0,3-1,0 Молибден Остальное МОЛИБДЕНА Недостатком известного материала является высокая анизотропия коэффициента линейного термического расширения в деформированном состоянии. Известный материал, полученный прокаткой смеси порошков на толщину ltO,2 мм, последующим спеканием в водороде при 1200°С и повторной прокаткой до толщины 0,2 - 0,02 мм с промежуточными отжигами при , имеет следующие значения коэффициентов линейного термического расширения вдоль и поперек направления прокатки, (0)1 град- : при 100°С, вдоль 90, поперек 87, А« --13; при 200С, вдоль 87, поперек 102, Aci -15; при , вдоль 89, поперек 101, До.-12г при ijOO C, вдоль 86, поперек 102, Ас/. -16; при 500°С вдоль 85, поперек 103, А«С-18. Высокая анизотропия коэффициента линейного термического расширения известного материала в деформированном состоянии приводит к нарушениям

герметичности в металлокерамических спаях электровакуумных приборов при знакопеременных температурных нагрузках, а также и короблению корпусов полупроводниковых приборов и нарушению параметров их работы,

Цель изобретения - снижение анизотропии коэффициента линейного термического расширения материала в деформированном состоянии.

Поставленная цель достигается тем, что спеченный материал на основе молибдена, содержащий медь, никель и кобальт,дополнительно содержит цирконий и бор при следующем соотношении компонентов, вес,:

k2-kk

2-4

0,3-0,7 0,2-0,7 0,05-0,2 Остальное

Уменьшение крайних значений циркония и бора приводит к увеличению анизотропии по КЛТР, Увеличение добавок циркония и бора более, чем на 0,7 и 0,2 вес.% соответственно не

приводит к снижению анизотропии по КЛТР -и одновременно ухудшает пластические свойства сплава.

Пример . Порошки исходных компонентов смешивают в шаровой мельнице 10 ч, прокатывают на стане Дуо-170 с вертикальной прокаткой на толщину 1±0,2 мм, спекают в среде водорода при 1200°С kQ мин и прокатывают на стане Кварто 110 до толщины 0,2-0,02 мм с промежуточными отжигами при 900°С.

В таблице приведены составы предлагаемого материала и значение коэффициента линейного термического расширения материала в деформированном состоянии вдоль и поперек направления прокатки.

0 Как следует из приведенных в таблице данных, предложенный спеченный . материал на основе молибдена обеспечивает в сравнении с известным материалом снижение коэффициента линейного термического расширения материала в деформированном состоянии более, чем в 2 раза.

Снижение анизотропии коэффициента линейного, термического расширения

позволяет повысить выход годных полупроводниковых приборов на 20%.

00

о

о

тч

со «т

IV.

(Т

00

00

п

п

о оч

1Л

а

10 о

t;5

о «5

о и

сч

о

о о

о

ч

ГГ

J

90530,

формула изобретенияКобальт 0,3-0,7

.Спеченный материал на основе мо-Цирконий 0,2-0,7

либдена, содержащий медь, никель иБор 0,05-0,20

кобальт, отличающийся5

тем, что, с целью снижения анизотро-Молибден Остальное ПИИ коэффициента линейного термического расширения в деформированномИсточники информации, состоянии, он дополнительно содер-принятые во внимание при экспертизе жит цирконий и бор при следующем со-О , „ отношении компонентов, весД:,„ Лпп Г° ° свидетельство СССР

Медь /t2-i 309062, кл, С 22 С 27/0 1Э69.

Никель 655739, кл. С 22 С, 27/0, 1978.

2. Авторское свидетельство СССР