Токосъемное устройство для контроля электрических параметров микросхем Советский патент 1982 года по МПК H01H29/04 

t

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для контроля электрических параметров электросхем.

Известно токосъемное устройство для контроля электрических параметров микросхем, содержащее токоподводящий элемент, взаимодействующий с контактной площадкой микросхем и вьшолненный в виде иглы, изготовленной из бронзы, которая с некоторым усилием устанавливается на контактной площадке l .

Недостатком такого устройства являетсй нестабильность контактных характеристик, обусловленная нестабильностью контактного нажатия, притуплением игл11, образованием царапин на контактной площадке, наличием ркисных пленок, как на самой игле, так и на контактной площадке и т.д.

Целью изобретения является обеспечение стабильности контакт1Л1х характеристик.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве, содержащем токподводящий элемент, взаимодействующий с контактной площадкой микросхемы, указанный токоподводящий элемент выполнен в виде герметичного сосуда с капиллярной трубкой ,на конце, заполненного жидким металлом, а контактная площадка микросхемы покрыта плёнкой пироуглерода.

10

На чертеже представлено конструктивное выполнение устройства.

Устройство состоит из токоподводящего элемента, выполненного в виде

15 герметичного сосуда -1 с трубкой капиллярного сечения на конце. Сосуд 1 заполнен жидким металлом 2, в который погружен своим концом электрод 3, другой конец которого под20ключен к измерительной аппаратуре. Давление в сосуде 1 регулируется любым извесным способом. Жидкий металл 2 взаимодействует с контакт3ной площадкой 4 микросхемы через пленку пироуглерода 5. Устройство работает сле;ду1ощим образом. В исходном состоянии жидкий метал 2 полностью находится в капиллярной трубке сосуда и контактная система разомкнута. Для замыкания системы увеличивают давление в сосуде с помощью устройства .для регулирования давления. При этом на конце капилляра образуется капля жидкого металла, с помощью которого осуществляется электрический контакт с контактной площадкой 4 микросхемы через защитную пленку пироуглерода 5. При этом 7ок течет через контактную площадку 4, жидкий металл 2,.твердометалличес кий электрод 3 к контрольно-измерительной аппаратуре. После снятия необходимых электрических параметров уменьшают давление в сосуде 1, капля втягивается в капил ляр, и контактная система приходит в исходное состояние. На конце капиллярной трубки в месте непосредственного контакта жидкого металла с атмосферой образуется окисная пленка, которая разрушается в момент контактирования с площадкой микросхемы за счет увеличения площади поверхности капли, что приводит к кон тактированшо через чистый жидкий металл. С другой стороны, пленка пиро8углерода, которая наносится в вакууме на контактную площадку микросхемы, не позволяет окисляться последней и предохраняет ее от химического взаимодействия с жидким металлом. Совокупность указанных признаков позволяет осуществлять неразрущающий контроль микросхем и обеспечить стабильность контактных характеристик. Формула изобретения Токосъемное устройство для контроля электрических параметров микросхем содержащее токоподводящий элемент, взаимодействующий с контактной площадкой микросхемы, отличающееся тем, что, с целью обеспечения стабильности контактных ха рактеристик, токоподводящий элемен выполнен ввиде герметичного сосуд с капиллярной трубкой на конце, заполненного жидким металлом, а контактная площадка микросхемы покрыта пленкой пироуглерода. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Смирнов В.И., Матта Ф.-О. Теория и конструкция контактов в электронной аппаратуре. М., Советское радио, 1974.

К контрольно (MSpumf.bHOd

О-ппаратуре

К ycmpoucrriSy -. Вл9 ffeiu/iu/tofaHif в а Б/1 сн и ft

I

odflo t a