Установка для сварки давлением Советский патент 1982 года по МПК B23K20/16 

(St) УСТАНОВКА для СВАРКИ ДАВЛЕНИЕМ

, Г

.Изобретение относится к сварке давлением, в частности к оборудованию для ее выполнения.

Известна установка для сварки давлением, содержащая вакуумную камеру с крышкой Для загрузки и выгрузки деталей, имеющую возможность вертикального перемещения, и столом для свариваемых деталей, нагреватель,систему передачи давления на свариваемые детали, состоящую из привода давления и двух штоков П.

Недостатком установки является невозможность получения качественного соединения кремния со стеклом при температуре iOO°C.

Наиболее близкой к изобретению по технической сущности и достигаемому эффекту является установка для сварки давлением, содержащая вакуумную камеру с крышкой для загрузки и выгрузки деталей, тепловыми экранами и столом для свариваемых деталей, электрический нагреватель, систему

передачи давления на свариваемые детали, состоящую из привода давления и верхнего и нижнего штоков 2.

Недостатком установки является невозможность ее использования для сварки кремния со стеклом в электрическом поле высокого напряжения.

Целью изобретения является обеспечение возможности сварки кремния со стеклом в электрическом поле высокого

10 напряжения..

Поставленная цель достигается благодаря тому, 4то установка для сварки давлением, содержащая вакуумную камеру с крышкой для загрузки и

15 выгрузки деталей, тепловыми экранами и столом для свариваемых деталей, электрический нагреватель, систему передачи давления на свариваемые детали , состоящую из привода давления

20 и верхнего и нижнего штоков, снабжена изолятором и токоведущими шинами, причем крышка камеры выполнена из изоляционного материала, изолятор введен в дно камеры, верхний шток закреплен в крышке, нижний шток установлен-в изоляторе с возможность перемещения вдоль его продольной оси, а токоведущие шины подключены к штокам. Для обеспечения равномерного на1 ревасвариваемых деталей в столе для деталей выполнено центральное коническое отверстие, а на конце нижнего штока - соответствующий ему конический выступ, а для удобства проведени загрузочно-разгрузочных работ стол для свариваемых деталей жестко соединен с крышкой.. На чертеже показана схема устройства. Установка для сварки давлением содержит вакуумнуй камеру 1,с крышкой 2 для загрузки и выгрузки детале 3 из кремния и стекла, тепловыми экранами 4.и столом 5 для свариваемых деталей 3, электрический нагреватель 6, систему передачи давления на.сва риваемых деталей 3, состоящую из при вода давления, выполненного в виде пружины 7 и верхнего 8 и нижнего 9штоков. Установка снабжена также изолятором 10,введенным в дно камеры 1, и токоведущими шинами 11. Верх НИИ шток 8 закреплен в крышке 2, нижний шток 9 установлен в изоляторе 10с возможностью перемещения вдоль его продольной .оси, а токоведущие шины 11 подключены к штокам В и 9 винтами 12. В ртоле 5 для деталей 3 выполнено центральное коническое отверстие -13) а на конце нижнего штока 9 - соответствующий ему конически выступ 1А. .Стол 5 для свариваемых де талей 3 жестко соединен с крышкой 2 при помощи консоли 15, опирающейся на изолирующую втулку 16. Верхняя пружина 7, установленная на верхнем штоке 8, со стороны крышки 2 опирает ся в муфту 17 с винтом 18, а с проти воположной стороны - на пуансон 19Введение изолятора с юковедущей шиной и выполнение крышки из диэлектрического материала позволяет обеспе чить возможность сварки кремния со стеклом в электрическом поле высокого напряжения, и снизить температуру общего подогрева деталей до «ОС. Выполнение в столе конического о.тверстия, а в нижнем штоке соответствующего ему конического выступа позволяет осуществить центровку свариваемых Деталей относительно нагревателя . Жесткое соединение стола для свэ риваемых деталей с крышкой позволяет осуществить загрузку и разгрузку свариваемых деталей вне камеры. Работа установки заключается в следующем. Крышку 2 с деталями 3, установленными на стрле 5, вставляют в камеру 1 и.герметизируют ее. Затем через трубопроводы 20 или 21 создают в камере установки необходимую атмосферу (вакуум, нейтральную или слабоокислительную атмосферу), включают электро- двигатель 6. По достижении необходимой температуры () на детали 3 через токоведущие шины 11 подают высокое напряжение (1,0-3,0 кВ) от источника постоянного тока. По истечении определенного времени выдержки ( мин) подачу напряжения прекращают, а также отключают электронагреватель 6. Детали остывают в камере 1 до температуры 100-150°С, а затем их извлекают. Установка позволяет получить качественные соединения -кремния со стеклом при изготовлении полупроводниковых приборовв электрическом поле высокого напряжения при температуре 350- 50°С. Формула изобретения 1.. Установка для сварки давлением, содержащая вакуумную камеру с крышкой для загрузки и выгрузки деталей, с тепловыми экранами и столом для сва риваемых деталей, электрический нагреватель, систему передачи давления на свариваемые детали, состоящую из привода давления и верхнего и нижнего штоков, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения возможности . сварки кремния со стеклом в электрическом поле высокого напряжения, она снабжена изолятором и токоведущими шинами, причем крышка камеры выполнена из изоляционного материала, изолятор введен в дно камеры верхний шток закреплен в крышке, а нижний шток установлен в изоляторе с возможностью еремещения вдоль его продольной си, а токоведущие шины подключены штокам. 2. Устанёвка по п. 1, о т л и ающаяся тем, что, с целью