Способ химической полировки монокристаллов титаната стронция Советский патент 1982 года по МПК C30B33/00 C30B29/32 

(54) СПОСОБ ХИМИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИ МОНОКРИСТАЛЛОВ

ТИТАHATА СТРОНЦИЯ

.

Изобретение относится к области электронной техники и может быть ис« пользовано, например, для и;зд;отовпёния нелинейных конденсаторов, работающих прп криогенных температурах.

Известен способ обработки поверх нести монокристаллатитаната ctpouKtut с плоскостью ориентации (ЮО) раствором едкого кали при 410-7tO°C М.

Недостатком известного спосЬба яв- ляется невозможнсють осуществления полировки поверзшости, так как раствор ок 1зывает травящее воздействие.

Наиболее близким к тфедлагаемому является способ химической полировки моно1фисталлов титаната бария, включа юший обработку кристалла нагретым раоtэQp м ертзфшф нзй кнбпбтм м@щяваннй t23

М@в@@та кем §т@Г€ @ Ш€@@§ ei e@fea те, что @н яримевим теяькв акя течечи

ной обработки Кристалла и не позволяет достигать высокой чистоты обработки поверхности.

Цель изобретения - повыщение чистоты 1обработки поверхности.,

Поставленная цель достигается тем, что химическую noniqaoBKy монокрис таллов тотаната стронция с плоскостью орие}ггаиии (ЮО) осуществляют 70- . 87 вес.%-ным водным раствором орт« фосфорной кислоты, нагретым до 180200С, в течение 20-25 мин гря ращения 7ОгвО об/мин.

to

Пример. Проводят полировку поверхности монокристалла tHTaHaTa строи- дня c.juiocKocTbra орневтацив (10О) фосфорной кислотой разной концентрации при 18О-20О С, время обработки 2О-25 мин.

IS

лРезультаты пол1фовки хфедставлены в

т§бввд§,

Ksieefsease swifffy §%ilefRH neeepj ш@7Я , шй@рф(Щ1;вшым

Ч@@1ШМ Mef@||@M и М@тед@М ), Последний показал, что травление поверхности кристалла щюведено полностью. Вид электронеграм мы соответствует электронограмме, которая получена с иоверхлости, имеющей атомарные гладкие участки.

Применение предлагаемого способа химической полировки обеспечивает высокую чистоту обработки поверхности, гфостоту технологического цикла, т.е. более высокую температуру травления, высокую вос1фоиаводимость параметров. Кроме того

формула изобретения , Способ химической полировки моно«кристаллов титаната стронция с плоскоетью ориентации (ЮО), включающий обработку поверхности нагретым раствором ортофосфорной кислоты Щ)Н вращении, ОТ личающийся тем, что, с целью повышения чистоты обработки поверхности, 1роцесс осуществляют 7 087%-ным (вес.) водным раствором ортоколебаний температуры порядка ыескол. ких градусов в гфоцессе обработки Крис- тагша не влияют на результат попирукх щего травления.

Нелинейные конденсаторы, созданные на основе монокристаллов титаната стронция, обработанных предлагаемым способом, существенно повысили диэлектрические характеристики и стабильность.

фосфорной кислоты, нагретым до 18О200°С в течение 2D-25 мин и при враще1ши со скоростью 70-80 об/мин.

Источники информации, гринятые во внимание при экспертизе

1 .UH.,j.o AmerUdn Cerci,ыс. soc., l«bb,.C02, Хирщ П. Электронная, .-микроскопия тонких кристаллов. М.,Л1ир, 1968, с. 478 (прототип),