Состав для очистки поверхности монокристалла титаната стронция Советский патент 1984 года по МПК C03B33/00 C03B29/32 

изобретение относится к sjfCKTpunss;);; с-нкке и может быть использовано ; п(1.;ессс

ч.

изготовления нелинейных конденса ч рои работаюидах при криогет ых темпер;пуг1;;х..

Для изготовления НК использукзт hTOiiOKjn таллы титалата стронция, разрезаппьк: n;i пз.п тины ориентации (100), (ПО) или (ИГ:. П ле нарезки монокристаллов на гглагггпп-.;, к-; шлифовки на поверх1юсти остаются 3ai ния в виде жиров, полиропочнь х гшст. noi-;-зивов, охлаждаюгцих эмульсий is др. Эп; ии; родные слои необходимо тщательно ,, так как самый незначителып.ш слои зшпизпг НИИ на ловерхности сундест1 ен} 0 снп 1С;цт е-;кость и диэлектрическую пронр цаемост1 копденсаторов, повьнлает ди лeктpн recкиe г:о1Ч:.ч

Таким образом, одной из впжп;.; Jcxiioj;:) гических операний при изготовлении НК является очистка поверхности монокрксталл ;ческих лластин титаната стронция, кгторая необходима и перед х} мической пол;,ров;;ч1 ,криста;шов.

Известен слосоЬ оОраОогки HoiJcr/xnocTs;: монокристалла титаната стронги;, « слмчаюпи последовательную пролзывку в кзшягиих птя-анических растворителях frojiyo.uc, гшсюне, изопропиловом спирте) и четыреххлопи1;гом углероде 1.

Недостатком способа является ня.лса.я степе1 ь очистки поверхности монок 1;-;ск ч,-:5 ческих пластин, а также токсичное Ь и oiiie (Зпасность используемьгх раствори .

Наиболее близким iro тсхнмческол суигюс к предлагаемому является состав к;:я поверхности монокристаллов титалати с-с-:.-: содержащий, м:ас.%: щавелевая ;.п;с;{и-;; ,;. 40,5; перекись водорода 0.37 -- 2...;. остальное. Этот состав обесиечивасг ггС-Г)-/-;; ./ ; чистоту поверхности мо1юкриста; ;ии iM;;u aj : стронция ориегпации (100) и (;;()) ; .

Недостаток известного состав r-i--. том, что он взаимодейсть L i фической плоскостью (1 i i i чего гладкая поверхность и iii i матовой, шероховатой.

Целью изобретения является искл;(сг;ц травления по кристаллогра(Ь1- чес1С1 -,1 гим/к .:;

1ЯМ.

Поставленмад сль достигается , тгп

СОСТаВ для очистки ЮВерХН(СТИ MOii(JKi: c;4l.лов титаната стронция после механн со -.-;й работки содержит кислоту и воду, ii;vi4e:v ;:,ополнительно содержит синта 1ол, а н :ч: 1:ес:;

Ь:ИСЛОТ;Ы - ОрТОфос4) КисЛ-ОГ-/ Д-Л; ;.,:;:

Гуюп1ем cooTHouieiufflкомлонентон. ми;.:.:: Ортофосфорная

кислота5-./5 5

Ги1 танол1 3

ВодаОстальное

Ovji очл;: ::ц л:о -OKp icTajTjiM4ecKifx штастин iiii :-;;::ai;-:pOJ i, содержащим 5--3S мас.% (нр::к-; 10: нгч| iifrurrbi к 1--3 мас.7 синтаноlOfb ;чн(н:р, л-пнокристаллов титаната ctpOH: iTHCinjMirn (МП, (ПО) и (100) ,оста i; :-aKo i л плестждей. При увеличении оржалкя о : и1фосфо)1юй кислоты 35 мас. oiop фкгил кг1Ис1аллогра(1ическу о плоскост Craj:;::- (hi;, гтрезращая юлированную crixiiocTb и нгсрохорштуш. При содержании :1|) кислоты ч 5 мас.%, а си1тга- i .;а(: |:;аствор не очищает лолносч(л ;рх}() :) ; кристалла от загрязнений. i) jj:34:Fx христалль лепригодньЕ для .члз спи;: ;;: них ПК, Введение в могоишй :а:; {илтаисл:; S 3 Mac.i нецелесообразно,

хяк ip;; затруд;1яется удаление р;;с:;:лла сххглтков мотонюго состава, котоliiHii;r:ji,:j ;;:. последней СТОДИИ ОЧИСТКИ Оуv:jiO X cK ;i :r:f: пнсгк;глпв дисткллированхо; 1 у,:

р I м с I ;. Ми1К)крис7аллические .:х1-:Нп гигалйса стропиля )азмерами л-.х .-l5 г, и- с 1сриста1глографической Л aiL.vicii лл(скос1;-1 (111) обрабатывают ixisov:, ссл., мас.%: ;рт;.)фп|;(()ги:1{1 :сяслотп5

ппталол3

-х-).а92

х;с- пи,: i: xi; ; jTXJbiiiriKi: ;.стиллированной

- у х- : 1 I н 3. МонокристаллиX.: lacxxix. 7х;танатг строндия ориентаци : 0, х ( ilj обрабатывают посте X хп:;;.-чхпх -: ;)4x;i;an);.uii:M составом, как -х.ч- . XS. с6г;абсткк luiacBSHF.i ориен.x xxxKxiv::vxi:: xn.iXiOTa20

78

т(ль-.1овал;1С ||редлагаемоПС1Лучить конденсаторы -iMxcKHiviH харгктеристи: 1 то И1шемость 38220 ,5- 5,5 л истерезис-О-15 IB пезврсдси. неогнеопаMijicio воздгйсгвия на нлосЛЛ01; ти-маната строндия.

СОСТАВ ДЛЯ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТА,ПЛА ТИТАНАТА СТРОИ . ЦИЯ после механтеской обработю. содержащий кислоту и воду, ОТЛИЧИ Ю Щ и Йс я тем, что с целью исюпомения травлет я по кp lcтaллorpaфliчecки плоскостям, он дополи тельно содержит синтанол, а в качестве кислоты - ортофосфорную кислоту при следующел соотношении компонентов, мас.%: Ортофосфорпая кислота 5-35 1-3 Сиитшюл Остальное Вода