Состав для очистки поверхности монокристаллов титаната стронция Советский патент 1983 года по МПК C30B33/00 C30B29/32 

. - . Изобретение OTHocHavcfl к электронной технике и может быть использовано, на пример для изготовления нелинейных I . конденсаторов (НК).работакнцнх при кри огенных температурах. В современной электронной технике ; для изготовления НК используются монокристаллнческие пластины титаната строн ция. При изготовлении НК одной из важных операций является удаление механических загрязнений на поверхности после резки монокристаллов на пластины, их шлифовки и полировки. Известно, что диэлектрические характеристики НК в значительной степени зависят от способа очистки поверхности монокристаллов, так как после самой тщательной механической обработки монокристалла всегда остается поверхностный слой загрязнений, который существенно снижает диэлектрические характер рис тики НК. Нбиб( близким к предлагаемому по технической сущности является состав ,дпя очистки поверхности монокристаллов титаната стронция, включакхций органические растворители: толу-ол, ацетон, изопропиловый спирт и четыреххлористый углерод, в которых кристаллы обрабатывают последовательно при температуре кипения растворителя tl 3 Недостатки известного состава состоят в том, что применяемые компоненты огнеопасны и токсичны и степень очистки поверхности монокристаллов титаната стронция недостаточно высока. Цель изобретения - снижение токсичности и огнеопасности и повышение качества очистки. Поставленная аель достигается тем, что состав для очистки поверхности монокристаллов титаната стронция, соаержащий органический растворитель, дополнительно содержит перекись водорода и воду, а в качестве органического растворителя - щавелевую кислоту при следующем соотношении компонентов, мас,%:. 1,6-40,5 Ш авелевая кислота Перекись водорода 0,37-2,25 Остальное Вода Концентра1шя и{авелевой кислоты в растворе должна быть в пределах 1,6-40,5 мас.%, перекиси водорода, 0,37-2,25 мае. %, При меньшем содержании компонентов в растворе состав теряет свою активность. При превышении указанной концентрации одного из компонентов раствор взаимодействует не тол. .кр с адсорбированным слоем загрязняющих веществ, но и с самим кристаллом, превращая его полированную поверхность в матовую. После обработки такими составами кристаллы непригодны для приготовления из них конденсаторов, поэтому их диэлектрические характеристики получить невозможно.

Диэлектрические характеристики НК 9 14 Отпадает необходимость в специальном оборудовании (вытяжной шкаф с вентиляцией, устройство для обработки кристаллов, парами четыреххлористого углерода), так как четыре токсичных и огнеопасных растворителя заменяются одним безвредным и безопасным в работе водным patTBopOM щавелевой кислоты и перекиси водорода. Пример, Очистку поверхности монокристаллов титаната стронция после нарезки их на пластины, шлифовки и полировки проводят в кипяшем водном растворе щавелевой кислоты и перекиси водорода. Составы растворителей и диэлектричес|сие характеристики НК, изготовленных из Монокристаллических пластин титаната стронция, обработанных этими растворами, представлены в таблице.

Щавелевая

1,63 кислота

4510-4

583О

Перекись . водорода2,25

Остальное

Вода

3,37

28-106120

0,37 Остальное

Щавелевая кислота4О,5

55-10 4

1,47 Остальное

Предлагаемый состав обеспе«1ивает $8кими характеристиками, и безвреден и

требуемую чистоту поверхности монокрис-безопасен в работе, тогда как приметаллов, необходимую для изготовленияняемый состав токсичен и огнеопчконденсаторов с высокими диэлектричес-сен.

3,33

3,24

2,9

1,5

2,9

7,2 5 9986 формула изобретения Состав для очистки поверхности монокристаллов титаната стронция, содержапшй органический растворитель, отличающийся тем, что, с цельюs снижения токсичности и огнеопасности и повышения качества очистки он дополнительно содержит перекись водорода и воду, а в качестве органического растворителя - щавелевую кислоту следующем соотношении компонентов, мае. %:. . 14 Щавелевая кислота 1,6-40,5 Перекись водорода 0,37-2,25 Вода Остальное Источники информации, принятые во внимание при экспертизе Каратун Л. Т., Климов В, А., и Лихолетов Ю. В. Изготовление МДМструктур, на основе монокристаллов титаната стронция. Известия ЛЭТИ им. В, И, Ульянова (Ленина), 198О, вьш. 279, с, 66 (прототип).