Полировальный состав для обработки германиевых пластин Советский патент 1982 года по МПК C09G1/02 

(54) ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ СОСТАВ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ГЕРМАНИЕВЫХ

1

Изобретение относится к полупроводниковой технике,.в частности к технологии полировки полупроводниковых пластин.,

Известен полировальный состав длж обработки германиевых пластин, содержащий водный раствор горчицы, углекислый аммоний, перекись водорода и абразивный наполнител -аэгюсил р.

Однако из-за наличия в составе аэросила, который очень гигроскопичен, происходит ухудшение качества пластин и процесс полирования нестабилен.

Цель изобретения - повышение качества полируемых пластин.

Эта цель достигается тем,что состав, содержащий водный раствор горчицы, углекислый аммоний, перекись водорода и полируемый компонент, в качестве абразивного наполнителя содержит алюмосиликат при следующем соотношении компонентов, вес.:

ПЛАСТИН

Раствор горчицы 5-25 Углекислый аммоний 4-20 Перекись водорода 2-10 Алюмосиликат 4-20 ВодаОстальное

Исключение аэросила из сферы производственной деятельности и замена его Нетоксичным алюмосиликатом значительно улучшает условия труда рабочих. В отличие от азросила алюмосили10кат менее летуч, так как удельный вес его в 3 раза больше. Он менее гигроскопичен, что обуславливает стабильность процесса полирования и воспроизводимость его результатов.

15 Следовательно, использование-в предлагаемом составе для химико-механической пблировки в качестве полирующего компонента алюмосиликата обеспечивает нетоксичность предлагаемого

20 состава и необходимое качество поверхности. Указанные соотношения компонентов обеспечивают хорошее качество полирования, так как алюмосиликат дает в щелочной среде достаточный съем подкисленного перекис водорода материала, а горчица обеспечивает необходимую по чистоте поверхность. Для полирования германиевых плас тин до чистоты поверхности }k класса, приготавливают состав для химик механической полировки, состоящий из алюмосиликата (алюмосиликатный наполнитель) - kQ ч. ( весД); горчицы - 50 ч (5 вес.%); углекислого аммония - «О ч (4 весД); пере киси водорода - 20 ч. (2 вес.); воды - 850 ч. При приготовлении предлагаемого состава в теплой дистиллированной воде (t АО-50 С) растворяют горчи ный порошок до полного его растворе ния. Горчичный раствор остаивают не менее 2 ч и фильтруют через батист. Затем приготавливают раствор углекислого аммония, предварительно измельченного в ступке. Расчетное колимество углекислого аммония также растворяют в дистиллированной воде и фильтруют через слой ваты. Для приготовления состава в дистиллированную воду вливают растворы горчицы и углекислого аМмрния и добавляют взвешенное количество алюмо силиката через капроновое сито. В полученный состав добавляют перекис 54 водорода. Приготовление состава осуществляют в вытяжном шкафу. Химикомеханическую полировку, например, германиевых пластин осуществляют на стенках ЖК И.09. Режимы полировки: скорость вращения полировальника 70-80 об/мин; скорость подачи состава 80-100 кап/мин; удельное давление 60-70 ориентировочный съем материала 0,30,1 мкм/мин. Пластины после химико-механической полировки обмывают раствором поверхностно-активного вещества и сушат на центрифуге. После химико-механической полировки пластины подвергают селективному травлению. Германиевые пластины, обработанные предлагаемым составом, имеют чистоту поверхности 1 класса, зеркальную, бездефектную поверхность (без наличия рисок, царапин, алмазного фона, углубления). Использование предлагаемого состава позволяет повысить процент выхода годных пластин на операции селективного травления с 55% до 75%. Предлагаемым составом в различном соотношении компонентов можно обрабатывать пластины из различных материалов. Составы, используемые для обработки различных материалов, приведены в таблице.

Предлагав

12

15

As, In

Из таблицы ВИДНО, что предлагаемый состав для полировки обеспечивает необходимое качество полированной поверхности пластин из радиальных полупроводниковых материалов и значительно увеличивает процент выхода годных пластин по сравнению с известным состабом.

5S I Зеркаль-Без ри- 72

Технико-экономическая эффективность предлагаемого состава для полировки заключается в обеспечении нетоксичности процесса полировки и получения процента выхода годных пластин значительно выше, чем при ранее применяемых составах и составляет 75. 5937 95 Формула изобретения Полировальный состав для обработки германиевых пластин, содержащий водный раствор горчицы, углекислый аммоний, перекись водорода и абразив- i$ ный наполнитель, отличающийся тем, что, с целью повышения качества полируемых пластин, он в качестве абразивного наполнителя содержит алюмосиликат при следую- 10 щем соотношении компонентов, весД: при 809 Раствор горчицы 5-25 k-ZQ Углекислый аммоний Перекись водорода 2-10 Алюмосиликат Вода Остальное Источники информации, нятые во внимание при экспертизе 1. Техньлогическая карта ЖКО 028 ТК, 1978.