Способ изготовления перфорированных шаблонов Советский патент 1982 года по МПК G11C5/02 

Изобретение относится к способу изготовления перфорированных шаблонов, состоящих из нескольких пластин перфорированной фольги, преимущественно, из металла. Такого рода шаблоны служат, напр мер, . для ориентирования сердечников при изготовлении матриц запоминающих устройств (ЗУ), используемых в электронных вычислительных машинах. Перфорированные шаблоны, состоящие из нескольких пластин перфорированной металлической фольги, называемой далее просто фольгой, применяются для выравнивания кольцевых запоминающих сердечников матрицы ЗУ Послойное построение такого рода шаблона необходимо потому, .что для надежного ориентирования сердечников каждый отдельный сердечник должен находиться в ориентирующей щели имеющей форму, как можно более приб лиженную к воронкообразной. Так как эти кольцевые сердечники имеют диаметр всего несколько долей миллиметра, технологически было бы сли ком сложно изготавливать эти воронкообразныс ориентирующие mojrn н однослойном перфорированном шаблоне. Перфорация нескольких пластин фольги производится фотолитографическим способом и путем травления. Известные технические решения для соединения этих перфорированных пластин фольги друг с другом -это склепывание, пайка либо сварка. Технология склепывания перфорированного шаблона для ориентации сердечников является обычной. Но, так как для склепывания используется только край фольги, то. расположенные дальше от края перемычки мезвду ориентирующими щелями друг с другом механически прочно не связаны и в следствие механического давления, возникающего при ориентировании сердечников, возникает коробление отдельных, расположенных друг над другом слоев фольги, так что перфорированный шаблон по истечении короткого времени становится непригодным к работе, так как по технологическим причинам должна соблюдаться постоянная толщина перфорированного шаблона. Кроме того, между отдельными слоями фольги скапливаются вследствие коробления отдельные кольцевые сердечники, которые не поддаются бо лее удалению и ведут к быстрому выходу из строя дорогостоящего перфорированного шаблона. Другая возможность соединения этих пластин фольги может осуществлиться спаиванием или свариванием. Недостаток этого способа состоит в том, что, начиная с небольшого размера ориентирующей щели, происходит закупоривание перфорационных отверстий припоем, так что такого рода шаблон не пригоден к работе. Тем .самым, этот способ также не соответ ствует международной тенденции на миниатюризацию, так как он не пригоден для небольших кольце вых сердечников . Цель изобретения - повышение надежности изготовления шаблона, сведение до минимума выходящих из стро дорогостоящих перфорированных шаблонов и обеспечение долгого строка службы этих перфорированных шаблонов. Перфорированные шаблоны, изготовленные предлагаемым способом, должны иметь высокую степень надежн ти и применяться также для кольцевы сердечников с минимальным диаметром Кроме того, эта новая технология создает предпосылку для фиксирования нескольких или больших полей при изготовлении матриц ЗУ на ферритовых сердечниках. Сущность изобретения заключается в следующем. В основе изобретения лежит задача найти способ для изготовления перфорированных шаблонов и схемы ос ществления способа, при котором рас положенные друг над другом пластины фольги под влиянием давления, обусловленного технологией применения, не подвергаются более различной степени коробления и,кроме того обладают высокой механической прочностью. Согласно изобретению эта задача решается тем, что перфорированные пластины фольги по окончании процес са очистки с помощью хорошо смачива щей и обладающей незначительной вяз костью клейковины и остатки клея, имеющиеся в перфорации, удаляются на стадии затвердевания с помощью с того воздуха либо растворителя вструе сжатого воздуха или тем, что для склеивания друг с другом отдель ных слоев фольги применяются легкопла кие клеи, и остатки клея, возможно имеющиеся в перфора.ции, химически р лагаются под воздействием реактивно электрической разрядки и удаляются. Эти связанные таким образом между с бой слои фольги после соответствующей предварительной обработки покры ваются для улучшения качества поверх-i ности гальваническим пс1крытием. Пример 1. Перфорированные слои фольги, изготовленные известным способом с помощью фотолитографии путем травления, из преимущественно медноникелевого сплава, подвергаются очистке, например .мытью с применением ультразвука, со специальными детергентами. После чего слои фольги покрываются клеем на базисе цианокрилата и соединяются. Остающиеся в перфорации остатки клея удаляются на стадии затвердевания с помощью растворителя в струе сжатого воздуха, например диметилформамида. Пример 2. Между перфорированными слоями фольги располагаются слои фольги из легкоплавкого клея. Затем эта структура подвергается нагреву и спрессовывается. Избыток .легкоплавкого клея, возможно возникающий в перфорации, химически распадается в результате применения реактивной электрической разрядки, например с помощью кислородной плазмы, и удаляется. Связанные таким образом между собой слои фольги после предварительной обработки, т.е, очистки и активирования, снабжаются гальваническим покрытием. В результате этого значительно улучшается качество поверхности, в особенности в ориентирующих щелях. У этих перфорированных шаблонов, изготовленных предлагаемым способо м, отдельные перфорированные слои фольги тзвязаны друг с другом не только по краям, а также и на перемычках между отдельными ориентирующими щелями. Это способствует повышению внутренней механической прочности перфорированного шаблона, что, в . свою очередь, повышает его срок службы и надежность при изготовлении матриц ЗУ на сердечниках. Формула изобретения 1.Способ для изготовления перфорированных шаблонов из фольгообразованных перфорированных пластин материала, отличающийся тем, что пластины по окончании процесса очистки склеивают между собой и остатки клея, возможно имеющиеся в перфорации, удаляют на стадии затвердевания. 2.Способ ПОП.1, отлича ю-, щ и и с я тем, что после соединения перфорированных слоев наносят гальваническое покрытие. 3.Способ по П.1, отлич а «щ и и с я тем, что в качестве хорошо смачивающего клея с малой вязкостью применяют циноакрилат. 4.Способ по П.1, отличающий с я тем, что в качестве растворителя в струе сжатого воздуха для растворения клея используют диметилформамид.

5.Способ ПОП.1, отличающий с я тем, что для склеивания отдельных пластин из фольги применяют легкоплавкий клей.

6.Способ ПОП.1, отличающийся тем, что остатки клея химчески разлагают под воздействием реактивной электрической : разрядки и удаляют:

7.Способ по пп. 1и5,отлич ающий с я тем, что в качестве легкоплавкого клея применяют пластины Фольги из полиуретана или полиэтилена (сополимера поливинилацетата).

8. Способ по ПП.1 и б, отличающийся тем, что остатки клея разлагаются и удаляются с помощью кислсчродной плазмы.

Признано изобретением по результатам экспертизы/ осуществленной Ведомством по изобретательству Германской Демократическс республики.